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2. 发明专利

TW201821375A 超純水製造裝置及超純水製造裝置的運轉方法审中-公开
简体标题：超纯水制造设备及超纯水制造设备的运转方法
公开(公告)号：TW201821375A
公开(公告)日：2018-06-16
申请号：TW106131337
申请日：2017-09-13
申请人：日商栗田工業股份有限公司 , KURITA WATER INDUSTRIES LTD.
发明人：港康晴 , MINATO, YASUHARU , 中馬高明 , CHUUMAN, TAKAAKI
IPC分类号： C02F1/72 , B01J23/42 , B01J23/44 , C02F1/42 , C02F1/46 , C02F103/04
摘要：超純水製造裝置1包括前處理裝置2與一次純水製造裝置3及子系統4。一次純水製造裝置3具有槽5、紫外線氧化裝置6、鉑族金屬觸媒樹脂塔7、再生型離子交換裝置8、以及膜式脫氣裝置9。子系統4包括子槽11、對自該子槽11補給的一次純水進行處理的紫外線氧化裝置12、鉑族金屬觸媒樹脂塔13、膜式脫氣裝置14、非再生型混床式離子交換裝置15、以及超濾（UF）膜16。鉑族金屬觸媒樹脂為於載體樹脂上擔載鉑族金屬而成者，較佳為特別是於載體樹脂上擔載鉑族金屬的奈米級粒徑的粒子而成者。根據所述超純水製造裝置1，藉由於子系統4具有紫外線氧化裝置12與鉑族金屬觸媒樹脂塔13，可抑制過氧化氫去除能力的降低。
简体摘要：超纯水制造设备1包括前处理设备2与一次纯水制造设备3及子系统4。一次纯水制造设备3具有槽5、紫外线氧化设备6、铂族金属触媒树脂塔7、再生型离子交换设备8、以及膜式脱气设备9。子系统4包括子槽11、对自该子槽11补给的一次纯水进行处理的紫外线氧化设备12、铂族金属触媒树脂塔13、膜式脱气设备14、非再生型混床式离子交换设备15、以及超滤（UF）膜16。铂族金属触媒树脂为于载体树脂上担载铂族金属而成者，较佳为特别是于载体树脂上担载铂族金属的奈米级粒径的粒子而成者。根据所述超纯水制造设备1，借由于子系统4具有紫外线氧化设备12与铂族金属触媒树脂塔13，可抑制过氧化氢去除能力的降低。

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