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    • 8. 发明专利
    • 非接觸搬送裝置
    • 非接触搬送设备
    • TW201318945A
    • 2013-05-16
    • TW101130850
    • 2012-08-24
    • 哈莫技術股份有限公司HARMOTEC CO., LTD.
    • 岩阪齊IWASAKA, HITOSHI德永英幸TOKUNAGA, HIDEYUKI輿石克洋KOSHIISHI, KATSUHIRO
    • B65G51/02B65G49/02H01L21/677
    • B65G25/00H01L21/6838H01L21/68707H01L21/68728
    • 抑制以非接觸搬送板狀構件之時所產生的該板狀構件旋轉。以非接觸搬送板狀構件之非接觸搬送裝置具備有板狀基體和被設置在該基體之複數的渦漩流動形成體。各渦漩流動形成體具備:柱狀之本體;被形成本體之內部,其一端開口的圓筒室;被形成在本體之上述圓筒室開口之側的面之平坦狀端面;被設置在圓筒室之內周面的噴出口;被設置在本體之外面的流體導入口;及連結噴出口和流體導入口的流體通路。各渦漩流動形成體之流體通路係被配置成從其圓筒室沿著端面而流出之流體之方向,與從被搬送之板狀構件之重心朝向外周而延伸之直線略平行。
    • 抑制以非接触搬送板状构件之时所产生的该板状构件旋转。以非接触搬送板状构件之非接触搬送设备具备有板状基体和被设置在该基体之复数的涡漩流动形成体。各涡漩流动形成体具备:柱状之本体;被形成本体之内部,其一端开口的圆筒室;被形成在本体之上述圆筒室开口之侧的面之平坦状端面;被设置在圆筒室之内周面的喷出口;被设置在本体之外面的流体导入口;及链接喷出口和流体导入口的流体通路。各涡漩流动形成体之流体通路系被配置成从其圆筒室沿着端面而流出之流体之方向,与从被搬送之板状构件之重心朝向外周而延伸之直线略平行。