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5. 发明专利

TWI331568B 液狀體之噴出方法、布線基板之製造方法、彩色濾光片之製造方法、有機ＥＬ發光元件之製造方法 LIQUID MATERIAL DISCHARGE METHOD, WIRING SUBSTRATE MANUFACTURING METHOD, COLOR FILTER MANUFACTURING METHOD, AND ORGANIC EL ELEMENT MANUFACTURING METHOD 有权
简体标题：液状体之喷出方法、布线基板之制造方法、彩色滤光片之制造方法、有机ＥＬ发光组件之制造方法 LIQUID MATERIAL DISCHARGE METHOD, WIRING SUBSTRATE MANUFACTURING METHOD, COLOR FILTER MANUFACTURING METHOD, AND ORGANIC EL ELEMENT MANUFACTURING METHOD
公开(公告)号：TWI331568B
公开(公告)日：2010-10-11
申请号：TW096129234
申请日：2007-08-08
申请人：精工愛普生股份有限公司
发明人：牛山佳彥 , 北原強 , 宮阪洋一
IPC分类号： B41J
CPC分类号： H05K3/125 , H01L51/0005 , H01L51/56 , H05B33/10 , H05K2203/013
摘要：本發明係提供一種可驅動控制噴出頭，以使液滴精度良好地落下之液狀體之噴出方法、適用該液狀體之噴出方法之布線基板之製造方法、彩色濾光片之製造方法、及有機EL發光元件之製造方法。
本發明之液狀體之噴出方法係具備：檢查步驟(步驟S1)，其係驅動噴出頭，取得每複數噴嘴所噴出之液滴之落下位置資訊；配置圖案產生步驟(步驟S2)，其係相對於藉由主掃描而於基板上配置液滴之第一配置圖案，產生根據落下位置資訊而已於主掃描之方向補正飛行彎曲之第二配置圖案；及噴出步驟(步驟S3)，其係根據第二配置圖案，對於產生飛行彎曲之噴嘴改變噴出時序或噴出速度而進行噴出。 A liquid material discharge method includes positioning a substrate and a discharge head having a plurality of nozzles to face each other, discharging droplets of a liquid material including a functional material onto the substrate in synchronization with a primary scanning for moving the discharge head and the substrate in relative manner, and varying one of a discharge timing and a discharge rate for discharging the droplets from at least one of the nozzles based on landing position information of the droplets that are discharged from the nozzles. 【創作特點】於上述膜圖案形成方法中，作為液滴噴出頭之各噴嘴之噴出特性係著眼於液滴之落下位置及落下直徑。然而，未明確地揭示根據檢測到之落下位置及落下直徑，如何產生驅動液滴噴出頭之控制信號。特別是因飛行彎曲而落下位置偏離之情況時，因飛行彎曲所造成之落下位置之偏離方向未必一定，關於如何解決此方面並不明確。
而且，於此所謂液滴噴出法(噴墨方式)中，作為發生飛行彎曲之原因，據判有例如噴嘴之部分堵塞、附著於噴嘴之開口部周邊之液狀體或異物所造成之影響。故，為了預防飛行彎曲，進行吸引除去噴嘴內之異物或液狀體(封蓋：capping)、擦拭形成有噴嘴之噴嘴片之表面以除去異物(摩擦：wiping)等使液滴噴出頭回復之回復動作(再新(refresh)動作)。然而，即使進行此回復動作，仍無法去除原因，具有唯恐發生飛行彎曲之問題。
