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1. 发明专利

TWI699391B 樹脂組成物的製造方法及樹脂組成物有权
简体标题：树脂组成物的制造方法及树脂组成物
公开(公告)号：TWI699391B
公开(公告)日：2020-07-21
申请号：TW104109270
申请日：2015-03-24
申请人：日商富士軟片股份有限公司 , FUJIFILM CORPORATION
发明人：藤森亨 , FUJIMORI, TORU , 森弘喜 , MORI, HIROKI
IPC分类号： C08J3/00 , C08F6/06 , G03F7/004

2. 发明专利

TWI682240B 感光化射線性或感放射線性樹脂組成物、感光化射線性或感放射線性膜、具備感光化射線性或感放射線性膜之空白遮罩、圖案形成方法、電子元件的製造方法及電子元件有权
简体标题：感光化射线性或感放射线性树脂组成物、感光化射线性或感放射线性膜、具备感光化射线性或感放射线性膜之空白遮罩、图案形成方法、电子组件的制造方法及电子组件
公开(公告)号：TWI682240B
公开(公告)日：2020-01-11
申请号：TW104131680
申请日：2015-09-25
申请人：日商富士軟片股份有限公司 , FUJIFILM CORPORATION
发明人：高橋年哉 , TAKAHASHI, TOSHIYA , 八尾忠輝 , YATSUO, TADATERU , 森弘喜 , MORI, HIROKI , 川端健志 , KAWABATA, TAKESHI
IPC分类号： G03F7/004 , G03F1/20 , G03F1/22 , G03F7/038 , G03F7/26 , H01L21/027

3. 发明专利

TW201510646A 圖案形成方法、以及使用其而成之電子裝置的製造方法及電子裝置审中-公开
简体标题：图案形成方法、以及使用其而成之电子设备的制造方法及电子设备
公开(公告)号：TW201510646A
公开(公告)日：2015-03-16
申请号：TW103127420
申请日：2014-08-11
申请人：富士軟片股份有限公司 , FUJIFILM CORPORATION
发明人：二橋亘 , NIHASHI, WATARU , 森弘喜 , MORI, HIROKI
IPC分类号： G03F7/004 , G03F7/038 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/325 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , G03F7/0395 , G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/2041
摘要：一種圖案形成方法，其係依順序具有：使用含有(A)具有通式(I)所示的重複單元之樹脂、及通式(II)所示的化合物之感活性光線性或感放射線性樹脂組成物，形成膜之步驟(1)，使用電子射線或極紫外線將膜予以曝光之步驟(2)，及於曝光後使用含有有機溶劑的顯像液進行顯像之步驟(3)。藉由該方法可提供在極微細(例如，線寬50nm以下)之圖案形成中，能以高次元滿足優異的圖案倒塌性能、優異的粗糙性能及優異的顯像缺陷性能之圖案形成方法，以及使用其而成之電子裝置的製造方法及電子裝置。通式(I)中，R01、R02及R03各自獨立地表示氫原子、烷基、環烷基、鹵素原子、氰基或烷氧羰基；R03可與Ar1鍵結而形成5員或6員環，該情況的R03表示伸烷基；Ar1表示(n+1)價的芳香環基，於與R03鍵結而形成環時，表示 (n+2)價的芳香環基；n個Y各自獨立地表示氫原子或酸不穩定性基；惟，Y之至少1個表示酸不穩定性基；n表示1~4之整數；通式(II)中，X+表示相對陽離子；Xf1表示氟原子或經至少1個氟原子取代的烷基，複數存在時的Xf1係可相同或相異；R11及R12各自獨立地表示氫原子、氟原子或烷基，複數存在時的R11及R12各自可相同或相異；L1表示二價的連結基，複數存在時的L1係可相同或相異；Cy1表示含有下述式(ST)所示的脂環結構之基；作為下述式(ST)所示的脂環結構中之環員的碳原子，可為羰基碳原子； x1表示1~20之整數；y1表示0~10之整數；z1表示0~10之整數。
简体摘要：一种图案形成方法，其系依顺序具有：使用含有(A)具有通式(I)所示的重复单元之树脂、及通式(II)所示的化合物之感活性光线性或感放射线性树脂组成物，形成膜之步骤(1)，使用电子射线或极紫外线将膜予以曝光之步骤(2)，及于曝光后使用含有有机溶剂的显像液进行显像之步骤(3)。借由该方法可提供在极微细(例如，线宽50nm以下)之图案形成中，能以高次元满足优异的图案倒塌性能、优异的粗糙性能及优异的显像缺陷性能之图案形成方法，以及使用其而成之电子设备的制造方法及电子设备。通式(I)中，R01、R02及R03各自独立地表示氢原子、烷基、环烷基、卤素原子、氰基或烷氧羰基；R03可与Ar1键结而形成5员或6员环，该情况的R03表示伸烷基；Ar1表示(n+1)价的芳香环基，于与R03键结而形成环时，表示 (n+2)价的芳香环基；n个Y各自独立地表示氢原子或酸不稳定性基；惟，Y之至少1个表示酸不稳定性基；n表示1~4之整数；通式(II)中，X+表示相对阳离子；Xf1表示氟原子或经至少1个氟原子取代的烷基，复数存在时的Xf1系可相同或相异；R11及R12各自独立地表示氢原子、氟原子或烷基，复数存在时的R11及R12各自可相同或相异；L1表示二价的链接基，复数存在时的L1系可相同或相异；Cy1表示含有下述式(ST)所示的脂环结构之基；作为下述式(ST)所示的脂环结构中之环员的碳原子，可为羰基碳原子； x1表示1~20之整数；y1表示0~10之整数；z1表示0~10之整数。

