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    • 4. 发明专利
    • 高純度錫或錫合金、以及高純度錫之製造方法
    • 高纯度锡或锡合金、以及高纯度锡之制造方法
    • TWI320433B
    • 2010-02-11
    • TW095122010
    • 2006-06-20
    • 日鑛金屬股份有限公司
    • 新藤裕一朗竹本幸一
    • C25CC22B
    • C22B25/04C22B13/06C22B25/08C22C13/00C22F1/16C25C1/14C25F1/04H01L23/4827H01L2224/13111H01L2924/00011H01L2924/00014H01L2924/10253H01L2924/00H01L2224/0401
    • 一種高純度錫或錫合金,其特徵在於:U、Th個別含有量為5ppb以下,Pb、Bi個別含有量為1ppm以下,純度為5N以上(其中,不計O、C、N、H、S、P之氣體成分)。一種高純度錫或錫合金,其特徵在於:具有鑄造組織之高純度錫的α射線計數為0.001cph/cm 2 以下。最近之半導體裝置,由於高密度化與高容量化,會因為半導體晶片附近之材料所釋放之α射線的影響,導致發生軟性錯誤之危險增多。特別是,對於與半導體裝置接近所使用之焊料或錫之高純度化要求殷切,並需要α射線少的材料,是以,本發明之課題在於獲得一種可適應前述情況之減低錫的α射線量之高純度錫或錫合金、以及高純度錫之製造方法。 【創作特點】 最近之半導體裝置,由於高密度化與高容量化,會因為半導體晶片附近之材料所釋放之α射線的影響,導致發生軟性錯誤之危險增多。特別是,對於與半導體裝置接近所使用之焊料或是錫之高純度化要求殷切,並需要α射線少的材料,故本發明之課題在於獲得一種可適應於前述要求之錫的α射線量降低之高純度錫或錫合金、以及高純度錫之製造方法。
      為了解決上述問題,本發明之高純度錫或錫合金,可極力排除α射線對半導體晶片之影響;其特徵在於:純度為5N以上(其中,不計O、C、N、H、S、P之氣體成分),其中放射性元素之U、Th個別含有量為5ppb以下,釋放放射線α粒子之Pb、Bi個別含有量為1ppm以下(又,於本發明所使用之%、ppm、ppb全部表示重量(wt))。
      本發明之高純度錫或錫合金最終係以熔解、鑄造以及視情況進行之壓延、裁斷所製造者,其高純度錫之α射線計數以0.001cph/cm 2 以下為佳,本發明之高純度錫或錫合金可實現此。
      於本發明中,尤其高純度錫之製造很重要,做為此高純度錫之製造方法,係將做為原料之錫以酸(例如硫酸)瀝取之後,將此瀝取液做為電解液,使得雜質之吸附材懸浮於該電解液,使用原料Sn陽極進行電解精製,藉此得到純度為5N以上(其中,不計O、C、N、H、S、P之氣體成分),其中放射性元素之U、Th個別含有量為5ppb以下,釋放放射線α粒子之Pb、Bi個別含有量為1ppm以下之高純度錫。
      由於Pb、Bi之電位皆與Sn接近,而有難以去除之問題,但藉由本發明之方法可實現有效率的去除。
      於前述電解液所懸浮之吸附材,可使用氧化鈦、氧化鋁、氧化錫等氧化物、活性炭、碳等。
      再者,以上述電解精製所得之高純度錫於250~500℃做熔解鑄造,且使此經鑄造之鑄錠經過6個月以上後之α射線計數為0.001cph/cm 2 以下。於Sn鑄造時,有氡之混入、針之蒸發,難以嚴密測定Sn中實際雜質或α射線量。是以,必須經過6個月以上達成安定化。
      換言之,於本發明中,可說是藉由經過6個月以上使得α射線計數安定於0.001cph/cm 2 以下。
      做為高純度錫合金之添加成分(合金成分),可舉出銀、銅、鋅等,惟並不限定於此等元素。又,通常添加量係設定於0.1~20重量%,惟並不限定於此添加量。同樣地需要使用高純度之材料。
      本發明之高純度錫或錫合金,其特徵在於,純度為5N以上(其中,不計O、C、N、H、S、P之氣體成分),其中放射性元素之U、Th個別含有量為5ppb以下,釋放放射線α粒子之Pb、Bi個別含有量為1ppm以下,可極力排除α射線對半導體晶片所造成之影響。
      此外,本發明之高純度錫或錫合金最終係以熔解鑄造所製造者,具有該錫之鑄造結構之高純度錫的α射線計數可控制在0.001cph/cm 2 以下,此為所具有之優異效果。藉此,可顯著減少半導體裝置因α射線之影響所造成之軟性錯誤的發生。
