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1. 发明专利

TWI357490B 透明板狀體的缺陷檢查方法及裝置有权
简体标题：透明板状体的缺陷检查方法及设备
公开(公告)号：TWI357490B
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：TW094137913
申请日：2005-10-28
申请人：旭硝子股份有限公司
发明人：尊田嘉之
IPC分类号： G01B , G09F
CPC分类号： G01N21/896 , G01N2021/8908 , G01N2021/8967
摘要：用以解決透明板狀體增大而連帶使檢查性能劣化的習知技術問題。
具有：使用具有配設在透明板狀體1之主表面側的線狀光源2及相機3的第1反射型明視野光學系，來拍攝透明板狀體1之主表面的影像(以下稱為第1影像)的步驟、和以同樣的來拍攝透明板狀體1之背面的影像(以下稱為第2影像)的步驟、和針對第1及第2影像的各個來探索缺陷候補的步驟、和根據該探索的結果來確認在第1及第2影像之互相對應的位置是否有缺陷候補，由第1及第2影像之兩者看見缺陷候補的時候，將該缺陷候補視為缺陷，只由第1及第2影像之一者看見缺陷候補的時候，將該缺陷候補視為擬似缺陷的步驟。
简体摘要：用以解决透明板状体增大而连带使检查性能劣化的习知技术问题。具有：使用具有配设在透明板状体1之主表面侧的线状光源2及相机3的第1反射型明视野光学系，来拍摄透明板状体1之主表面的影像(以下称为第1影像)的步骤、和以同样的来拍摄透明板状体1之背面的影像(以下称为第2影像)的步骤、和针对第1及第2影像的各个来探索缺陷候补的步骤、和根据该探索的结果来确认在第1及第2影像之互相对应的位置是否有缺陷候补，由第1及第2影像之两者看见缺陷候补的时候，将该缺陷候补视为缺陷，只由第1及第2影像之一者看见缺陷候补的时候，将该缺陷候补视为拟似缺陷的步骤。

2. 发明专利

TW201221901A 表面形狀之評價方法及表面形狀之評價裝置审中-公开
简体标题：表面形状之评价方法及表面形状之评价设备
公开(公告)号：TW201221901A
公开(公告)日：2012-06-01
申请号：TW100124646
申请日：2011-07-12
申请人：旭硝子股份有限公司
发明人：尊田嘉之 , 大音仁昭 , 加藤宗壽 , 城山厚 , 有田祐介 , 木村友紀
IPC分类号： G01B , G01N
摘要：本發明係關於一種表面形狀之評價方法,其係將具有週期性之明暗之圖案照射至被評價物體之第1表面上,接受於上述第1表面上反射之圖案而獲得受光圖像,為檢測受光圖像之明暗週期相對於照射於上述第1表面上之圖案之明暗週期的偏移,將受光圖像之與照射於上述第1表面上之圖案之明暗週期對應的區域之明暗信號平均化,並基於經平均化之信號對上述第1表面之表面形狀進行評價者,且於與上述第1表面對向之第2表面上,配置抑制到達該第2表面上之光之反射的反射抑制層。
简体摘要：本发明系关于一种表面形状之评价方法,其系将具有周期性之明暗之图案照射至被评价物体之第1表面上,接受于上述第1表面上反射之图案而获得受光图像,为检测受光图像之明暗周期相对于照射于上述第1表面上之图案之明暗周期的偏移,将受光图像之与照射于上述第1表面上之图案之明暗周期对应的区域之明暗信号平均化,并基于经平均化之信号对上述第1表面之表面形状进行评价者,且于与上述第1表面对向之第2表面上,配置抑制到达该第2表面上之光之反射的反射抑制层。

3. 发明专利

TW201231914A 表面形狀之評估方法及表面形狀之評估裝置审中-公开
简体标题：表面形状之评估方法及表面形状之评估设备
公开(公告)号：TW201231914A
公开(公告)日：2012-08-01
申请号：TW100143197
申请日：2011-11-24
申请人：旭硝子股份有限公司
发明人：尊田嘉之 , 大音仁昭 , 加藤宗壽 , 城山厚
IPC分类号： G01B , G01N
摘要：本發明係有關於一種表面形狀之評估方法，其係對被評估物體之第1表面照射具有週期性明暗之圖案，接收由上述第1表面反射之圖案，獲得受光圖像，且為了檢測受光圖像中之明暗週期相對照射至上述第1表面之圖案中之明暗週期之偏離，而將與受光圖像中照射至上述第1表面之圖案中之明暗週期對應之受光圖像中之區域之明暗信號平均化，且基於經平均化之信號，評估上述第1表面之表面形狀，其中照射至上述第1表面之上述圖案之光之波長為200~380 nm。
简体摘要：本发明系有关于一种表面形状之评估方法，其系对被评估物体之第1表面照射具有周期性明暗之图案，接收由上述第1表面反射之图案，获得受光图像，且为了检测受光图像中之明暗周期相对照射至上述第1表面之图案中之明暗周期之偏离，而将与受光图像中照射至上述第1表面之图案中之明暗周期对应之受光图像中之区域之明暗信号平均化，且基于经平均化之信号，评估上述第1表面之表面形状，其中照射至上述第1表面之上述图案之光之波长为200~380 nm。

4. 发明专利

TWI372235B 表面形狀之檢測方法及檢測裝置有权
简体标题：表面形状之检测方法及检测设备
公开(公告)号：TWI372235B
公开(公告)日：2012-09-11
申请号：TW094118386
申请日：2005-06-03
申请人：旭硝子股份有限公司
发明人：尊田嘉之 , 大音仁昭 , 加藤宗壽 , 城山厚
IPC分类号： G01B
CPC分类号： G01N21/896 , G01N2021/9513
摘要：本發明提供一種以廉價之裝置構成去除背面反射影像之影響，可以高準確度檢測表面形狀之特性的檢測方法與檢測裝置。首先，決定具有明暗圖案之條帶圖案(Stripe pattern)1做為適合於透明板狀體(被檢查物體)3之條帶圖案，該明暗圖案為，使透明板狀體表面之反射影像與透明板狀體背面之反射影像，於攝像而得之影像信號之中呈分離狀而被設定者。然後，利用被決定之條帶圖案1，藉由影像解析，僅利用條帶圖案1之透明板狀體3之表面之反射影像評估透明板狀體3之表面形狀。
简体摘要：本发明提供一种以廉价之设备构成去除背面反射影像之影响，可以高准确度检测表面形状之特性的检测方法与检测设备。首先，决定具有明暗图案之条带图案(Stripe pattern)1做为适合于透明板状体(被检查物体)3之条带图案，该明暗图案为，使透明板状体表面之反射影像与透明板状体背面之反射影像，于摄像而得之影像信号之中呈分离状而被设置者。然后，利用被决定之条带图案1，借由影像解析，仅利用条带图案1之透明板状体3之表面之反射影像评估透明板状体3之表面形状。

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