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热词
    • 3. 发明专利
    • 電阻測定裝置、基板檢查裝置、檢查方法、及檢查用夾具的維護方法
    • 电阻测定设备、基板检查设备、检查方法、及检查用夹具的维护方法
    • TW201537202A
    • 2015-10-01
    • TW104109482
    • 2015-03-25
    • 日本電產理德股份有限公司NIDEC-READ CORPORATION
    • 山下宗寬YAMASHITA, MUNEHIRO
    • G01R35/00
    • 本發明提供一種容易判定探測器是否具有缺陷的電阻測定裝置、基板檢查裝置、檢查方法、及檢查用夾具的維護方法。使二電流探測器、二電壓探測器與導體圖案接觸。通過二電流探測器使導體圖案中流通第一電流時取得由二電壓探測器測定的第一電壓。在通過二電流探測器使導體圖案中流通與第一電流反向的第二電流時取得由二電壓探測器測定的第二電壓。在通過二電流探測器不使導體圖案中流通電流的狀態下取得由二電壓探測器測定的第三電壓。基於第一電壓、第二電壓以及第三電壓判定探測器是否有缺陷。
    • 本发明提供一种容易判定探测器是否具有缺陷的电阻测定设备、基板检查设备、检查方法、及检查用夹具的维护方法。使二电流探测器、二电压探测器与导体图案接触。通过二电流探测器使导体图案中流通第一电流时取得由二电压探测器测定的第一电压。在通过二电流探测器使导体图案中流通与第一电流反向的第二电流时取得由二电压探测器测定的第二电压。在通过二电流探测器不使导体图案中流通电流的状态下取得由二电压探测器测定的第三电压。基于第一电压、第二电压以及第三电压判定探测器是否有缺陷。
    • 4. 发明专利
    • 檢查裝置、檢查裝置之校正方法及檢查方法
    • 检查设备、检查设备之校正方法及检查方法
    • TW201447721A
    • 2014-12-16
    • TW103119724
    • 2014-06-06
    • 日本電產理德股份有限公司NIDEC-READ CORPORATION
    • 山下宗寬YAMASHITA, MUNEHIRO
    • G06F3/044G01R31/28
    • 本發明提供一種檢查裝置、檢查裝置之校正方法及檢查方法,於感測器平板等檢查對象物之檢查裝置中,實現消除纜線之浮遊電容等造成的誤差之校正,並可以良好的精度測定感測器平板之微小的靜電電容。其中,於卸除感測器平板之狀態下,感測器平板檢查裝置1之校正部46對有複數個的第2纜線37中之至少任一者供給信號部11之交流信號,同時調整於校正信號部42對應該電流計之交流電源之電壓及相位,俾電性連接第1纜線36之電流偵測部41之電流計之輸出為零。電流計之輸出為零後,即記憶此時之該交流電源之電壓及相位。於檢查感測器平板時,根據經記憶之電壓及相位,令校正信號部42之交流電源產生交流信號。
    • 本发明提供一种检查设备、检查设备之校正方法及检查方法,于传感器平板等检查对象物之检查设备中,实现消除缆线之浮游电容等造成的误差之校正,并可以良好的精度测定传感器平板之微小的静电电容。其中,于卸除传感器平板之状态下,传感器平板检查设备1之校正部46对有复数个的第2缆线37中之至少任一者供给信号部11之交流信号,同时调整于校正信号部42对应该电流计之交流电源之电压及相位,俾电性连接第1缆线36之电流侦测部41之电流计之输出为零。电流计之输出为零后,即记忆此时之该交流电源之电压及相位。于检查传感器平板时,根据经记忆之电压及相位,令校正信号部42之交流电源产生交流信号。
    • 5. 发明专利
    • 電特性檢測方法以及檢測裝置
    • 电特性检测方法以及检测设备
    • TW201403099A
    • 2014-01-16
    • TW102120132
    • 2013-06-06
    • 日本電產理德股份有限公司NIDEC-READ CORPORATION
    • 山下宗寬YAMASHITA, MUNEHIRO
    • G01R31/28G01R31/27G01R27/02
    • 本發明提供一種電特性檢測方法和檢測裝置,能夠在設置於檢測對象基板內的構成三角形電路的第一~第三電子零件中,充分地抑制第三電子零件的影響而正確地檢測第一和第二電子零件的電特性。從檢測對象基板1的表面的多個第二接觸點7a~7d和第三接觸點8a~8d中,以第二接觸點與第三電子零件(例如,阻抗元件5)的第一連接部5a之間的佈線路徑10的電阻值、和第三接觸點與第三電子零件的第二連接部5b之間的佈線路徑11的電阻值為最接近的值的組合的方式,各選擇一個第二接觸點和第三接觸點作為第一和第二選擇接觸點。經由第一接觸點6a、6b、第一選擇接觸點和第二選擇接觸點來檢測第一和第二電子零件(例如,電容器3、4)的電特性。
    • 本发明提供一种电特性检测方法和检测设备,能够在设置于检测对象基板内的构成三角形电路的第一~第三电子零件中,充分地抑制第三电子零件的影响而正确地检测第一和第二电子零件的电特性。从检测对象基板1的表面的多个第二接触点7a~7d和第三接触点8a~8d中,以第二接触点与第三电子零件(例如,阻抗组件5)的第一连接部5a之间的布线路径10的电阻值、和第三接触点与第三电子零件的第二连接部5b之间的布线路径11的电阻值为最接近的值的组合的方式,各选择一个第二接触点和第三接触点作为第一和第二选择接触点。经由第一接触点6a、6b、第一选择接触点和第二选择接触点来检测第一和第二电子零件(例如,电容器3、4)的电特性。
    • 7. 发明专利
    • 基板檢驗裝置
    • 基板检验设备
    • TW201326853A
    • 2013-07-01
    • TW101136949
    • 2012-10-05
    • 日本電產理德股份有限公司NIDEC-READ CORPORATION
    • 山下宗寬YAMASHITA, MUNEHIRO
    • G01R31/28G01R31/02
    • 本發明旨在提供一種基板檢驗裝置,可顧慮到對各配線圖案賦予電位差及解除賦予時接觸配線圖案之接觸銷等之靜電電容,決定對複數配線圖案電特性檢驗之順序,且可在不降低檢驗結果可靠度之情形下實現檢驗速度之提升。其中於該基板檢驗裝置1內,在複數電特性檢驗中賦予電位差值未達於既定基準位準之電特性檢驗內,自複數配線圖案中,接觸配線圖案之接觸銷數多者起依序設定其為注目配線圖案,在複數電特性檢驗中賦予電位差值在既定基準位準以上之電特性檢驗內,自複數配線圖案中,接觸配線圖案之接觸銷數少者起依序設定其為注目配線圖案。
    • 本发明旨在提供一种基板检验设备,可顾虑到对各配线图案赋予电位差及解除赋予时接触配线图案之接触销等之静电电容,决定对复数配线图案电特性检验之顺序,且可在不降低检验结果可靠度之情形下实现检验速度之提升。其中于该基板检验设备1内,在复数电特性检验中赋予电位差值未达于既定基准位准之电特性检验内,自复数配线图案中,接触配线图案之接触销数多者起依序设置其为注目配线图案,在复数电特性检验中赋予电位差值在既定基准位准以上之电特性检验内,自复数配线图案中,接触配线图案之接触销数少者起依序设置其为注目配线图案。