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1. 发明专利

TW201716611A 多噴嘴之有機蒸氣噴射印刷审中-公开
简体标题：多喷嘴之有机蒸气喷射印刷
公开(公告)号：TW201716611A
公开(公告)日：2017-05-16
申请号：TW105140046
申请日：2013-08-26
申请人：環球展覽公司 , UNIVERSAL DISPLAY CORPORATION
发明人：哈克斯納莫翰斯德哈西 , HARIKRISHNA MOHAN, SIDDHARTH , 布洛斯保羅E , BURROWS, PAUL E.
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： H01L51/0003 , C23C14/04 , C23C14/12 , C23C14/228 , H01L51/0005 , H01L51/56
摘要：本發明提供用於沈積材料之經圖案化薄膜之系統及方法，其中藉由具有不同幾何形狀之兩個或兩個以上噴嘴來沈積該經圖案化膜的個別元件。該等不同噴嘴幾何形狀可包括不同節流閥直徑、不同排出口直徑、不同橫截面形狀、不同孔角、不同壁角、距基板的不同排出口距離以及相對於該等噴嘴或該基板之移動方向的不同前邊緣中之一或多者。將所述薄膜沈積在一基板上之所揭示方法可包括以下一或多個步驟：在使複數個噴嘴或該基板相對於彼此移動的同時，自該等噴嘴噴射一載氣及一材料；以及將該材料沈積在該基板上成包括複數個橫向間隔元件的一圖案，該等元件中之每一者藉由該複數個噴嘴的一單獨噴嘴群組沈積。該等橫向間隔元件中之至少一者可包括一第一寬度，且沈積該元件的該噴嘴群組中之該等噴嘴中之至少一者可組態以用小於該第一寬度之一第二寬度在該基板上沈積該材料。
简体摘要：本发明提供用于沉积材料之经图案化薄膜之系统及方法，其中借由具有不同几何形状之两个或两个以上喷嘴来沉积该经图案化膜的个别组件。该等不同喷嘴几何形状可包括不同节流阀直径、不同排出口直径、不同横截面形状、不同孔角、不同壁角、距基板的不同排出口距离以及相对于该等喷嘴或该基板之移动方向的不同前边缘中之一或多者。将所述薄膜沉积在一基板上之所揭示方法可包括以下一或多个步骤：在使复数个喷嘴或该基板相对于彼此移动的同时，自该等喷嘴喷射一载气及一材料；以及将该材料沉积在该基板上成包括复数个横向间隔组件的一图案，该等组件中之每一者借由该复数个喷嘴的一单独喷嘴群组沉积。该等横向间隔组件中之至少一者可包括一第一宽度，且沉积该组件的该喷嘴群组中之该等喷嘴中之至少一者可组态以用小于该第一宽度之一第二宽度在该基板上沉积该材料。

2. 发明专利

TW201418491A 多噴嘴之有機蒸氣噴射印刷审中-公开
简体标题：多喷嘴之有机蒸气喷射印刷
公开(公告)号：TW201418491A
公开(公告)日：2014-05-16
申请号：TW102130503
申请日：2013-08-26
申请人：環球展覽公司 , UNIVERSAL DISPLAY CORPORATION
发明人：哈克斯納莫翰斯德哈西 , HARIKRISHNA MOHAN, SIDDHARTH , 布洛斯保羅E , BURROWS, PAUL E.
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： H01L51/0003 , C23C14/04 , C23C14/12 , C23C14/228 , H01L51/0005 , H01L51/56
摘要：本發明提供用於沈積材料之經圖案化薄膜之系統及方法，其中藉由具有不同幾何形狀之兩個或兩個以上噴嘴來沈積該經圖案化膜的個別元件。該等不同噴嘴幾何形狀可包括不同節流閥直徑、不同排出口直徑、不同橫截面形狀、不同孔角、不同壁角、距基板的不同排出口距離以及相對於該等噴嘴或該基板之移動方向的不同前邊緣中之一或多者。將所述薄膜沈積在一基板上之所揭示方法可包括以下一或多個步驟：在使複數個噴嘴或該基板相對於彼此移動的同時，自該等噴嘴噴射一載氣及一材料；以及將該材料沈積在該基板上成包括複數個橫向間隔元件的一圖案，該等元件中之每一者藉由該複數個噴嘴的一單獨噴嘴群組沈積。該等橫向間隔元件中之至少一者可包括一第一寬度，且沈積該元件的該噴嘴群組中之該等噴嘴中之至少一者可組態以用小於該第一寬度之一第二寬度在該基板上沈積該材料。
简体摘要：本发明提供用于沉积材料之经图案化薄膜之系统及方法，其中借由具有不同几何形状之两个或两个以上喷嘴来沉积该经图案化膜的个别组件。该等不同喷嘴几何形状可包括不同节流阀直径、不同排出口直径、不同横截面形状、不同孔角、不同壁角、距基板的不同排出口距离以及相对于该等喷嘴或该基板之移动方向的不同前边缘中之一或多者。将所述薄膜沉积在一基板上之所揭示方法可包括以下一或多个步骤：在使复数个喷嘴或该基板相对于彼此移动的同时，自该等喷嘴喷射一载气及一材料；以及将该材料沉积在该基板上成包括复数个横向间隔组件的一图案，该等组件中之每一者借由该复数个喷嘴的一单独喷嘴群组沉积。该等横向间隔组件中之至少一者可包括一第一宽度，且沉积该组件的该喷嘴群组中之该等喷嘴中之至少一者可组态以用小于该第一宽度之一第二宽度在该基板上沉积该材料。

