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    • 4. 发明专利
    • 用於液晶裝置之正光阻組合物 POSITIVE PHOTORESIST COMPOSITION FOR LIQUID CRYSTAL DEVICE
    • 用于液晶设备之正光阻组合物 POSITIVE PHOTORESIST COMPOSITION FOR LIQUID CRYSTAL DEVICE
    • TWI334512B
    • 2010-12-11
    • TW093106545
    • 2004-03-11
    • 東進世美肯股份有限公司
    • 李承昱姜勳金東敏趙俊衍朴大然
    • G03F
    • 本發明係關於一種可於液晶顯示電路及半導體積體電路上製造微電路圖案之液晶裝置光阻組合物,詳言之,本發明光阻組合物包含:(A)一清漆樹脂,其分子量介於5,000至9,000間且其中間-甲苯酚與對-甲苯酚的重量比例介於50至80比50至20間,視分子量的不同而定;(B)一光敏二疊氮類化合物;(C)一促黏劑;及(D)一有機溶劑。
      本發明之液晶裝置光阻組合物具有極佳的感光速度、層殘存比、電路尺寸均一性、半高區域殘存層厚度均一性、解析度、顯影對比、黏附性、耐熱性及剝除溶解性,因此這些光阻組合物可用來感善產業工作環境。
    • 本发明系关于一种可于液晶显示电路及半导体集成电路上制造微电路图案之液晶设备光阻组合物,详言之,本发明光阻组合物包含:(A)一清漆树脂,其分子量介于5,000至9,000间且其中间-甲苯酚与对-甲苯酚的重量比例介于50至80比50至20间,视分子量的不同而定;(B)一光敏二叠氮类化合物;(C)一促黏剂;及(D)一有机溶剂。 本发明之液晶设备光阻组合物具有极佳的感光速度、层残存比、电路尺寸均一性、半高区域残存层厚度均一性、分辨率、显影对比、黏附性、耐热性及剥除溶解性,因此这些光阻组合物可用来感善产业工作环境。