专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

2. 发明专利

TW201638518A 液狀化學物質用之貯槽审中-公开
简体标题：液状化学物质用之贮槽
公开(公告)号：TW201638518A
公开(公告)日：2016-11-01
申请号：TW105105047
申请日：2016-02-22
申请人：德山股份有限公司 , TOKUYAMA CORPORATION
发明人：山根淳 , YAMANE, JUN , 德永伸二 , TOKUNAGA, SHINJI
IPC分类号： F17D1/20 , B67D7/36
CPC分类号： B65D90/00 , F17C13/04
摘要：本發明係一種液狀化學物質用之貯槽（2），能作為如高純度三氯矽烷之高純度液狀化學物質用之貯槽而適宜使用、且盡可能防止液狀化化學物質的汚染。貯槽（2）具備貯槽本體（4）、此貯槽本體（4）所附設之連接單元（6）。連接單元（6）包括：化學物質流道（8），其具有受貯槽本體（4）內之化學物質浸漬的浸漬部（8a）、自貯槽本體（4）延伸出的延伸部（8b）；以及氣體流道（10），自連通於貯槽本體（4）內的一端延伸。化學物質流道（8）的延伸部（8b）配設有：第一開閉閥機構（14），觀察往本體（4）內之化學物質充填方向而位在下游側；以及第二開閉閥機構（16），觀察化學物質充填方向而位在上游側。氣體流道（10）配設有：第三開閉閥機構（20），觀察往貯槽本體（4）之氣體流入方向而位在下游側；以及第四開閉閥機構（22），觀察氣體流入方向而位在上游側。連接單元（6）更包括：連結流道（12），將化學物質流道（8）的第一開閉閥機構（14）與第二開閉閥機構（16）之間的部位、氣體流道（10）的第三開閉閥構件（20）與第四開閉閥機構（22）之間的部位加以連結。連結流道（12）配設有第五開閉閥機構（24）。
简体摘要：本发明系一种液状化学物质用之贮槽（2），能作为如高纯度三氯硅烷之高纯度液状化学物质用之贮槽而适宜使用、且尽可能防止液状化化学物质的污染。贮槽（2）具备贮槽本体（4）、此贮槽本体（4）所附设之连接单元（6）。连接单元（6）包括：化学物质流道（8），其具有受贮槽本体（4）内之化学物质浸渍的浸渍部（8a）、自贮槽本体（4）延伸出的延伸部（8b）；以及气体流道（10），自连通于贮槽本体（4）内的一端延伸。化学物质流道（8）的延伸部（8b）配设有：第一开闭阀机构（14），观察往本体（4）内之化学物质充填方向而位在下游侧；以及第二开闭阀机构（16），观察化学物质充填方向而位在上游侧。气体流道（10）配设有：第三开闭阀机构（20），观察往贮槽本体（4）之气体流入方向而位在下游侧；以及第四开闭阀机构（22），观察气体流入方向而位在上游侧。连接单元（6）更包括：链接流道（12），将化学物质流道（8）的第一开闭阀机构（14）与第二开闭阀机构（16）之间的部位、气体流道（10）的第三开闭阀构件（20）与第四开闭阀机构（22）之间的部位加以链接。链接流道（12）配设有第五开闭阀机构（24）。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式