3. 发明专利

TW201343956A 用於有機蒸氣噴射印刷之噴嘴設計审中-公开
简体标题：用于有机蒸气喷射印刷之喷嘴设计
公开(公告)号：TW201343956A
公开(公告)日：2013-11-01
申请号：TW102107535
申请日：2013-03-04
申请人：環球展覽公司 , UNIVERSAL DISPLAY CORPORATION
发明人：哈克斯納莫翰斯德哈西 , HARIKRISHNA MOHAN, SIDDHARTH , 布洛斯保羅E , BURROWS, PAUL E.
IPC分类号： C23C16/455 , B05B1/30
CPC分类号： B05B1/34 , B05D1/60 , H01L51/0008 , H01L51/56
摘要：本發明提供已發現在控管OVJP中之過噴方面有效之噴嘴設計。已發現本發明之態樣在降低或避免接近基板之噴嘴末端之壓力突然下降方面有效，且可有利地用於在噴嘴出口直徑與沈積之圖案寬度之間獲得例如較大的一致性。
简体摘要：本发明提供已发现在控管OVJP中之过喷方面有效之喷嘴设计。已发现本发明之态样在降低或避免接近基板之喷嘴末端之压力突然下降方面有效，且可有利地用于在喷嘴出口直径与沉积之图案宽度之间获得例如较大的一致性。

4. 发明专利

TW201301616A 用於製造ＯＬＥＤ照明面板之方法审中-公开
简体标题：用于制造ＯＬＥＤ照明皮肤之方法
公开(公告)号：TW201301616A
公开(公告)日：2013-01-01
申请号：TW101116731
申请日：2012-05-10
申请人：環球展覽公司 , UNIVERSAL DISPLAY CORPORATION
发明人：龐惠卿 , PANG, HUIQING , 卡爾艾默利 , KRALL, EMORY , 萊傑卡瑪拉 , RAJAN, KAMALA , 布洛斯保羅E , BURROWS, PAUL E. , 馬瑞青 , MA, RUIQING , 立博摩彼得 , LEVERMORE, PETER
IPC分类号： H01L51/56 , H01L51/50 , H01L21/205
CPC分类号： H01L51/5203 , C23C14/042 , C23C14/24 , H01L27/3202 , H01L27/3204 , H01L27/3279 , H01L27/329 , H01L51/0023 , H01L51/0097 , H01L51/50 , H01L51/5016 , H01L51/5212 , H01L51/5228 , H01L51/56 , H01L2251/5338 , H01L2251/5361 , H01L2251/5392 , H05B33/10
摘要：本發明提供用於設計及製造OLED(包括高性能大面積OLED)的系統及方法。可使用各種所述之製造方法，利用氣相沉積諸如真空熱蒸發(VTE)，透過掩蔽遮罩來沉積及圖案化匯流排線及/或絕緣體，及可避免多個光微影步驟。匯流排線及/或絕緣體可經形成為具有平滑輪廓及漸進側壁過渡。該平滑輪廓可例如減少在匯流排線處電短路的機率。其他氣相沉積系統及方法尤其可包括濺鍍沉積、電子束蒸發及化學氣相沉積(CVD)。匯流排線及/或絕緣體之最終輪廓可實質上對應於原沉積之輪廓。單一OLED裝置亦可經形成為具有相對大的尺寸，例如平面圖中之最短維度大於約2 cm，或平面圖之主動區域大於約10 cm2。
简体摘要：本发明提供用于设计及制造OLED(包括高性能大面积OLED)的系统及方法。可使用各种所述之制造方法，利用气相沉积诸如真空热蒸发(VTE)，透过掩蔽遮罩来沉积及图案化总线线及/或绝缘体，及可避免多个光微影步骤。总线线及/或绝缘体可经形成为具有平滑轮廓及渐进侧壁过渡。该平滑轮廓可例如减少在总线线处电短路的概率。其他气相沉积系统及方法尤其可包括溅镀沉积、电子束蒸发及化学气相沉积(CVD)。总线线及/或绝缘体之最终轮廓可实质上对应于原沉积之轮廓。单一OLED设备亦可经形成为具有相对大的尺寸，例如平面图中之最短维度大于约2 cm，或平面图之主动区域大于约10 cm2。

5. 发明专利

TWI639263B 用於製造ＯＬＥＤ照明面板之方法有权
简体标题：用于制造ＯＬＥＤ照明皮肤之方法
公开(公告)号：TWI639263B
公开(公告)日：2018-10-21
申请号：TW101116731
申请日：2012-05-10
申请人：環球展覽公司 , UNIVERSAL DISPLAY CORPORATION
发明人：龐惠卿 , PANG, HUIQING , 卡爾艾默利 , KRALL, EMORY , 萊傑卡瑪拉 , RAJAN, KAMALA , 布洛斯保羅E , BURROWS, PAUL E. , 馬瑞青 , MA, RUIQING , 立博摩彼得 , LEVERMORE, PETER
IPC分类号： H01L51/56 , H01L51/50 , H01L21/205