本發明係考慮上述課題所實現者，其目的在於提供一種可驅動控制噴出頭以使液滴精度良好地落下之液狀體之噴出方法、適用該液狀體之噴出方法之布線基板之製造方法、彩色濾光片之製造方法、及有機EL發光元件之製造方法。
本發明之液狀體之噴出方法之特徵為：使具有複數噴嘴之噴出頭與基板對向配置，同步於使前述噴出頭與前述基板相對移動之主掃描，於前述基板上，將含功能性材料之液狀體作為液滴噴出；且具備噴出步驟，其係根據自複數噴嘴噴出之液滴之落下位置資訊，對於複數噴嘴中之特定噴嘴改變噴出時序而進行噴出。
若根據此方法，於噴出步驟中，根據自複數噴嘴噴出之液滴之落下位置資訊，對於複數噴嘴中之特定噴嘴改變噴出時序而進行噴出。因此，藉由根據上述落下位置資訊，特定出落下位置之補正所需之特定噴嘴，並對於其他噴嘴改變噴出時序，可使液滴精度良好地落下。
並且，其特徵為具備驅動上述噴出頭，取得自複數噴嘴噴出之液滴之落下位置資訊之步驟。若根據此方法，由於具備取得上述落下位置資訊之步驟，因此可取得最新之落下位置資訊，將其反映於噴出步驟。
其特徵為進一步具備配置圖案產生步驟，其係相對於藉由上述主掃描，於基板上配置液滴之第一配置圖案，產生根據落下位置資訊，已於主掃描之方向補正飛行彎曲之第二配置圖案；於噴出步驟中，根據第二配置圖案，對於產生飛行彎曲之噴嘴，改變噴出時序而噴出液滴。
若根據此方法，於噴出步驟中，根據於配置圖案產生步驟中所補正之第二配置圖案，對於產生飛行彎曲之噴嘴改變噴出時序而進行噴出。因此，若製作預先考慮到液滴對於基板之潤濕性等物性、或具有噴出頭之液滴噴出裝置之描畫精度等之第一配置圖案，產生相對於其已補正飛行彎曲之第二配置圖案，則至少可於主掃描方向，高精度地控制液滴之落下位置。
於上述配置圖案產生步驟中，第二配置圖案係分為主掃描中之往動與復動而產生，飛行彎曲在主掃描之方向之補正宜於往動與復動中相異地進行。若根據此方法，由於考慮到主掃描中之往動與復動所造成之落下位置之變動而產生第二配置圖案，因此可更高精度地控制液滴之落下位置。
而且，其特徵為：上述飛行彎曲在主掃描之方向之噴出時序之補正，係以於基板噴出液滴之噴出解析度之單位來進行。若根據此方法，由於以噴出解析度之單位來進行噴出時序之補正，因此可高精細地進行噴出控制。
而且，上述飛行彎曲在主掃描之方向之噴出時序之補正，以使基板往主掃描之方向移動之移動機構之移動解析度之單位來進行亦可。若根據此方法，由於以移動解析度之單位來進行噴出時序之補正，因此可更高精細地進行噴出控制。
本發明其他之液狀體之噴出方法之特徵為：使具有複數噴嘴之噴出頭與基板對向配置，同步於使噴出頭與基板相對移動之主掃描，於基板上，將含功能性材料之液狀體作為液滴噴出；且具備噴出步驟，其係根據自複數噴嘴噴出之液滴之落下位置資訊，對於複數噴嘴中之特定噴嘴改變噴出速度而進行噴出。
若根據此方法，於噴出步驟中，根據自複數噴嘴噴出之液滴之落下位置資訊，對於複數噴嘴中之特定噴嘴改變噴出時序而進行噴出。因此，藉由根據上述落下位置資訊，特定出落下位置之補正所需之特定噴嘴，並對於其他噴嘴改變噴出時序，可使液滴精度良好地落下。
並且，其特徵為進一步包含驅動上述噴出頭，取得自複數噴嘴噴出之液滴之落下位置資訊之步驟。若根據此方法，由於具備取得上述落下位置資訊之步驟，因此可取得最新之落下位置資訊，將其反映於噴出步驟。
其特徵為進一步具備配置圖案產生步驟，其係相對於藉由上述主掃描，於基板上配置液滴之第一配置圖案，產生根據落下位置資訊，已於主掃描之方向補正飛行彎曲之第二配置圖案；於噴出步驟中，根據第二配置圖案，對於產生飛行彎曲之噴嘴，改變噴出速度而噴出液滴。
若根據此方法，於噴出步驟中，根據於配置圖案產生步驟中所補正之第二配置圖案，對於產生飛行彎曲之噴嘴改變噴出速度而進行噴出。因此，若製作預先考慮到液滴對於基板之潤濕性等物性、或具有噴出頭之液滴噴出裝置之描畫精度等之第一配置圖案，產生相對於其已補正飛行彎曲之第二配置圖案，則至少可於主掃描方向，高精度地控制液滴之落下位置。
於上述配置圖案產生步驟中，第二配置圖案係分為主掃描中之往動與復動而產生，飛行彎曲在主掃描之方向之補正宜於往動與復動中相異地進行。若根據此方法，由於考慮到主掃描中之往動與復動所造成之落下位置之變動而產生第二配置圖案，因此於噴出步驟可更高精度地控制液滴之落下位置
