专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

2. 发明专利

TW201637736A 發光二極體晶圓分選方法审中-公开
简体标题：发光二极管晶圆分选方法
公开(公告)号：TW201637736A
公开(公告)日：2016-11-01
申请号：TW104113698
申请日：2015-04-29
申请人：旺矽科技股份有限公司 , MPI CORPORATION
发明人：蔡振揚 , TSAI, CHEN YANG , 歐昇明 , OU, SHENG MING , 林家瑋 , LIN, CHIA WEI , 陳建發 , CHEN, CHIEN FA
IPC分类号： B07C5/34 , B07C5/342
摘要：一種發光二極體晶圓分選方法，包括下列步驟。取得晶圓的特徵晶粒地圖以及點測晶粒地圖，其中特徵晶粒地圖紀錄至少一特徵晶粒的位置。藉由分選設備擷取晶圓的影像，以產生第一辨識晶粒地圖。套圖整合特徵晶粒地圖、點測晶粒地圖及第一辨識晶粒地圖，以產生分選晶粒地圖。藉由分選設備依照分選晶粒地圖分選待選晶粒，以產生一分選後的分選晶粒地圖。於分選後擷取晶圓的影像，以產生一第二辨識晶粒地圖。套圖比對第二辨識晶粒地圖及分選後的分選晶粒地圖，以確認殘留在晶圓上的晶粒的位置與特徵晶粒的位置是否吻合。
简体摘要：一种发光二极管晶圆分选方法，包括下列步骤。取得晶圆的特征晶粒地图以及点测晶粒地图，其中特征晶粒地图纪录至少一特征晶粒的位置。借由分选设备截取晶圆的影像，以产生第一辨识晶粒地图。套图集成特征晶粒地图、点测晶粒地图及第一辨识晶粒地图，以产生分选晶粒地图。借由分选设备依照分选晶粒地图分选待选晶粒，以产生一分选后的分选晶粒地图。于分选后截取晶圆的影像，以产生一第二辨识晶粒地图。套图比对第二辨识晶粒地图及分选后的分选晶粒地图，以确认残留在晶圆上的晶粒的位置与特征晶粒的位置是否吻合。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式