6. 发明专利

TW201803183A 用於製造ＯＬＥＤ照明面板之方法审中-公开
简体标题：用于制造ＯＬＥＤ照明皮肤之方法
公开(公告)号：TW201803183A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW106118554
申请日：2012-05-10
申请人：環球展覽公司 , UNIVERSAL DISPLAY CORPORATION
发明人：龐惠卿 , PANG, HUIQING , 卡爾艾默利 , KRALL, EMORY , 萊傑卡瑪拉 , RAJAN, KAMALA , 布洛斯保羅E , BURROWS, PAUL E. , 馬瑞青 , MA, RUIQING , 立博摩彼得 , LEVERMORE, PETER
IPC分类号： H01L51/56 , H01L51/50 , H01L21/205
CPC分类号： H01L51/5203 , C23C14/042 , C23C14/24 , H01L27/3202 , H01L27/3204 , H01L27/3279 , H01L27/329 , H01L51/0023 , H01L51/0097 , H01L51/50 , H01L51/5016 , H01L51/5212 , H01L51/5228 , H01L51/56 , H01L2251/5338 , H01L2251/5361 , H01L2251/5392 , H05B33/10
摘要：本發明提供用於設計及製造OLED(包括高性能大面積OLED)的系統及方法。可使用各種所述之製造方法，利用氣相沉積諸如真空熱蒸發(VTE)，透過掩蔽遮罩來沉積及圖案化匯流排線及/或絕緣體，及可避免多個光微影步驟。匯流排線及/或絕緣體可經形成為具有平滑輪廓及漸進側壁過渡。該平滑輪廓可例如減少在匯流排線處電短路的機率。其他氣相沉積系統及方法尤其可包括濺鍍沉積、電子束蒸發及化學氣相沉積(CVD)。匯流排線及/或絕緣體之最終輪廓可實質上對應於原沉積之輪廓。單一OLED裝置亦可經形成為具有相對大的尺寸，例如平面圖中之最短維度大於約2cm，或平面圖之主動區域大於約10cm2。
简体摘要：本发明提供用于设计及制造OLED(包括高性能大面积OLED)的系统及方法。可使用各种所述之制造方法，利用气相沉积诸如真空热蒸发(VTE)，透过掩蔽遮罩来沉积及图案化总线线及/或绝缘体，及可避免多个光微影步骤。总线线及/或绝缘体可经形成为具有平滑轮廓及渐进侧壁过渡。该平滑轮廓可例如减少在总线线处电短路的概率。其他气相沉积系统及方法尤其可包括溅镀沉积、电子束蒸发及化学气相沉积(CVD)。总线线及/或绝缘体之最终轮廓可实质上对应于原沉积之轮廓。单一OLED设备亦可经形成为具有相对大的尺寸，例如平面图中之最短维度大于约2cm，或平面图之主动区域大于约10cm2。

7. 发明专利

TWI616546B 多噴嘴之有機蒸氣噴射印刷有权
简体标题：多喷嘴之有机蒸气喷射印刷
公开(公告)号：TWI616546B
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：TW105140046
申请日：2013-08-26
申请人：環球展覽公司 , UNIVERSAL DISPLAY CORPORATION
发明人：哈克斯納莫翰斯德哈西 , HARIKRISHNA MOHAN, SIDDHARTH , 布洛斯保羅E , BURROWS, PAUL E.
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： H01L51/0003 , C23C14/04 , C23C14/12 , C23C14/228 , H01L51/0005 , H01L51/56

8. 发明专利

TWI579403B 用於有機蒸氣噴射印刷之噴嘴設計有权
简体标题：用于有机蒸气喷射印刷之喷嘴设计
公开(公告)号：TWI579403B
公开(公告)日：2017-04-21
申请号：TW102107535
申请日：2013-03-04
申请人：環球展覽公司 , UNIVERSAL DISPLAY CORPORATION
发明人：哈克斯納莫翰斯德哈西 , HARIKRISHNA MOHAN, SIDDHARTH , 布洛斯保羅E , BURROWS, PAUL E.
IPC分类号： C23C16/455 , B05B1/30
CPC分类号： B05B1/34 , B05D1/60 , H01L51/0008 , H01L51/56

9. 发明专利

TWI568867B 多噴嘴之有機蒸氣噴射印刷有权
简体标题：多喷嘴之有机蒸气喷射印刷
公开(公告)号：TWI568867B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：TW102130503
申请日：2013-08-26
申请人：環球展覽公司 , UNIVERSAL DISPLAY CORPORATION
发明人：哈克斯納莫翰斯德哈西 , HARIKRISHNA MOHAN, SIDDHARTH , 布洛斯保羅E , BURROWS, PAUL E.
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： H01L51/0003 , C23C14/04 , C23C14/12 , C23C14/228 , H01L51/0005 , H01L51/56

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