而且，如上述本發明之液狀體之噴出方法，其特徵為：於上述基板上，具有由隔牆部所劃分之複數噴出區域；於噴出步驟中，根據落下位置資訊，對於產生飛行彎曲之噴嘴改變噴出時序而進行噴出，以使自該噴嘴噴出之液滴之至少一部分不會落在隔牆部，或使液滴不會落在隔牆部附近。
而且，如上述本發明之其他之液狀體之噴出方法，其特徵為：於上述基板上，具有由隔牆部所劃分之複數噴出區域；於噴出步驟中，亦可根據落下位置資訊，對於產生飛行彎曲之噴嘴改變噴出速度而進行噴出，以使自該噴嘴噴出之液滴之至少一部分不會落在隔牆部，或使液滴不會落在隔牆部附近。
若根據此等方法，兩者均可控制為所需量之液滴，落在由隔牆部所劃分之各噴出區域。
本發明之布線基板之製造方法之特徵為：該布線基板係於基板上具有由導電性材料所組成之布線；且具備：描畫步驟，其係使用上述發明之液狀體之噴出方法，於基板上，將含導電性材料之液狀體作為液滴予以噴出描畫；及乾燥燒成步驟，其係將被噴出描畫之液狀體予以乾燥、燒成而以形成布線。
若根據此方法，由於在描畫步驟中使用上述發明之液狀體之噴出方法，因此即使具有產生飛行彎曲之噴嘴，仍可補正自該噴嘴噴出之液滴之落下位置，使含導電性材料之液狀體之液滴精度良好之落下。故，於乾燥燒成後，可形成形狀安定之布線。亦即，可製造具有高精細布線之布線基板。
本發明之彩色濾光片之製造方法之特徵為：該彩色濾光片係於基板上由隔牆部所劃分形成之複數著色區域，至少具有3色著色層；且具備：描畫步驟，其係使用上述發明之液狀體之噴出方法，於複數著色區域，將合著色層形成材料之至少3色液狀體，作為液滴予以噴出描畫；及乾燥步驟，其係將被噴出描畫之液狀體予以乾燥而以形成至少3色之著色層。
若根據此方法，由於在描畫步驟中使用上述發明之液狀體之噴出方法，因此即使具有產生飛行彎曲之噴嘴，仍可補正自該噴嘴噴出之液滴之落下位置，使含著色層形成材料之液狀體之液滴精度良好之落下。故，可減低起因於飛行彎曲之噴出不均或混色。亦即，可製造甚少有色不均之具有安定品質之彩色濾光片。
本發明之有機EL元件之製造方法之特徵為：該有機EL元件係於基板上由隔牆部所劃分形成之複數發光層形成區域，具有有機EL發光層；且具備：描畫步驟，其係使用上述發明之液狀體之噴出方法，於發光層形成區域，將至少含發光層形成材料之液狀體，作為液滴予以噴出描畫；及乾燥步驟，其係將被噴出描畫之液狀體予以乾燥而形成前述有機EL發光層。
若根據此方法，由於在描畫步驟中使用上述發明之液狀體之噴出方法，因此即使具有產生飛行彎曲之噴嘴，仍可補正自該噴嘴噴出之液滴之落下位置，使含發光層形成材料之液狀體之液滴精度良好之落下。故，可減低起因於飛行彎曲之噴出不均或混色。亦即，可製造甚少有發光不均或亮度不均之具有安定品質之有機EL元件。
简体摘要：本发明系提供一种可驱动控制喷出头，以使液滴精度良好地落下之液状体之喷出方法、适用该液状体之喷出方法之布线基板之制造方法、彩色滤光片之制造方法、及有机EL发光组件之制造方法。本发明之液状体之喷出方法系具备：检查步骤(步骤S1)，其系驱动喷出头，取得每复数喷嘴所喷出之液滴之落下位置信息；配置图案产生步骤(步骤S2)，其系相对于借由主扫描而于基板上配置液滴之第一配置图案，产生根据落下位置信息而已于主扫描之方向补正飞行弯曲之第二配置图案；及喷出步骤(步骤S3)，其系根据第二配置图案，对于产生飞行弯曲之喷嘴改变喷出时序或喷出速度而进行喷出。 A liquid material discharge method includes positioning a substrate and a discharge head having a plurality of nozzles to face each other, discharging droplets of a liquid material including a functional material onto the substrate in synchronization with a primary scanning for moving the discharge head and the substrate in relative manner, and varying one of a discharge timing and a discharge rate for discharging the droplets from at least one of the nozzles based on landing position information of the droplets that are discharged from the nozzles. 