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1. 发明专利

TWI674392B 頂板開閉機構及檢查裝置有权
简体标题：顶板开闭机构及检查设备
公开(公告)号：TWI674392B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：TW104109316
申请日：2015-03-24
申请人：日商荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：宮本松太郎 , MIYAMOTO, MATSUTARO
IPC分类号： G01B9/02 , G02B7/182 , H01L21/66

2. 发明专利

TWI698910B 雷射長度測量器的反射鏡之支撐構造有权
简体标题：激光长度测量器的反射镜之支撑构造
公开(公告)号：TWI698910B
公开(公告)日：2020-07-11
申请号：TW107141037
申请日：2014-12-12
申请人：日商荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：宮本松太郎 , MIYAMOTO, MATSUTARO
IPC分类号： H01L21/027 , H01J37/20

3. 发明专利

TWI674620B 真空磁性遮蔽容器的構造有权
简体标题：真空磁性屏蔽容器的构造
公开(公告)号：TWI674620B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：TW107141041
申请日：2014-12-12
申请人：日商荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：宮本松太郎 , MIYAMOTO, MATSUTARO
IPC分类号： H01L21/027 , H01J37/20

4. 发明专利

TW201833396A 基板固持器、鍍覆裝置、及基板固持器之製造方法审中-公开
简体标题：基板固持器、镀覆设备、及基板固持器之制造方法
公开(公告)号：TW201833396A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW106135726
申请日：2017-10-18
申请人：日商荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：宮本松太郎 , MIYAMOTO, MATSUTARO , 藤方淳平 , FUJIKATA, JUMPEI , 鈴木潔 , SUZUKI, KIYOSHI
IPC分类号： C25D17/06
摘要：本發明之基板固持器具備用於夾持基板的第一及第二保持構件，前述第一保持構件具有：支撐基座；用於支撐前述基板之活動基座；及施力機構，其係配置於前述支撐基座與前述活動基座之間，對前述活動基座在從前述支撐基座離開的方向施力；前述第二保持構件具有突起部，其係用於抵接於前述基板，密封前述基板，前述施力機構之施加力在前述活動基座之一部分區域或位置與其他區域或位置不同。
简体摘要：本发明之基板固持器具备用于夹持基板的第一及第二保持构件，前述第一保持构件具有：支撑基座；用于支撑前述基板之活动基座；及施力机构，其系配置于前述支撑基座与前述活动基座之间，对前述活动基座在从前述支撑基座离开的方向施力；前述第二保持构件具有突起部，其系用于抵接于前述基板，密封前述基板，前述施力机构之施加力在前述活动基座之一部分区域或位置与其他区域或位置不同。

5. 发明专利

TW201816197A 基板固持器、鍍覆裝置、基板固持器之製造方法、以及基板保持方法审中-公开
简体标题：基板固持器、镀覆设备、基板固持器之制造方法、以及基板保持方法
公开(公告)号：TW201816197A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：TW106130627
申请日：2017-09-07
申请人：日商荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：宮本松太郎 , MIYAMOTO, MATSUTARO , 向山佳孝 , MUKAIYAMA, YOSHITAKA
IPC分类号： C25D7/12 , C25D17/06 , C25D21/00 , C23C18/31
摘要：本發明之基板固持器具備將基板夾持而固定之第一及第二保持構件，前述第一保持構件具有：第一保持構件本體；及夾具(clamp)，設於前述第一保持構件本體，可在與前述第一保持構件本體之面平行的軸周圍旋轉，或可在與前述第一保持構件本體之面交叉的方向往返移動；前述第二保持構件具有第二保持構件本體，前述夾具係構成在前述第一保持構件本體及前述第二保持構件本體彼此抵接狀態下與前述第二保持構件嚙合，可將前述第二保持構件固定於前述第一保持構件。
简体摘要：本发明之基板固持器具备将基板夹持而固定之第一及第二保持构件，前述第一保持构件具有：第一保持构件本体；及夹具(clamp)，设于前述第一保持构件本体，可在与前述第一保持构件本体之面平行的轴周围旋转，或可在与前述第一保持构件本体之面交叉的方向往返移动；前述第二保持构件具有第二保持构件本体，前述夹具系构成在前述第一保持构件本体及前述第二保持构件本体彼此抵接状态下与前述第二保持构件啮合，可将前述第二保持构件固定于前述第一保持构件。