    • 一种高纯度锡或锡合金,其特征在于:U、Th个别含有量为5ppb以下,Pb、Bi个别含有量为1ppm以下,纯度为5N以上(其中,不计O、C、N、H、S、P之气体成分)。一种高纯度锡或锡合金,其特征在于:具有铸造组织之高纯度锡的α射线计数为0.001cph/cm 2 以下。最近之半导体设备,由于高密度化与高容量化,会因为半导体芯片附近之材料所释放之α射线的影响,导致发生软性错误之危险增多。特别是,对于与半导体设备接近所使用之焊料或锡之高纯度化要求殷切,并需要α射线少的材料,是以,本发明之课题在于获得一种可适应前述情况之减低锡的α射线量之高纯度锡或锡合金、以及高纯度锡之制造方法。 【创作特点】 最近之半导体设备,由于高密度化与高容量化,会因为半导体芯片附近之材料所释放之α射线的影响,导致发生软性错误之危险增多。特别是,对于与半导体设备接近所使用之焊料或是锡之高纯度化要求殷切,并需要α射线少的材料,故本发明之课题在于获得一种可适应于前述要求之锡的α射线量降低之高纯度锡或锡合金、以及高纯度锡之制造方法。 为了解决上述问题,本发明之高纯度锡或锡合金,可极力排除α射线对半导体芯片之影响;其特征在于:纯度为5N以上(其中,不计O、C、N、H、S、P之气体成分),其中放射性元素之U、Th个别含有量为5ppb以下,释放放射线α粒子之Pb、Bi个别含有量为1ppm以下(又,于本发明所使用之%、ppm、ppb全部表示重量(wt))。 本发明之高纯度锡或锡合金最终系以熔解、铸造以及视情况进行之压延、裁断所制造者,其高纯度锡之α射线计数以0.001cph/cm 2 以下为佳,本发明之高纯度锡或锡合金可实现此。 于本发明中,尤其高纯度锡之制造很重要,做为此高纯度锡之制造方法,系将做为原料之锡以酸(例如硫酸)沥取之后,将此沥取液做为电解液,使得杂质之吸附材悬浮于该电解液,使用原料Sn阳极进行电解精制,借此得到纯度为5N以上(其中,不计O、C、N、H、S、P之气体成分),其中放射性元素之U、Th个别含有量为5ppb以下,释放放射线α粒子之Pb、Bi个别含有量为1ppm以下之高纯度锡。 由于Pb、Bi之电位皆与Sn接近,而有难以去除之问题,但借由本发明之方法可实现有效率的去除。 于前述电解液所悬浮之吸附材,可使用氧化钛、氧化铝、氧化锡等氧化物、活性炭、碳等。 再者,以上述电解精制所得之高纯度锡于250~500℃做熔解铸造,且使此经铸造之铸锭经过6个月以上后之α射线计数为0.001cph/cm 2 以下。于Sn铸造时,有氡之混入、针之蒸发,难以严密测定Sn中实际杂质或α射线量。是以,必须经过6个月以上达成安定化。 换言之,于本发明中,可说是借由经过6个月以上使得α射线计数安定于0.001cph/cm 2 以下。 做为高纯度锡合金之添加成分(合金成分),可举出银、铜、锌等,惟并不限定于此等元素。又,通常添加量系设置于0.1~20重量%,惟并不限定于此添加量。同样地需要使用高纯度之材料。 本发明之高纯度锡或锡合金,其特征在于,纯度为5N以上(其中,不计O、C、N、H、S、P之气体成分),其中放射性元素之U、Th个别含有量为5ppb以下,释放放射线α粒子之Pb、Bi个别含有量为1ppm以下,可极力排除α射线对半导体芯片所造成之影响。 此外,本发明之高纯度锡或锡合金最终系以熔解铸造所制造者,具有该锡之铸造结构之高纯度锡的α射线计数可控制在0.001cph/cm 2 以下,此为所具有之优异效果。借此,可显着减少半导体设备因α射线之影响所造成之软性错误的发生。
    • 5. 发明专利
    • 從IZO廢料回收有價金屬之方法
    • 从IZO废料回收有价金属之方法
    • TW200946691A
    • 2009-11-16
    • TW098103469
    • 2009-02-04
    • 日鑛金屬股份有限公司
    • 新藤裕一朗竹本幸一
    • C22BC25C
    • C22B58/00C01G9/02C01G15/00C22B3/045C22B3/22C22B7/006C22B19/30C25B1/00C25C1/22Y02P10/234
    • 一種自IZO廢料回收有價金屬之方法,其特徵在於,使用不溶性電極作為陽極或陰極,且成為各別之相對電極的另一方的陰極或陽極則使用IZO廢料,週期性地將極性加以反轉進行電解,以銦及鋅之氫氧化物的形態來對IZO廢料進行回收;以及一種上述之自IZO廢料回收有價金屬之方法,其中,將上述藉由進行電解所得之銦及鋅的氫氧化物加以培燒,而以銦及鋅之氧化物的形態來進行回收。提供一種從銦-鋅氧化物(IZO)濺鍍靶或在製造時所產生之IZO端材等IZO廢料,有效率地回收銦及鋅的方法。
    • 一种自IZO废料回收有价金属之方法,其特征在于,使用不溶性电极作为阳极或阴极,且成为各别之相对电极的另一方的阴极或阳极则使用IZO废料,周期性地将极性加以反转进行电解,以铟及锌之氢氧化物的形态来对IZO废料进行回收;以及一种上述之自IZO废料回收有价金属之方法,其中,将上述借由进行电解所得之铟及锌的氢氧化物加以培烧,而以铟及锌之氧化物的形态来进行回收。提供一种从铟-锌氧化物(IZO)溅镀靶或在制造时所产生之IZO端材等IZO废料,有效率地回收铟及锌的方法。