【创作特点】于上述膜图案形成方法中，作为液滴喷出头之各喷嘴之喷出特性系着眼于液滴之落下位置及落下直径。然而，未明确地揭示根据检测到之落下位置及落下直径，如何产生驱动液滴喷出头之控制信号。特别是因飞行弯曲而落下位置偏离之情况时，因飞行弯曲所造成之落下位置之偏离方向未必一定，关于如何解决此方面并不明确。而且，于此所谓液滴喷出法(喷墨方式)中，作为发生飞行弯曲之原因，据判有例如喷嘴之部分堵塞、附着于喷嘴之开口部周边之液状体或异物所造成之影响。故，为了预防飞行弯曲，进行吸引除去喷嘴内之异物或液状体(封盖：capping)、擦拭形成有喷嘴之喷嘴片之表面以除去异物(摩擦：wiping)等使液滴喷出头回复之回复动作(再新(refresh)动作)。然而，即使进行此回复动作，仍无法去除原因，具有唯恐发生飞行弯曲之问题。本发明系考虑上述课题所实现者，其目的在于提供一种可驱动控制喷出头以使液滴精度良好地落下之液状体之喷出方法、适用该液状体之喷出方法之布线基板之制造方法、彩色滤光片之制造方法、及有机EL发光组件之制造方法。本发明之液状体之喷出方法之特征为：使具有复数喷嘴之喷出头与基板对向配置，同步于使前述喷出头与前述基板相对移动之主扫描，于前述基板上，将含功能性材料之液状体作为液滴喷出；且具备喷出步骤，其系根据自复数喷嘴喷出之液滴之落下位置信息，对于复数喷嘴中之特定喷嘴改变喷出时序而进行喷出。若根据此方法，于喷出步骤中，根据自复数喷嘴喷出之液滴之落下位置信息，对于复数喷嘴中之特定喷嘴改变喷出时序而进行喷出。因此，借由根据上述落下位置信息，特定出落下位置之补正所需之特定喷嘴，并对于其他喷嘴改变喷出时序，可使液滴精度良好地落下。并且，其特征为具备驱动上述喷出头，取得自复数喷嘴喷出之液滴之落下位置信息之步骤。若根据此方法，由于具备取得上述落下位置信息之步骤，因此可取得最新之落下位置信息，将其反映于喷出步骤。其特征为进一步具备配置图案产生步骤，其系相对于借由上述主扫描，于基板上配置液滴之第一配置图案，产生根据落下位置信息，已于主扫描之方向补正飞行弯曲之第二配置图案；于喷出步骤中，根据第二配置图案，对于产生飞行弯曲之喷嘴，改变喷出时序而喷出液滴。若根据此方法，于喷出步骤中，根据于配置图案产生步骤中所补正之第二配置图案，对于产生飞行弯曲之喷嘴改变喷出时序而进行喷出。因此，若制作预先考虑到液滴对于基板之润湿性等物性、或具有喷出头之液滴喷出设备之描画精度等之第一配置图案，产生相对于其已补正飞行弯曲之第二配置图案，则至少可于主扫描方向，高精度地控制液滴之落下位置。于上述配置图案产生步骤中，第二配置图案系分为主扫描中之往动与复动而产生，飞行弯曲在主扫描之方向之补正宜于往动与复动中相异地进行。若根据此方法，由于考虑到主扫描中之往动与复动所造成之落下位置之变动而产生第二配置图案，因此可更高精度地控制液滴之落下位置。而且，其特征为：上述飞行弯曲在主扫描之方向之喷出时序之补正，系以于基板喷出液滴之喷出分辨率之单位来进行。若根据此方法，由于以喷出分辨率之单位来进行喷出时序之补正，因此可高精细地进行喷出控制。而且，上述飞行弯曲在主扫描之方向之喷出时序之补正，以使基板往主扫描之方向移动之移动机构之移动分辨率之单位来进行亦可。若根据此方法，由于以移动分辨率之单位来进行喷出时序之补正，因此可更高精细地进行喷出控制。本发明其他之液状体之喷出方法之特征为：使具有复数喷嘴之喷出头与基板对向配置，同步于使喷出头与基板相对移动之主扫描，于基板上，将含功能性材料之液状体作为液滴喷出；且具备喷出步骤，其系根据自复数喷嘴喷出之液滴之落下位置信息，对于复数喷嘴中之特定喷嘴改变喷出速度而进行喷出。