会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 2. 发明专利
    • 複合掩膜版組件
    • 复合掩膜版组件
    • TW201410892A
    • 2014-03-16
    • TW102132119
    • 2013-09-06
    • 昆山允升吉光電科技有限公司KUN SHAN POWER STENCIL CO., LTD.
    • 魏志凌WEI, CHIH-LING高小平KAO, HSIAO-PING潘世珎PAN, SHIH-CHEN
    • C23C14/04
    • C23C14/042C23C14/12C23C14/24
    • 一種複合掩膜版組件,包括掩膜主體和掩膜框,該掩膜主體包括掩膜層和支撐層,該掩膜層具有開口,以構成掩膜版圖案區。該支撐層具有與該掩膜層之開口相對應之支撐條,該支撐層與該掩膜層緊密結合,起到對該掩膜層的支撐作用,且該支撐層不會對該開口形成遮擋。本發明係以金屬合金材料作為支撐層,與習知掩膜版相比,內部金屬材料大量減少,使得複合掩膜版的總體質量減少。在將複合掩膜版固定在外框上時,其內部下垂量將會減少,以降低或彌補掩膜主體板面產生下垂的情況,以提高產品的良品率。
    • 一种复合掩膜版组件,包括掩膜主体和掩膜框,该掩膜主体包括掩膜层和支撑层,该掩膜层具有开口,以构成掩膜版图案区。该支撑层具有与该掩膜层之开口相对应之支撑条,该支撑层与该掩膜层紧密结合,起到对该掩膜层的支撑作用,且该支撑层不会对该开口形成遮挡。本发明系以金属合金材料作为支撑层,与习知掩膜版相比,内部金属材料大量减少,使得复合掩膜版的总体质量减少。在将复合掩膜版固定在外框上时,其内部下垂量将会减少,以降低或弥补掩膜主体板面产生下垂的情况,以提高产品的良品率。