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2. 发明专利

TW201800693A 液化氣體供給系統的加熱控制系統和方法审中-公开
简体标题：液化气体供给系统的加热控制系统和方法
公开(公告)号：TW201800693A
公开(公告)日：2018-01-01
申请号：TW105120510
申请日：2016-06-29
申请人：法液空電子設備股份有限公司 , AIR LIQUIDE ELECTRONICS SYSTEMS ASIA LTD
发明人：古崇新 , KU, CHUNG-HSIN , 黃文昌 , HUANG, WEN-CHUNG , 賴葦芸 , LAI, WEI-YUN LUCIA , 柯淳勛 , KO, CHUN-HSUN , 楊嘉明 , YANG, CHIAMING , 潘立凱 , PAN, ELSON , 廖佑達 , LIAO, YU-DA
IPC分类号： F17C7/04 , B67D7/80 , B67D7/06 , C23C16/455
摘要：本文描述一種用於為液化氣體供給系統或大宗氣體供給系統(BGDS)提供加熱控制以保證輸送從液化狀態下的液態氣體生成的蒸發氣體的壓力保持恆定及控制蒸發氣體的溫度接近環境溫度並且避免過度加熱導致容器乾涸的同時確保在容器內的液態氣體的最大利用率的輸送氣體的系統，該蒸發氣體是適合用作半導體製程的氣體，其包含：一個液態氣體氣罐放置在一個平臺重量秤上，所述平臺重量秤讀取儲存在所述液態氣體氣罐裡的液態氣體的重量(Wt)，一個加熱器放置在所述液態氣體氣罐的底部與所述液態氣體氣罐的外壁直接接觸，所述加熱器根據需要用於加所述該液態氣體氣罐，及一個可編程邏輯控制器應用蒸發氣體溫度，加熱器動作所產生的溫度，環境溫度和所述液態氣體的重量(Wt)來計算所述加熱器用於加熱所述液態氣體氣罐所需要的電能，其中，所述加熱器具有多個溫度設定點，依據預先設定的液態氣體重量範圍的設置設定，並且所述加熱器在每個溫度設定點恒溫加熱液態氣體氣罐，由此形成一個階梯式溫度控制模式。本文描述一種用於為液化氣體供給系統或大宗氣體供給系統(BGDS)提供加熱控制以保證輸送從液化狀態下的液態氣體生成的蒸發氣體的壓力保持恆定並且避免過度加熱導致容器乾涸的同時確保在容器內的液態氣體的最大利用率的輸送氣體的方法。
简体摘要：本文描述一种用于为液化气体供给系统或大宗气体供给系统(BGDS)提供加热控制以保证输送从液化状态下的液态气体生成的蒸发气体的压力保持恒定及控制蒸发气体的温度接近环境温度并且避免过度加热导致容器干涸的同时确保在容器内的液态气体的最大利用率的输送气体的系统，该蒸发气体是适合用作半导体制程的气体，其包含：一个液态气体气罐放置在一个平台重量秤上，所述平台重量秤读取存储在所述液态气体气罐里的液态气体的重量(Wt)，一个加热器放置在所述液态气体气罐的底部与所述液态气体气罐的外壁直接接触，所述加热器根据需要用于加所述该液态气体气罐，及一个可编程逻辑控制器应用蒸发气体温度，加热器动作所产生的温度，环境温度和所述液态气体的重量(Wt)来计算所述加热器用于加热所述液态气体气罐所需要的电能，其中，所述加热器具有多个温度设置点，依据预先设置的液态气体重量范围的设置设置，并且所述加热器在每个温度设置点恒温加热液态气体气罐，由此形成一个阶梯式温度控制模式。本文描述一种用于为液化气体供给系统或大宗气体供给系统(BGDS)提供加热控制以保证输送从液化状态下的液态气体生成的蒸发气体的压力保持恒定并且避免过度加热导致容器干涸的同时确保在容器内的液态气体的最大利用率的输送气体的方法。

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