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    • 6. 发明专利
    • 製備顆粒狀多晶矽的反應器和方法
    • 制备颗粒状多晶硅的反应器和方法
    • TW201536968A
    • 2015-10-01
    • TW104107478
    • 2015-03-10
    • 瓦克化學公司WACKER CHEMIE AG
    • 偉克瑟 德克WECKESSER, DIRK
    • C30B29/06C30B35/00
    • B01J8/1836B01J8/42B01J2208/00415B01J2208/00902C01B33/027
    • 本發明係關於一種藉由在矽晶種顆粒上沉積多晶矽而製備顆粒狀多晶矽的反應器,其包括一反應容器、一用於一含有顆粒狀多晶矽的流化床的內部反應器管和一位於反應容器內的反應器底部、一用於加熱所述內部反應器管內的流化床的加熱設備、至少一個用來導入流化氣體的底部氣體噴嘴和至少一個用來導入反應氣體的反應氣體噴嘴、一導入矽晶種顆粒的進料設備和一用於顆粒狀多晶矽的取出管線,以及一從所述反應容器中排出反應器廢氣的設備,其中一在其圓柱形表面上具有開口的圓柱形部件係佈置在內部反應器管和加熱設備之間,至少5%但不多於95%的圓柱形表面為開口。
    • 本发明系关于一种借由在硅晶种颗粒上沉积多晶硅而制备颗粒状多晶硅的反应器,其包括一反应容器、一用于一含有颗粒状多晶硅的流化床的内部反应器管和一位于反应容器内的反应器底部、一用于加热所述内部反应器管内的流化床的加热设备、至少一个用来导入流化气体的底部气体喷嘴和至少一个用来导入反应气体的反应气体喷嘴、一导入硅晶种颗粒的进料设备和一用于颗粒状多晶硅的取出管线,以及一从所述反应容器中排出反应器废气的设备,其中一在其圆柱形表面上具有开口的圆柱形部件系布置在内部反应器管和加热设备之间,至少5%但不多于95%的圆柱形表面为开口。