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    • 5. 发明专利
    • 微小部X線計測裝置
    • 微小部X线计测设备
    • TW201142275A
    • 2011-12-01
    • TW100100931
    • 2011-01-11
    • 理學股份有限公司
    • 中野朝雄稻葉克彥野野口雅弘
    • G01NG02BG21K
    • 本發明之課題在於提供即使被搭載試樣的基板(基材)之元素,與試樣所包含的元素為相同,也可以安定地進行微小部分的成分計測之微小部X線計測裝置。解決手段為具備:X線發生裝置、使放出的X線聚焦照射於50μm直徑以下的剖面積之X線光學元件、檢測螢光X線之X線檢測器、可攝影光學影像的光學顯微鏡與影像辨識機能,可以使試樣二次元地移動而定位,且於高度方向上可以調整其位置的試樣相對移動機構;可進行試樣的特定位置之螢光X線計測,且在來自被置於基材上的測定試樣的螢光X線也可以計測的微小部X線計測裝置;使X線照射位置與前述X線檢測器之間的螢光X線的光徑為抑制螢光X線的衰減之構造(真空或氦氣置換),而且具備備有即使基材上的測定試樣包含與基材相同的金屬元素,也可以判定出測定試樣含有相同的金屬元素的資料處理機能之資料處理部。
    • 本发明之课题在于提供即使被搭载试样的基板(基材)之元素,与试样所包含的元素为相同,也可以安定地进行微小部分的成分计测之微小部X线计测设备。解决手段为具备:X线发生设备、使放出的X线聚焦照射于50μm直径以下的剖面积之X线光学组件、检测萤光X线之X线检测器、可摄影光学影像的光学显微镜与影像辨识机能,可以使试样二次元地移动而定位,且于高度方向上可以调整其位置的试样相对移动机构;可进行试样的特定位置之萤光X线计测,且在来自被置于基材上的测定试样的萤光X线也可以计测的微小部X线计测设备;使X线照射位置与前述X线检测器之间的萤光X线的光径为抑制萤光X线的衰减之构造(真空或氦气置换),而且具备备有即使基材上的测定试样包含与基材相同的金属元素,也可以判定出测定试样含有相同的金属元素的数据处理机能之数据处理部。