6. 发明专利

TW201812114A 基板固持器及使用該基板固持器之鍍覆裝置审中-公开
简体标题：基板固持器及使用该基板固持器之镀覆设备
公开(公告)号：TW201812114A
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW106119231
申请日：2017-06-09
申请人：荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：宮本松太郎 , MIYAMOTO, MATSUTARO
IPC分类号： C25D17/06
CPC分类号： C25D17/06 , C25D7/12 , C25D7/123 , C25D17/001 , H01L21/6723 , H01L21/68728
摘要：本發明提供一種不使用板簧，而具有新定位構造之基板固持器及使用該基板固持器之鍍覆裝置。該基板固持器具有：具有可與基板接觸而構成之第一面的第一保持構件；及與第一保持構件一起夾著基板而保持之第二保持構件。第一保持構件具有將接觸於第一面之基板定位於第一面的指定位置之定位構件。定位構件係構成在與基板之周緣部接觸，並在第一面之指定位置定位基板的第一位置、以及不與基板接觸的第二位置之間移動。第二保持構件具有以第一保持構件與第二保持構件保持基板時，使定位構件位於第一位置而構成的驅動構件。
简体摘要：本发明提供一种不使用板簧，而具有新定位构造之基板固持器及使用该基板固持器之镀覆设备。该基板固持器具有：具有可与基板接触而构成之第一面的第一保持构件；及与第一保持构件一起夹着基板而保持之第二保持构件。第一保持构件具有将接触于第一面之基板定位于第一面的指定位置之定位构件。定位构件系构成在与基板之周缘部接触，并在第一面之指定位置定位基板的第一位置、以及不与基板接触的第二位置之间移动。第二保持构件具有以第一保持构件与第二保持构件保持基板时，使定位构件位于第一位置而构成的驱动构件。

7. 发明专利

TW201740477A 基板固持器及使用該基板固持器之鍍覆裝置审中-公开
简体标题：基板固持器及使用该基板固持器之镀覆设备
公开(公告)号：TW201740477A
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：TW106113751
申请日：2017-04-25
申请人：荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
发明人：宮本松太郎 , MIYAMOTO, MATSUTARO
IPC分类号： H01L21/603 , H01L23/488 , C23C26/00
CPC分类号： C25D17/001 , C25D7/12 , C25D17/004 , C25D17/005 , C25D17/06 , C25D17/08 , H01L21/288 , H01L21/683
摘要：本發明提供一種不使用板簧，而具有新定位構造之基板固持器及使用該基板固持器之鍍覆裝置。該基板固持器具有：具有可與基板接觸而構成之第一面的第一保持構件；及與第一保持構件一起夾著基板而保持之第二保持構件。第一保持構件具有將接觸於第一面之基板定位於第一面的指定位置之定位構件。定位構件係構成在與基板之周緣部接觸，並在第一面之指定位置定位基板的第一位置、以及不與基板接觸的第二位置之間移動。第二保持構件具有以第一保持構件與第二保持構件保持基板時，使定位構件位於第一位置而構成的驅動構件。
简体摘要：本发明提供一种不使用板簧，而具有新定位构造之基板固持器及使用该基板固持器之镀覆设备。该基板固持器具有：具有可与基板接触而构成之第一面的第一保持构件；及与第一保持构件一起夹着基板而保持之第二保持构件。第一保持构件具有将接触于第一面之基板定位于第一面的指定位置之定位构件。定位构件系构成在与基板之周缘部接触，并在第一面之指定位置定位基板的第一位置、以及不与基板接触的第二位置之间移动。第二保持构件具有以第一保持构件与第二保持构件保持基板时，使定位构件位于第一位置而构成的驱动构件。

8. 外观设计

TWD180127S 密封環有权
简体标题：密封环
公开(公告)号：TWD180127S
公开(公告)日：2016-12-11
申请号：TW105302077D01
申请日：2016-04-20
申请人：荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
设计人：宮本松太郎 , MIYAMOTO, MATSUTARO

9. 外观设计

TWD180128S 密封環之部分有权
简体标题：密封环之部分
公开(公告)号：TWD180128S
公开(公告)日：2016-12-11
申请号：TW105302078
申请日：2016-04-20
申请人：荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
设计人：宮本松太郎 , MIYAMOTO, MATSUTARO

10. 外观设计

TWD174324S 電連接端子有权
简体标题：电连接端子
公开(公告)号：TWD174324S
公开(公告)日：2016-03-11
申请号：TW104303740
申请日：2015-07-14
申请人：荏原製作所股份有限公司 , EBARA CORPORATION
设计人：宮本松太郎 , MIYAMOTO, MATSUTARO

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