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    • 4. 发明专利
    • 製造有機發光顯示裝置方法
    • 制造有机发光显示设备方法
    • TW201533274A
    • 2015-09-01
    • TW104103730
    • 2015-02-04
    • 東友精細化工有限公司DONGWOO FINE-CHEM CO., LTD.
    • 張晌勳JANG, SANG HOON金泰完KIM, TAE WAN沈慶輔SHIM, KYUNG BO
    • C23F1/30H01L51/56H01L21/336
    • 揭露一種製造有機發光顯示裝置的方法,該方法包括:a) 於基板上形成閘極電極; b) 於包括閘極電極的基板上形成閘極絕緣層; c) 於閘極絕緣層上形成主動層; d) 於主動層上形成絕緣層; e) 於絕緣層上形成與主動層接觸的源極電極及汲極電極; f) 於絕緣層形成保護層以覆蓋該源極電極及汲極電極;以及 g) 形成與源極電極及汲極電極中的一者電連接的有機發光元件,其中步驟 a) 包括形成鋁、鉬或銀金屬層或其積層、以及以包括50至70 wt. %的磷酸、2至15 wt. %的硝酸、5至20 wt. %的醋酸、0.1至5 wt. %的對甲苯磺酸以及水作為平衡的蝕刻劑組成物蝕刻該金屬層,以形成閘極電極,從而一起蝕刻形成閘極電極與畫素電極的金屬層,以達到優異蝕刻效果,並且以改善的製程效率製造有機發光顯示裝置是有可能的。
    • 揭露一种制造有机发光显示设备的方法,该方法包括:a) 于基板上形成闸极电极; b) 于包括闸极电极的基板上形成闸极绝缘层; c) 于闸极绝缘层上形成主动层; d) 于主动层上形成绝缘层; e) 于绝缘层上形成与主动层接触的源极电极及汲极电极; f) 于绝缘层形成保护层以覆盖该源极电极及汲极电极;以及 g) 形成与源极电极及汲极电极中的一者电连接的有机发光组件,其中步骤 a) 包括形成铝、钼或银金属层或其积层、以及以包括50至70 wt. %的磷酸、2至15 wt. %的硝酸、5至20 wt. %的醋酸、0.1至5 wt. %的对甲苯磺酸以及水作为平衡的蚀刻剂组成物蚀刻该金属层,以形成闸极电极,从而一起蚀刻形成闸极电极与像素电极的金属层,以达到优异蚀刻效果,并且以改善的制程效率制造有机发光显示设备是有可能的。