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    • 9. 发明专利
    • 多層膜之成膜方法
    • 多层膜之成膜方法
    • TW201802270A
    • 2018-01-16
    • TW106118814
    • 2017-06-07
    • 日東電工股份有限公司NITTO DENKO CORPORATION
    • 佐木暁SAKI, SATORU首藤俊介SHUTO, SHUNSUKE
    • C23C14/08C23C14/34H01B13/00
    • C23C14/54G01B11/06G02B1/115G02B5/08
    • 本發明之課題在於精度良好地推定多層膜之各層之膜厚。 設定各層之目標膜厚值。求出各層為目標膜厚值時之第1理論光學值。測定多層膜6之實測光學值。將目標膜厚值設為各層之膜厚之第1推定膜厚值。求出實測光學值與第1理論光學值之差(第1光學值差),將第1光學值差與預先設定之收斂條件進行比較。於第1光學值差不滿足收斂條件之情形時,設定預測小於第1光學值差之光學值差之各層之第2推定膜厚值。求出各層之膜厚為第2推定膜厚值時之光學特性之理論值(第2理論光學值)。求出實測光學值與第2理論光學值之差(第2光學值差),將第2光學值差與收斂條件進行比較。反覆進行各步驟,獲得實測光學值與各步驟之理論光學值之差滿足收斂條件之各層之推定膜厚值(最準確推定膜厚值)。
    • 本发明之课题在于精度良好地推定多层膜之各层之膜厚。 设置各层之目标膜厚值。求出各层为目标膜厚值时之第1理论光学值。测定多层膜6之实测光学值。将目标膜厚值设为各层之膜厚之第1推定膜厚值。求出实测光学值与第1理论光学值之差(第1光学值差),将第1光学值差与预先设置之收敛条件进行比较。于第1光学值差不满足收敛条件之情形时,设置预测小于第1光学值差之光学值差之各层之第2推定膜厚值。求出各层之膜厚为第2推定膜厚值时之光学特性之理论值(第2理论光学值)。求出实测光学值与第2理论光学值之差(第2光学值差),将第2光学值差与收敛条件进行比较。反复进行各步骤,获得实测光学值与各步骤之理论光学值之差满足收敛条件之各层之推定膜厚值(最准确推定膜厚值)。