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    • 3. 发明专利
    • 複合密封材
    • 复合密封材
    • TW201834055A
    • 2018-09-16
    • TW107103089
    • 2018-01-29
    • 日商日本華爾卡工業股份有限公司NIPPON VALQUA INDUSTRIES, LTD.
    • 金相鎬KIM, SANGHO黒田路KURODA, MICHI吉田延YOSHIDA, NOBUHIRO中川一平NAKAGAWA, IPPEI
    • H01L21/306F16J15/10
    • 本發明提供一種能夠長期保持真空密封性能、耐電漿性、以及耐腐蝕氣體性等性能之複合密封材。本發明之複合密封材係安裝在一方的構件的本體表面所設的密封槽內,使另一方的構件接近前述一方的構件,而使前述一方的構件與另一方的構件之間成為密封狀態,該複合密封材係具備:配置在前述密封槽的一側壁側且由彈性構件構成的第一密封構件;以及配置在前述密封槽的另一側壁側且由比前述第一密封構件硬的材料構成的第二密封構件,前述第二密封構件至少具有:對於前述密封槽的另一側壁呈大致平行且做表面接觸的另一側壁抵接面;以及對於前述另一方的構件的密封面呈大致平行,並且在前述密封狀態時與另一方的構件的密封面做表面接觸的密封抵接面。
    • 本发明提供一种能够长期保持真空密封性能、耐等离子性、以及耐腐蚀气体性等性能之复合密封材。本发明之复合密封材系安装在一方的构件的本体表面所设的密封槽内,使另一方的构件接近前述一方的构件,而使前述一方的构件与另一方的构件之间成为密封状态,该复合密封材系具备:配置在前述密封槽的一侧壁侧且由弹性构件构成的第一密封构件;以及配置在前述密封槽的另一侧壁侧且由比前述第一密封构件硬的材料构成的第二密封构件,前述第二密封构件至少具有:对于前述密封槽的另一侧壁呈大致平行且做表面接触的另一侧壁抵接面;以及对于前述另一方的构件的密封面呈大致平行,并且在前述密封状态时与另一方的构件的密封面做表面接触的密封抵接面。