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1. 发明专利

TW201946878A 超純水之製造方法、超純水製造系統及離子交換體充填模組审中-公开
简体标题：超纯水之制造方法、超纯水制造系统及离子交换体充填模块
公开(公告)号：TW201946878A
公开(公告)日：2019-12-16
申请号：TW108117012
申请日：2019-05-17
申请人：日商奧璐佳瑙股份有限公司 , ORGANO CORPORATION
发明人：蔦野恭平 , TSUTANO, KYOHEI , 高田仁 , TAKADA, HITOSHI
IPC分类号： C02F1/42 , B01J47/022 , B01J47/028 , C02F103/04
摘要：一種超純水之製造方法，用於藉由超純水製造裝置處理超純水製造用原料水並將製得之超純水供給至使用點，其特徵為該超純水製造用原料水含有B、As、Al、Ti、Cr、Fe、Cu、Zn、Sn、V、Ga及Pb中之至少1種以上元素，且在該超純水製造裝置之處理路徑中或在由該超純水製造裝置到該使用點之傳送路徑中，設置至少充填了單塊狀有機多孔質陰離子交換體之離子交換體充填模組，並將被處理水通入該離子交換體充填模組進行處理。依據本發明，可提供一種使用至少含有B、As、Al、Ti、Cr、Fe、Cu、Zn、Sn、及Sb中之任1種以上元素的超純水製造用原料水作為超純水製造用原料水，製造半導體製程用之超純水的方法。
简体摘要：一种超纯水之制造方法，用于借由超纯水制造设备处理超纯水制造用原料水并将制得之超纯水供给至使用点，其特征为该超纯水制造用原料水含有B、As、Al、Ti、Cr、Fe、Cu、Zn、Sn、V、Ga及Pb中之至少1种以上元素，且在该超纯水制造设备之处理路径中或在由该超纯水制造设备到该使用点之发送路径中，设置至少充填了单块状有机多孔质阴离子交换体之离子交换体充填模块，并将被处理水通入该离子交换体充填模块进行处理。依据本发明，可提供一种使用至少含有B、As、Al、Ti、Cr、Fe、Cu、Zn、Sn、及Sb中之任1种以上元素的超纯水制造用原料水作为超纯水制造用原料水，制造半导体制程用之超纯水的方法。

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