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2. 发明专利

TW201411695A 模具的製造方法以及利用其製造的模具审中-公开
简体标题：模具的制造方法以及利用其制造的模具
公开(公告)号：TW201411695A
公开(公告)日：2014-03-16
申请号：TW102127691
申请日：2013-08-02
申请人：富士軟片股份有限公司 , FUJIFILM CORPORATION
发明人：若松哲史 , WAKAMATSU, SATOSHI , 薬師寺 , YAKUSHIJI, TAKASHI , 中村和晴 , NAKAMURA, KAZUHARU
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0002 , B29C33/424
摘要：本發明在具有輔助標記的凸台型模具的製造中，可靈活地應對輔助標記的變更，而且可更高效地製造。使用具有凸台結構的被轉印基板5，藉由液滴噴出法，在凸台部5a上配置包含硬化性樹脂的液滴41，並以如下方式在凸緣部5b上配置包含硬化性樹脂的液滴42，即配置於凸緣部5b上的液滴42的高度低於凸台部5a的高度h且配置於凸緣部5b上的液滴42表示輔助標記30，在將原模43的凹凸圖案43a壓抵於配置於凸台部5a上的液滴41的狀態下，使硬化性樹脂44及硬化性樹脂45硬化，將經硬化的硬化性樹脂作為遮罩進行被轉印基板5的蝕刻。
简体摘要：本发明在具有辅助标记的凸台型模具的制造中，可灵活地应对辅助标记的变更，而且可更高效地制造。使用具有凸台结构的被转印基板5，借由液滴喷出法，在凸台部5a上配置包含硬化性树脂的液滴41，并以如下方式在凸缘部5b上配置包含硬化性树脂的液滴42，即配置于凸缘部5b上的液滴42的高度低于凸台部5a的高度h且配置于凸缘部5b上的液滴42表示辅助标记30，在将原模43的凹凸图案43a压抵于配置于凸台部5a上的液滴41的状态下，使硬化性树脂44及硬化性树脂45硬化，将经硬化的硬化性树脂作为遮罩进行被转印基板5的蚀刻。

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