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1. 发明专利

TW201030329A 分析包含不純物之組合物的方法 METHOD OF ANALYZING A COMPOSITION CONTAINING IMPURITIES 审中-公开
简体标题：分析包含不纯物之组合物的方法 METHOD OF ANALYZING A COMPOSITION CONTAINING IMPURITIES
公开(公告)号：TW201030329A
公开(公告)日：2010-08-16
申请号：TW098139020
申请日：2009-11-17
申请人：漢洛克半導體公司
发明人：哈德約翰 , 荷姆斯榮恩 , 普歐卡爾
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G01N30/88 , C01B33/10778 , G01N1/42 , G01N30/7206 , G01N2030/8872
摘要：本發明提供一種分析組合物的方法及一種處理該組合物的方法。該組合物包含不純物且具有低於環境溫度之沸點及/或在14.5℃時大於水之蒸氣壓。該分析組合物的方法包括在一容器中提供呈液態之該組合物的步驟。使該液態組合物在容器中在低於組合物沸點的溫度下冷卻，由此使該組合物維持液態。使容器中經冷卻之組合物轉化以得到經汽化之組合物與經霧化之組合物中之至少一者，將該經轉化之組合物引至分析裝置中。自分析裝置獲得組合物中不純物之含量的測定值。該處理組合物的方法包括與分析組合物的方法相同的步驟，但進一步需要使至少一部分組合物殘留在供料槽中。
简体摘要：本发明提供一种分析组合物的方法及一种处理该组合物的方法。该组合物包含不纯物且具有低于环境温度之沸点及/或在14.5℃时大于水之蒸气压。该分析组合物的方法包括在一容器中提供呈液态之该组合物的步骤。使该液态组合物在容器中在低于组合物沸点的温度下冷却，由此使该组合物维持液态。使容器中经冷却之组合物转化以得到经汽化之组合物与经雾化之组合物中之至少一者，将该经转化之组合物引至分析设备中。自分析设备获得组合物中不纯物之含量的测定值。该处理组合物的方法包括与分析组合物的方法相同的步骤，但进一步需要使至少一部分组合物残留在供料槽中。

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