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    • 3. 发明专利
    • 氣密封裝之製造方法及氣密封裝
    • 气密封装之制造方法及气密封装
    • TW201806088A
    • 2018-02-16
    • TW106106710
    • 2017-03-01
    • 日本電氣硝子股份有限公司NIPPON ELECTRIC GLASS CO., LTD.
    • 岡卓司OKA, TAKUJI荒川浩士ARAKAWA, HIROSHI白神徹SHIRAGAMI, TORU
    • H01L23/02H01L23/08H01L23/48C03C27/06
    • C03C27/06H01L23/02H01L23/08H01L33/48
    • 本發明提供一種可減少藉由雷射光之照射而於玻璃蓋內部產生之熱應力從而抑制於玻璃蓋產生龜裂等之氣密封裝之製造方法。 本發明之氣密封裝之製造方法之特徵在於:其係製造利用玻璃蓋3將內部搭載有元件之容器2密封之氣密封裝者,且包括:於容器2之內部搭載元件之步驟;於容器2之密封部與玻璃蓋3之間配置密封材料層4,並於容器2上放置玻璃蓋3之步驟;將用以加熱熔融密封材料層4之第1雷射光11通過玻璃蓋3照射至密封材料層4從而加熱熔融密封材料層4之步驟;及將用以加熱玻璃蓋3之第2雷射光12照射至玻璃蓋3而加熱玻璃蓋3之步驟;且第1雷射光11與第2雷射光12具有互不相同之波長,且以減少因第1雷射光11之照射而產生之玻璃蓋3內部之溫度差之方式照射第2雷射光12。
    • 本发明提供一种可减少借由激光光之照射而于玻璃盖内部产生之热应力从而抑制于玻璃盖产生龟裂等之气密封装之制造方法。 本发明之气密封装之制造方法之特征在于:其系制造利用玻璃盖3将内部搭载有组件之容器2密封之气密封装者,且包括:于容器2之内部搭载组件之步骤;于容器2之密封部与玻璃盖3之间配置密封材料层4,并于容器2上放置玻璃盖3之步骤;将用以加热熔融密封材料层4之第1激光光11通过玻璃盖3照射至密封材料层4从而加热熔融密封材料层4之步骤;及将用以加热玻璃盖3之第2激光光12照射至玻璃盖3而加热玻璃盖3之步骤;且第1激光光11与第2激光光12具有互不相同之波长,且以减少因第1激光光11之照射而产生之玻璃盖3内部之温度差之方式照射第2激光光12。