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1. 发明专利

TWI239373B 旋轉機之壽命預測系統、旋轉機之壽命預測方法及具有旋轉機之製造裝置失效
简体标题：旋转机之寿命预测系统、旋转机之寿命预测方法及具有旋转机之制造设备
公开(公告)号：TWI239373B
公开(公告)日：2005-09-11
申请号：TW092126377
申请日：2003-09-24
申请人：東芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人：佐俁秀一 , 牛久幸廣 USHIKU, YUJIHIRO , 山本明人 AKIHITO YAMAMOTO , 中尾隆 , 古田武夫
IPC分类号： F04B , G05B
CPC分类号： G05B23/0229 , G01H1/003 , G05B23/0283
摘要：本發明提供一種以廉價之裝置，簡便安定且高精確度地預測旋轉機之壽命之壽命預測系統。
本發明具備：振動計7，其係測定旋轉機3振動之時間序列加速度資料；帶通濾波器8，其係將已測定之類比信號之時間序列加速度資訊以包含第1解析頻率之頻率帶過濾，該第1解析頻率係以包含旋轉機之轉子葉片片數之公式和旋轉機固有之基準振動頻率之積表示；及資料處理單元6，其係從已過濾之第1解析頻率之時間序列加速度資料之特徵量，預測旋轉機3之壽命。
简体摘要：本发明提供一种以廉价之设备，简便安定且高精确度地预测旋转机之寿命之寿命预测系统。本发明具备：振动计7，其系测定旋转机3振动之时间串行加速度数据；带通滤波器8，其系将已测定之模拟信号之时间串行加速度信息以包含第1解析频率之频率带过滤，该第1解析频率系以包含旋转机之转子叶片片数之公式和旋转机固有之基准振动频率之积表示；及数据处理单元6，其系从已过滤之第1解析频率之时间串行加速度数据之特征量，预测旋转机3之寿命。

2. 发明专利

TW200407504A 旋轉機之壽命預預測方法及具有旋轉機之製造裝置失效
简体标题：旋转机之寿命预预测方法及具有旋转机之制造设备
公开(公告)号：TW200407504A
公开(公告)日：2004-05-16
申请号：TW092126346
申请日：2003-09-24
申请人：東芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人：佐俁秀一 , 牛久幸廣 , 中尾隆 , 古田武夫
IPC分类号： F04B
CPC分类号： F04C29/0085 , F04C18/18 , F04C28/28 , F04C2220/12 , F04C2220/30 , F04C2270/07 , F04C2270/80
摘要：本發明提供一種高感度且穩定之高精度之旋轉機之壽命預測方法。本發明之旋轉機之壽命預測方法包含：由使用於監視器用製造工序之監視器用旋轉機之特徵量之監視器時間序列資料，判定監視器用旋轉機即將停止前之異常狀態之開始時刻，用統計的方法解析監視器時間序列資料，以求出特徵量之異常狀態之開始時刻之值作為異常判斷之臨限值之步驟；在製造工序中測定診斷對象旋轉機之馬達電流之特徵量之時間序列資料之步驟；由製造工序中特徵量變動之時間序列資料，製成評估用診斷資料之步驟；及判定評估用診斷資料超過臨限值之時刻作為診斷對象旋轉機之壽命之步驟。
简体摘要：本发明提供一种高感度且稳定之高精度之旋转机之寿命预测方法。本发明之旋转机之寿命预测方法包含：由使用于监视器用制造工序之监视器用旋转机之特征量之监视器时间串行数据，判定监视器用旋转机即将停止前之异常状态之开始时刻，用统计的方法解析监视器时间串行数据，以求出特征量之异常状态之开始时刻之值作为异常判断之临限值之步骤；在制造工序中测定诊断对象旋转机之马达电流之特征量之时间串行数据之步骤；由制造工序中特征量变动之时间串行数据，制成评估用诊断数据之步骤；及判定评估用诊断数据超过临限值之时刻作为诊断对象旋转机之寿命之步骤。

3. 发明专利

TW200415311A 旋轉機之壽命預測系統、旋轉機之壽命預測方法及具有旋轉機之製造裝置失效
简体标题：旋转机之寿命预测系统、旋转机之寿命预测方法及具有旋转机之制造设备
公开(公告)号：TW200415311A
公开(公告)日：2004-08-16
申请号：TW092126377
申请日：2003-09-24
申请人：東芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人：佐俁秀一 , 牛久幸廣 , 山本明人 AKIHITO YAMAMOTO , 中尾隆 , 古田武夫
IPC分类号： F04B , G05B
CPC分类号： G05B23/0229 , G01H1/003 , G05B23/0283
摘要：本發明提供一種以廉價之裝置，簡便安定且高精確度地預測旋轉機之壽命之壽命預測系統。本發明具備：振動計7，其係測定旋轉機3振動之時間序列加速度資料；帶通濾波器8，其係將已測定之類比信號之時間序列加速度資訊以包含第1解析頻率之頻率帶過濾，該第1解析頻率係以包含旋轉機之轉子葉片片數之公式和旋轉機固有之基準振動頻率之積表示；及資料處理單元6，其係從已過濾之第1解析頻率之時間序列加速度資料之特徵量，預測旋轉機3之壽命。
简体摘要：本发明提供一种以廉价之设备，简便安定且高精确度地预测旋转机之寿命之寿命预测系统。本发明具备：振动计7，其系测定旋转机3振动之时间串行加速度数据；带通滤波器8，其系将已测定之模拟信号之时间串行加速度信息以包含第1解析频率之频率带过滤，该第1解析频率系以包含旋转机之转子叶片片数之公式和旋转机固有之基准振动频率之积表示；及数据处理单元6，其系从已过滤之第1解析频率之时间串行加速度数据之特征量，预测旋转机3之寿命。

