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1. 发明专利

TWI333939B 耐蝕性元件及其製造方法 CORROSION-RESISTANT MEMBER AND PRODUCING METHOD THEREOF 有权
简体标题：耐蚀性组件及其制造方法 CORROSION-RESISTANT MEMBER AND PRODUCING METHOD THEREOF
公开(公告)号：TWI333939B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：TW095129889
申请日：2006-08-15
申请人：日本碍子股份有限公司
发明人：服部亮誉
IPC分类号： C04B , H01L
CPC分类号： C04B41/87 , C04B35/117 , C04B35/581 , C04B35/62615 , C04B41/009 , C04B41/5032 , C04B2235/3208 , C04B2235/3865 , C04B2235/9684 , C04B41/4539 , C04B41/455
摘要：【課題】提供包括高耐蝕性之耐蝕性元件。
【解決手段】耐蝕性元件，至少在暴露在腐蝕性環境之部分，係由包括：含有氧化鈣及氧化鋁之氧化物，或是氧化鈣鋁之至少一種，希土類元素未滿5重量%之耐蝕材來形成。
简体摘要：【课题】提供包括高耐蚀性之耐蚀性组件。【解决手段】耐蚀性组件，至少在暴露在腐蚀性环境之部分，系由包括：含有氧化钙及氧化铝之氧化物，或是氧化钙铝之至少一种，希土类元素未满5重量%之耐蚀材来形成。

2. 发明专利

TWI344683B 具有加熱器之靜電夾持器以及具有加熱器之靜電夾持器的製造方法 ELECTROSTATIC CHUCK WITH HEATER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF 有权
简体标题：具有加热器之静电夹持器以及具有加热器之静电夹持器的制造方法 ELECTROSTATIC CHUCK WITH HEATER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
公开(公告)号：TWI344683B
公开(公告)日：2011-07-01
申请号：TW096129955
申请日：2007-08-14
申请人：日本碍子股份有限公司
发明人：森岡育久 , 昇和宏 , 川尻哲也 , 服部亮誉
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/6831 , Y10T279/23
摘要：提供一種吸附特性和均熱性及耐絕緣破壞特性良好之具有加熱器之靜電夾持器。
包括由包含氧化鋁之燒結體所構成之基體2、設置在基體2中之上部側之ESC電極3以及埋設於基體中之下部側之電阻發熱體4的具有加熱器之靜電夾持器1之基體2係由ESC電極3開始至基體2之上面2a為止之介電質層21和由ESC電極3開始至基體2之下面2b為止之支持構件22所構成。支持構件22係在接合於介電質層21之ESC電極附近區域22a和比起該ESC電極附近區域22a還更加下方之下方區域22b，碳含有量呈不同，介電質層21中之碳含有量係100wt．ppm以下，ESC電極附近區域22a之碳含有量係0.13wt%以下，下方區域22b之碳含有量係0.03wt%以上，並且，該ESC電極附近區域之碳含有量係小於下方區域之碳含有量。電阻發熱體4係包含鈮或白金。
简体摘要：提供一种吸附特性和均热性及耐绝缘破坏特性良好之具有加热器之静电夹持器。包括由包含氧化铝之烧结体所构成之基体2、设置在基体2中之上部侧之ESC电极3以及埋设于基体中之下部侧之电阻发热体4的具有加热器之静电夹持器1之基体2系由ESC电极3开始至基体2之上面2a为止之介电质层21和由ESC电极3开始至基体2之下面2b为止之支持构件22所构成。支持构件22系在接合于介电质层21之ESC电极附近区域22a和比起该ESC电极附近区域22a还更加下方之下方区域22b，碳含有量呈不同，介电质层21中之碳含有量系100wt．ppm以下，ESC电极附近区域22a之碳含有量系0.13wt%以下，下方区域22b之碳含有量系0.03wt%以上，并且，该ESC电极附近区域之碳含有量系小于下方区域之碳含有量。电阻发热体4系包含铌或白金。

3. 发明专利

TWI352399B 具加熱器之靜電固持頭 ELECTROSTATIC CHUCK WITH HEATER 有权
简体标题：具加热器之静电固持头 ELECTROSTATIC CHUCK WITH HEATER
公开(公告)号：TWI352399B
公开(公告)日：2011-11-11
申请号：TW096125194
申请日：2007-07-11
申请人：日本碍子股份有限公司
发明人：昇和宏 , 川尻哲也 , 服部亮誉
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/6831 , H01L21/68757
摘要：一種具加熱器之靜電固持頭，其包括有由含有氧化鋁的燒結體組成的基體、設置於該基體中的上部側的電極以及埋設於該基體中的下部側的電阻發熱體。前述基體由從電極至基體上面的介電層與從電極至基體下面的支撐構件構成，前述介電層中的碳含量為100ppm以下，且前述支撐構件的碳含量為0.03~0.25重量百分比(wt%)，前述電阻發熱體形成線圈狀，且主成分為鈮。
简体摘要：一种具加热器之静电固持头，其包括有由含有氧化铝的烧结体组成的基体、设置于该基体中的上部侧的电极以及埋设于该基体中的下部侧的电阻发热体。前述基体由从电极至基体上面的介电层与从电极至基体下面的支撑构件构成，前述介电层中的碳含量为100ppm以下，且前述支撑构件的碳含量为0.03~0.25重量百分比(wt%)，前述电阻发热体形成线圈状，且主成分为铌。

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