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    • 2. 发明专利
    • 功能元件、物理量感測器、電子機器及移動體
    • 功能组件、物理量传感器、电子机器及移动体
    • TW201543038A
    • 2015-11-16
    • TW104113573
    • 2015-04-28
    • 精工愛普生股份有限公司SEIKO EPSON CORPORATION
    • 田中悟TANAKA, SATORU
    • G01P15/125
    • B81B3/0051B81B2201/0235B81B2203/0181G01C19/5656G01P15/125G01P2015/0814
    • 本發明之加速度感測器包括:基板;支持樑,其沿Y軸方向延伸;質量體,其連接於支持樑之一端部,且可於Z軸方向擺動地由支持樑支持;固定部,其連接於支持樑之另一端部,且固定於基板;及卡止部,其以自兩側夾持支持樑之方式配置於質量體與固定部之間,且固定於基板;且質量體以支持樑為邊界劃分為質量互不相同之第1質量部及第2質量部,第1質量部及第2質量部具有和卡止部之與支持樑側相反之側對向的對向部,於在與Y軸方向交叉之X軸方向上,將卡止部之靠近一端部且為支持樑側之角部與支持樑之距離設為L1,將卡止部與對向部之距離設為L2時,滿足L1>L2之關係。
    • 本发明之加速度传感器包括:基板;支持梁,其沿Y轴方向延伸;质量体,其连接于支持梁之一端部,且可于Z轴方向摆动地由支持梁支持;固定部,其连接于支持梁之另一端部,且固定于基板;及卡止部,其以自两侧夹持支持梁之方式配置于质量体与固定部之间,且固定于基板;且质量体以支持梁为边界划分为质量互不相同之第1质量部及第2质量部,第1质量部及第2质量部具有和卡止部之与支持梁侧相反之侧对向的对向部,于在与Y轴方向交叉之X轴方向上,将卡止部之靠近一端部且为支持梁侧之角部与支持梁之距离设为L1,将卡止部与对向部之距离设为L2时,满足L1>L2之关系。