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1. 发明专利

TW201110274A 微機電系統裝置失效
简体标题：微机电系统设备
公开(公告)号：TW201110274A
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：TW099107653
申请日：2010-03-16
申请人：松下電工股份有限公司
发明人：橘宏明 , 河野清彥
IPC分类号： H01L , B81B
CPC分类号： H02N1/006 , B81B7/007 , B81B2207/098 , H01L2224/48091 , H01L2924/1461 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要：本發明係提供一種微機電系統裝置(MEMS裝置),能夠抑制對MEMS晶片的晶片本體1施加不必要之應力,同時防止因與外部物體之接觸而引起導電構件破損。該MEMS裝置,係包括MEMS晶片600、收容該MEMS晶片之基底5,且具備如下構成。該MEMS晶片包括由半導體基板所形成之晶片本體1、及接合於該晶片本體1的上表面之第一蓋2。基底上形成有連接於外部的電壓源之第1/第2供電體502。晶片本體包括固定部10、可動自如地被支持於該固定部之可動部20、電性連接於固定部之第1電極12、及電性連接於可動部之第2電極22。藉由施加至第1電極與第2電極之間的電壓所引起之驅動力,可動部相對於固定部而位移。於晶片本體的上表面的固定部上,形成有分別與第1/第2電極電性連接之第1/第2焊墊13。第1/第2焊墊,藉由導電構件6而分別與第1/第2供電體502電性連接。第1蓋上形成有使晶片本體上表面的各第1/第2焊墊露出之一對貫通孔202。導電構件,自第1/第2供電體經由各貫通孔而延伸至第1/第2焊墊。於第1蓋上具備溝槽203,該溝槽203為了收容自各貫通孔分別延伸至第1/第2供電體的導電構件,而自各貫通孔延伸至第1蓋的側面,且於第1蓋之側面與上表面開口。
简体摘要：本发明系提供一种微机电系统设备(MEMS设备),能够抑制对MEMS芯片的芯片本体1施加不必要之应力,同时防止因与外部物体之接触而引起导电构件破损。该MEMS设备,系包括MEMS芯片600、收容该MEMS芯片之基底5,且具备如下构成。该MEMS芯片包括由半导体基板所形成之芯片本体1、及接合于该芯片本体1的上表面之第一盖2。基底上形成有连接于外部的电压源之第1/第2供电体502。芯片本体包括固定部10、可动自如地被支持于该固定部之可动部20、电性连接于固定部之第1电极12、及电性连接于可动部之第2电极22。借由施加至第1电极与第2电极之间的电压所引起之驱动力,可动部相对于固定部而位移。于芯片本体的上表面的固定部上,形成有分别与第1/第2电极电性连接之第1/第2焊垫13。第1/第2焊垫,借由导电构件6而分别与第1/第2供电体502电性连接。第1盖上形成有使芯片本体上表面的各第1/第2焊垫露出之一对贯通孔202。导电构件,自第1/第2供电体经由各贯通孔而延伸至第1/第2焊垫。于第1盖上具备沟槽203,该沟槽203为了收容自各贯通孔分别延伸至第1/第2供电体的导电构件,而自各贯通孔延伸至第1盖的侧面,且于第1盖之侧面与上表面开口。

2. 发明专利

TW201210308A 感測器裝置 SENSOR DEVICE 审中-公开
简体标题：传感器设备 SENSOR DEVICE
公开(公告)号：TW201210308A
公开(公告)日：2012-03-01
申请号：TW100126214
申请日：2011-07-25
申请人：松下電工股份有限公司
发明人：河野清彥 , 橘宏明
IPC分类号： H04N , G02B
CPC分类号： G01V8/14
摘要：本發明的感測器裝置係構成為:藉由光學反射鏡將來自於偵測用雷射的偵測用雷射光朝向偵測對象空間側反射,並利用光檢測部檢測在偵測對象空間側反射的偵測用雷射光。感測器裝置進一步包含半鏡(half mirror),此乃配置成將射入半鏡的偵測用雷射光之一部分及剩餘部分分別反射及透射。並使偵測用雷射與光學反射鏡之間的光軸及光學反射鏡與光檢測部之間的光軸,在光學反射鏡與半鏡之間一致。
简体摘要：本发明的传感器设备系构成为:借由光学反射镜将来自于侦测用激光的侦测用激光光朝向侦测对象空间侧反射,并利用光检测部检测在侦测对象空间侧反射的侦测用激光光。传感器设备进一步包含半镜(half mirror),此乃配置成将射入半镜的侦测用激光光之一部分及剩余部分分别反射及透射。并使侦测用激光与光学反射镜之间的光轴及光学反射镜与光检测部之间的光轴,在光学反射镜与半镜之间一致。

3. 发明专利

TW201207394A 化學感測器 CHEMICAL SENSOR 审中-公开
简体标题：化学传感器 CHEMICAL SENSOR
公开(公告)号：TW201207394A
公开(公告)日：2012-02-16
申请号：TW100114801
申请日：2011-04-28
申请人：松下電工股份有限公司
发明人：橘宏明 , 辻幸司
IPC分类号： G01N
CPC分类号： B01L3/5027 , B01L2300/0645 , B01L2300/0825 , B01L2300/1822 , B01L2400/0406 , G01N1/2214 , G01N33/006 , G01N2001/2217 , G01N2001/2282
摘要：本發明提供一種以簡便的方法使氣體中的被測定物質溶解於液體中之化學感測器。該化學感測器具有:感測器固持部11;氣體注入孔12,注入含有被測定物質之氣體;試樣採取部13,採取從氣體注入孔12注入的氣體所含有之被測定物質;試樣運送部14,將由試樣採取部13所採取之被測定物質運送至試樣反應部15;試樣反應部15,具有與由試樣運送部14所運送之被測定物質產生既定反應之反應物質;以及檢測部16,檢測在試樣反應部15中與反應物質產生反應之被測定物質。試樣採取部13,具有將由氣體注入孔12注入的氣體所含有之水蒸氣液化之帕耳帖元件。
简体摘要：本发明提供一种以简便的方法使气体中的被测定物质溶解于液体中之化学传感器。该化学传感器具有:传感器固持部11;气体注入孔12,注入含有被测定物质之气体;试样采取部13,采取从气体注入孔12注入的气体所含有之被测定物质;试样运送部14,将由试样采取部13所采取之被测定物质运送至试样反应部15;试样反应部15,具有与由试样运送部14所运送之被测定物质产生既定反应之反应物质;以及检测部16,检测在试样反应部15中与反应物质产生反应之被测定物质。试样采取部13,具有将由气体注入孔12注入的气体所含有之水蒸气液化之帕耳帖组件。

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