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    • 2. 发明专利
    • 三維形狀測量系統、探測器、攝像裝置、電腦裝置以及測量時間設定方法
    • 三维形状测量系统、探测器、摄像设备、电脑设备以及测量时间设置方法
    • TW201947186A
    • 2019-12-16
    • TW108111545
    • 2019-04-01
    • 日商歐姆龍股份有限公司OMRON CORPORATION
    • 和澄南WAZUMI, MINAMI木村和哉KIMURA, KAZUYA早川雅之HAYAKAWA, MASAYUKI
    • G01B11/00G01B11/24
    • 本發明提供一種即便於探測器中產生位置偏離,亦可高精度地測量被測量對象的三維形狀的技術。設定曝光時間(步驟11),進行多次探測器的位置測量(步驟12)。算出多個圖案的平均次數中的位置測量誤差(步驟13)。算出測量時間與已算出的定位誤差的對應表(步驟14)。使用所準備的測量時間與手抖誤差的對應表,算出設定曝光時間內的測量時間與(手抖誤差+定位誤差)的對應表(步驟15)。對於設定候補的所有曝光時間,重覆步驟11~步驟15,算出測量時間與位置測量誤差的對應表(步驟16)。設定位置測量誤差變成最小的曝光時間與平均次數(步驟17)。
    • 本发明提供一种即便于探测器中产生位置偏离,亦可高精度地测量被测量对象的三维形状的技术。设置曝光时间(步骤11),进行多次探测器的位置测量(步骤12)。算出多个图案的平均次数中的位置测量误差(步骤13)。算出测量时间与已算出的定位误差的对应表(步骤14)。使用所准备的测量时间与手抖误差的对应表,算出设置曝光时间内的测量时间与(手抖误差+定位误差)的对应表(步骤15)。对于设置候补的所有曝光时间,重复步骤11~步骤15,算出测量时间与位置测量误差的对应表(步骤16)。设置位置测量误差变成最小的曝光时间与平均次数(步骤17)。