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1. 发明专利

TW200816364A 具有加熱器之靜電夾持器以及具有加熱器之靜電夾持器的製造方法 ELECTROSTATIC CHUCK WITH HEATER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF 审中-公开
简体标题：具有加热器之静电夹持器以及具有加热器之静电夹持器的制造方法 ELECTROSTATIC CHUCK WITH HEATER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
公开(公告)号：TW200816364A
公开(公告)日：2008-04-01
申请号：TW096129955
申请日：2007-08-14
申请人：日本子股份有限公司 NGK INSULATORS, LTD.
发明人：森岡育久 , 昇和宏 , 川尻哲也 , 服部亮
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/6831 , Y10T279/23
摘要： [課題]提供一種吸附特性和均熱性及耐絕緣破壞特性良好之具有加熱器之靜電夾持器。[解決手段]包括由包含氧化鋁之燒結體所構成之基體2、設置在基體2中之上部側之ESC電極3以及埋設於基體中之下部側之電阻發熱體4的具有加熱器之靜電夾持器1之基體2係由ESC電極3開始至基體2之上面2a為止之介電質層21和由ESC電極3開始至基體2之下面2b為止之支持構件22所構成。支持構件22係在接合於介電質層21之ESC電極附近區域22a和比起該ESC電極附近區域22a還更加下方之下方區域22b,碳含有量呈不同,介電質層21中之碳含有量係100wt��ppm以下,ESC電極附近區域22a之碳含有量係0.13wt%以下,下方區域22b之碳含有量係0.03wt%以上,並且,該ESC電極附近區域之碳含有量係小於下方區域之碳含有量。電阻發熱體4係包含鈮或白金。
简体摘要： [课题]提供一种吸附特性和均热性及耐绝缘破坏特性良好之具有加热器之静电夹持器。[解决手段]包括由包含氧化铝之烧结体所构成之基体2、设置在基体2中之上部侧之ESC电极3以及埋设于基体中之下部侧之电阻发热体4的具有加热器之静电夹持器1之基体2系由ESC电极3开始至基体2之上面2a为止之介电质层21和由ESC电极3开始至基体2之下面2b为止之支持构件22所构成。支持构件22系在接合于介电质层21之ESC电极附近区域22a和比起该ESC电极附近区域22a还更加下方之下方区域22b,碳含有量呈不同,介电质层21中之碳含有量系100wt��ppm以下,ESC电极附近区域22a之碳含有量系0.13wt%以下,下方区域22b之碳含有量系0.03wt%以上,并且,该ESC电极附近区域之碳含有量系小于下方区域之碳含有量。电阻发热体4系包含铌或白金。

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