若根据此方法，于喷出步骤中，根据自复数喷嘴喷出之液滴之落下位置信息，对于复数喷嘴中之特定喷嘴改变喷出时序而进行喷出。因此，借由根据上述落下位置信息，特定出落下位置之补正所需之特定喷嘴，并对于其他喷嘴改变喷出时序，可使液滴精度良好地落下。并且，其特征为进一步包含驱动上述喷出头，取得自复数喷嘴喷出之液滴之落下位置信息之步骤。若根据此方法，由于具备取得上述落下位置信息之步骤，因此可取得最新之落下位置信息，将其反映于喷出步骤。其特征为进一步具备配置图案产生步骤，其系相对于借由上述主扫描，于基板上配置液滴之第一配置图案，产生根据落下位置信息，已于主扫描之方向补正飞行弯曲之第二配置图案；于喷出步骤中，根据第二配置图案，对于产生飞行弯曲之喷嘴，改变喷出速度而喷出液滴。若根据此方法，于喷出步骤中，根据于配置图案产生步骤中所补正之第二配置图案，对于产生飞行弯曲之喷嘴改变喷出速度而进行喷出。因此，若制作预先考虑到液滴对于基板之润湿性等物性、或具有喷出头之液滴喷出设备之描画精度等之第一配置图案，产生相对于其已补正飞行弯曲之第二配置图案，则至少可于主扫描方向，高精度地控制液滴之落下位置。于上述配置图案产生步骤中，第二配置图案系分为主扫描中之往动与复动而产生，飞行弯曲在主扫描之方向之补正宜于往动与复动中相异地进行。若根据此方法，由于考虑到主扫描中之往动与复动所造成之落下位置之变动而产生第二配置图案，因此于喷出步骤可更高精度地控制液滴之落下位置而且，如上述本发明之液状体之喷出方法，其特征为：于上述基板上，具有由隔墙部所划分之复数喷出区域；于喷出步骤中，根据落下位置信息，对于产生飞行弯曲之喷嘴改变喷出时序而进行喷出，以使自该喷嘴喷出之液滴之至少一部分不会落在隔墙部，或使液滴不会落在隔墙部附近。而且，如上述本发明之其他之液状体之喷出方法，其特征为：于上述基板上，具有由隔墙部所划分之复数喷出区域；于喷出步骤中，亦可根据落下位置信息，对于产生飞行弯曲之喷嘴改变喷出速度而进行喷出，以使自该喷嘴喷出之液滴之至少一部分不会落在隔墙部，或使液滴不会落在隔墙部附近。若根据此等方法，两者均可控制为所需量之液滴，落在由隔墙部所划分之各喷出区域。本发明之布线基板之制造方法之特征为：该布线基板系于基板上具有由导电性材料所组成之布线；且具备：描画步骤，其系使用上述发明之液状体之喷出方法，于基板上，将含导电性材料之液状体作为液滴予以喷出描画；及干燥烧成步骤，其系将被喷出描画之液状体予以干燥、烧成而以形成布线。若根据此方法，由于在描画步骤中使用上述发明之液状体之喷出方法，因此即使具有产生飞行弯曲之喷嘴，仍可补正自该喷嘴喷出之液滴之落下位置，使含导电性材料之液状体之液滴精度良好之落下。故，于干燥烧成后，可形成形状安定之布线。亦即，可制造具有高精细布线之布线基板。本发明之彩色滤光片之制造方法之特征为：该彩色滤光片系于基板上由隔墙部所划分形成之复数着色区域，至少具有3色着色层；且具备：描画步骤，其系使用上述发明之液状体之喷出方法，于复数着色区域，将合着色层形成材料之至少3色液状体，作为液滴予以喷出描画；及干燥步骤，其系将被喷出描画之液状体予以干燥而以形成至少3色之着色层。若根据此方法，由于在描画步骤中使用上述发明之液状体之喷出方法，因此即使具有产生飞行弯曲之喷嘴，仍可补正自该喷嘴喷出之液滴之落下位置，使含着色层形成材料之液状体之液滴精度良好之落下。故，可减低起因于飞行弯曲之喷出不均或混色。亦即，可制造甚少有色不均之具有安定品质之彩色滤光片。本发明之有机EL组件之制造方法之特征为：该有机EL组件系于基板上由隔墙部所划分形成之复数发光层形成区域，具有有机EL发光层；且具备：描画步骤，其系使用上述发明之液状体之喷出方法，于发光层形成区域，将至少含发光层形成材料之液状体，作为液滴予以喷出描画；及干燥步骤，其系将被喷出描画之液状体予以干燥而形成前述有机EL发光层。若根据此方法，由于在描画步骤中使用上述发明之液状体之喷出方法，因此即使具有产生飞行弯曲之喷嘴，仍可补正自该喷嘴喷出之液滴之落下位置，使含发光层形成材料之液状体之液滴精度良好之落下。故，可减低起因于飞行弯曲之喷出不均或混色。亦即，可制造甚少有发光不均或亮度不均之具有安定品质之有机EL组件。

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