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1. 发明专利

TWI682490B 基板載置台有权
简体标题：基板载置台
公开(公告)号：TWI682490B
公开(公告)日：2020-01-11
申请号：TW104134880
申请日：2015-10-23
申请人：日商東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：田中厚士 , TANAKA, ATSUSHI , 小川涼平 , OGAWA, RYOUHEI
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/3065

2. 发明专利

TW201921479A 內壁及基板處理裝置审中-公开
简体标题：内壁及基板处理设备
公开(公告)号：TW201921479A
公开(公告)日：2019-06-01
申请号：TW107128118
申请日：2018-08-13
申请人：日商東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：浅川雄二 , ASAKAWA, YUJI , 田中厚士 , TANAKA, ATSUSHI , 小川裕之 , OGAWA, HIROYUKI
IPC分类号： H01L21/306
摘要： [課題]使利用預定處理氣體的基板處理在面內均勻地進行。　　[解決手段]在與載置基板的載置台的外周隔著間隔而包圍該載置台的圓筒狀內壁(15)，在內壁(15)的下端形成複數狹縫(72)，在內壁(15)的內側面形成複數從上端向下端延伸，連通狹縫(72)的溝(74)。在內壁(15)，狹縫(72)及溝(74)分別在周方向形成於7個位置以上。
简体摘要： [课题]使利用预定处理气体的基板处理在面内均匀地进行。　　[解决手段]在与载置基板的载置台的外周隔着间隔而包围该载置台的圆筒状内壁(15)，在内壁(15)的下端形成复数狭缝(72)，在内壁(15)的内侧面形成复数从上端向下端延伸，连通狭缝(72)的沟(74)。在内壁(15)，狭缝(72)及沟(74)分别在周方向形成于7个位置以上。

3. 发明专利

TW201628121A 基板載置台审中-公开
简体标题：基板载置台
公开(公告)号：TW201628121A
公开(公告)日：2016-08-01
申请号：TW104134880
申请日：2015-10-23
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：田中厚士 , TANAKA, ATSUSHI , 小川涼平 , OGAWA, RYOUHEI
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/3065
CPC分类号： H01L21/68785 , H01L21/3065 , H01L21/31116 , H01L21/67069 , H01L21/67103
摘要：被載置於對晶圓進行處理之處理容器內的基板載置台具有：平台，其係在上面載置晶圓(W)，且在內部形成使特定溫度之熱媒流通之內周部流路及外周部流路；和溫度調節板(32)，其係在其內部具備使調節與平台之導熱部之溫度的熱媒流通的調節板流路(120)。
简体摘要：被载置于对晶圆进行处理之处理容器内的基板载置台具有：平台，其系在上面载置晶圆(W)，且在内部形成使特定温度之热媒流通之内周部流路及外周部流路；和温度调节板(32)，其系在其内部具备使调节与平台之导热部之温度的热媒流通的调节板流路(120)。

4. 发明专利

TW201539618A 基板處理裝置审中-公开
简体标题：基板处理设备
公开(公告)号：TW201539618A
公开(公告)日：2015-10-16
申请号：TW104102624
申请日：2015-01-27
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：綠川洋平 , MIDORIKAWA, YOHEI , 田中厚士 , TANAKA, ATSUSHI
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/6719 , H01L21/31116
摘要：基板處理裝置具有對處理容器內進行排氣之排氣機構，該處理容器具有：本體部，上面開口且有底；圓筒形狀之圓筒部，具備有將本體部上面予以氣密阻塞之凸緣以及直徑小於本體部且直徑大於載置台外側面的側壁；以及蓋體，設置於凸緣上面，將本體部之開口予以氣密阻塞；於凸緣上面形成有往下方凹陷之溝槽部；於該溝槽部配置著加熱器；圓筒部之側壁相對於載置台上面往下方延伸形成，且於側壁之下端設置有往側壁中心方向突出之卡固構件；於卡固構件上面配置有形成了複數開口之擋板。
简体摘要：基板处理设备具有对处理容器内进行排气之排气机构，该处理容器具有：本体部，上面开口且有底；圆筒形状之圆筒部，具备有将本体部上面予以气密阻塞之凸缘以及直径小于本体部且直径大于载置台外侧面的侧壁；以及盖体，设置于凸缘上面，将本体部之开口予以气密阻塞；于凸缘上面形成有往下方凹陷之沟槽部；于该沟槽部配置着加热器；圆筒部之侧壁相对于载置台上面往下方延伸形成，且于侧壁之下端设置有往侧壁中心方向突出之卡固构件；于卡固构件上面配置有形成了复数开口之挡板。

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