4. 发明专利

TW591688B 半導體製造裝置用旋轉機之壽命預測方法及半導體製造裝置失效
简体标题：半导体制造设备用旋转机之寿命预测方法及半导体制造设备
公开(公告)号：TW591688B
公开(公告)日：2004-06-11
申请号：TW091119820
申请日：2002-08-30
申请人：東芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人：佐俁秀一 , 牛久幸廣 , 古田武夫 , 中尾隆 , 石井賢
IPC分类号： F04B , G05B , H01L
CPC分类号： G05B19/4065 , G05B2219/37252 , Y02P90/86
摘要：本發明提供一種高靈敏度且穩定之半導體製造裝置用旋轉機之壽命預測方法。其包含：測定旋轉機(乾泵)之加速度，獲得時間序列資料(步驟S101)；頻率分析時間序列資料，獲得頻譜(步驟S102)；決定分析對象頻率(步驟 S103)；抽樣測定對應於分析對象頻率之峰值加速度的基準用時間序列資料、及峰值加速度的評估用時間序列資料(步驟S104)；使用基準用時間序列資料及評估用時間序列資料，作成旋轉機之壽命評估用資料，以決定旋轉機壽命步驟(步驟S105)。
简体摘要：本发明提供一种高灵敏度且稳定之半导体制造设备用旋转机之寿命预测方法。其包含：测定旋转机(干泵)之加速度，获得时间串行数据(步骤S101)；频率分析时间串行数据，获得频谱(步骤S102)；决定分析对象频率(步骤 S103)；抽样测定对应于分析对象频率之峰值加速度的基准用时间串行数据、及峰值加速度的评估用时间串行数据(步骤S104)；使用基准用时间串行数据及评估用时间串行数据，作成旋转机之寿命评估用数据，以决定旋转机寿命步骤(步骤S105)。

5. 发明专利

TWI250271B 製造裝置及預測旋轉機壽命之方法失效
简体标题：制造设备及预测旋转机寿命之方法
公开(公告)号：TWI250271B
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：TW092126380
申请日：2003-09-24
申请人：東芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人：佐俁秀一 , 古田武夫 , 牛久幸廣 USHIKU, YUJIHIRO , 山本明人 AKIHITO YAMAMOTO , 中尾隆
IPC分类号： G01M
CPC分类号： G01M15/12 , G05B23/0221 , G05B23/0283
摘要：本發明係提供一種具備可高感度且穩定高精度壽命預測之旋轉機之製造裝置。
該製造裝置係在旋轉機3將測量時間序列振動資料的加速度計36a、36b配置於旋轉機振動變動不同的位置。以加速度計36a、36b所測量的時間序列振動資料以頻率解析裝置37頻率解析。在時間序列資料記錄部5從經頻率解析的時間序列振動資料作成與解析對稱頻率對應的特徵量變動作為評估用診斷資料，並記錄評估用診斷資料。在壽命判斷單元6使用評估用診斷資料預測旋轉機3的壽命。
简体摘要：本发明系提供一种具备可高感度且稳定高精度寿命预测之旋转机之制造设备。该制造设备系在旋转机3将测量时间串行振动数据的加速度计36a、36b配置于旋转机振动变动不同的位置。以加速度计36a、36b所测量的时间串行振动数据以频率解析设备37频率解析。在时间串行数据记录部5从经频率解析的时间串行振动数据作成与解析对称频率对应的特征量变动作为评估用诊断数据，并记录评估用诊断数据。在寿命判断单元6使用评估用诊断数据预测旋转机3的寿命。

6. 发明专利

TW200413706A 製造裝置及預測旋轉機壽命之方法失效
简体标题：制造设备及预测旋转机寿命之方法
公开(公告)号：TW200413706A
公开(公告)日：2004-08-01
申请号：TW092126380
申请日：2003-09-24
申请人：東芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人：佐俁秀一 , 古田武夫 , 牛久幸廣 , 山本明人 AKIHITO YAMAMOTO , 中尾隆
IPC分类号： G01M
CPC分类号： G01M15/12 , G05B23/0221 , G05B23/0283
摘要：本發明係提供一種具備可高感度且穩定高精度壽命預測之旋轉機之製造裝置。該製造裝置係在旋轉機3將測量時間序列振動資料的加速度計36a、36b配置於旋轉機振動變動不同的位置。以加速度計36a、36b所測量的時間序列振動資料以頻率解析裝置37頻率解析。在時間序列資料記錄部5從經頻率解析的時間序列振動資料作成與解析對稱頻率對應的特徵量變動作為評估用診斷資料，並記錄評估用診斷資料。在壽命判斷單元6使用評估用診斷資料預測旋轉機3的壽命。
简体摘要：本发明系提供一种具备可高感度且稳定高精度寿命预测之旋转机之制造设备。该制造设备系在旋转机3将测量时间串行振动数据的加速度计36a、36b配置于旋转机振动变动不同的位置。以加速度计36a、36b所测量的时间串行振动数据以频率解析设备37频率解析。在时间串行数据记录部5从经频率解析的时间串行振动数据作成与解析对称频率对应的特征量变动作为评估用诊断数据，并记录评估用诊断数据。在寿命判断单元6使用评估用诊断数据预测旋转机3的寿命。

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