4. 发明专利

TW201536842A 樹脂組成物的製造方法及樹脂組成物审中-公开
简体标题：树脂组成物的制造方法及树脂组成物
公开(公告)号：TW201536842A
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：TW104109270
申请日：2015-03-24
申请人：富士軟片股份有限公司 , FUJIFILM CORPORATION
发明人：藤森亨 , FUJIMORI, TORU , 森弘喜 , MORI, HIROKI
IPC分类号： C08J3/00 , C08F6/06 , G03F7/004
CPC分类号： G03F7/16 , G03F7/0397 , G03F7/11 , G03F7/2041
摘要：本發明的課題在於提供一種感光化射線性或感放射線性樹脂組成物的製造方法、及藉由該製造方法所製造的感光化射線性或感放射線性樹脂組成物。本發明的感光化射線性或感放射線性樹脂組成物的製造方法包括使感光化射線性或感放射線性樹脂組成物通過過濾器而進行過濾的過濾步驟，該過濾步驟使感光化射線性或感放射線性樹脂組成物通過孔徑為10nm以下的第1過濾器5次以上而進行。
简体摘要：本发明的课题在于提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组成物的制造方法、及借由该制造方法所制造的感光化射线性或感放射线性树脂组成物。本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组成物的制造方法包括使感光化射线性或感放射线性树脂组成物通过过滤器而进行过滤的过滤步骤，该过滤步骤使感光化射线性或感放射线性树脂组成物通过孔径为10nm以下的第1过滤器5次以上而进行。

5. 发明专利

TW201617733A 感光化射線性或感放射線性樹脂組成物、感光化射線性或感放射線性膜、具備感光化射線性或感放射線性膜之空白遮罩、圖案形成方法、電子元件的製造方法及電子元件审中-公开
简体标题：感光化射线性或感放射线性树脂组成物、感光化射线性或感放射线性膜、具备感光化射线性或感放射线性膜之空白遮罩、图案形成方法、电子组件的制造方法及电子组件
公开(公告)号：TW201617733A
公开(公告)日：2016-05-16
申请号：TW104131680
申请日：2015-09-25
申请人：富士軟片股份有限公司 , FUJIFILM CORPORATION
发明人：高橋年哉 , TAKAHASHI, TOSHIYA , 八尾忠輝 , YATSUO, TADATERU , 森弘喜 , MORI, HIROKI , 川端健志 , KAWABATA, TAKESHI
IPC分类号： G03F7/004 , G03F1/20 , G03F1/22 , G03F7/038 , G03F7/26 , H01L21/027
CPC分类号： C07C309/12 , C07C309/17 , C07C309/19 , C07C309/64 , C07C381/12 , C08F12/24 , C09K3/00 , G03F7/004 , G03F7/038 , H01L21/027
摘要：本發明係有關一種感光化射線性或感放射線性樹脂組成物、使用其之感光化射線性或感放射線性膜、具備該膜之空白遮罩、圖案形成方法、包括該圖案形成方法之電子元件的製造方法及藉由該電子元件的製造方法來製造之電子元件。本發明的感光化射線性或感放射線性樹脂組成物係含有：（A）在陰離子部包含至少1個氟原子，且在陽離子部包含至少1個氮原子之鎓鹽化合物；及（B）包含至少1個氟原子，且藉由光化射線或放射線的照射而產生酸之化合物，其中，化合物（A）中的氟原子相對於化合物（A）的總質量之含有率大於化合物（B）中的氟原子相對於化合物（B）的總質量之含有率。
简体摘要：本发明系有关一种感光化射线性或感放射线性树脂组成物、使用其之感光化射线性或感放射线性膜、具备该膜之空白遮罩、图案形成方法、包括该图案形成方法之电子组件的制造方法及借由该电子组件的制造方法来制造之电子组件。本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组成物系含有：（A）在阴离子部包含至少1个氟原子，且在阳离子部包含至少1个氮原子之鎓盐化合物；及（B）包含至少1个氟原子，且借由光化射线或放射线的照射而产生酸之化合物，其中，化合物（A）中的氟原子相对于化合物（A）的总质量之含有率大于化合物（B）中的氟原子相对于化合物（B）的总质量之含有率。

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