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    • 2. 发明专利
    • 壓印設備、製造物品的方法及供給設備
    • 压印设备、制造物品的方法及供给设备
    • TW201710055A
    • 2017-03-16
    • TW105125456
    • 2016-08-10
    • 佳能股份有限公司CANON KABUSHIKI KAISHA
    • 浅田邦彦ASADA, KUNIHIKO新井剛ARAI, TSUYOSHI
    • B29C59/02H01L21/027G03F7/00
    • G03F7/0002
    • 本發明提供一種壓印設備,包括:腔室,其被構造來界定包括處理單元的第一空間,處理單元包括被構造為將壓印材料排出到基板上的排出單元,且處理單元被構造為藉由使用模具來執行對基板上的壓印材料形成圖案的壓印處理;以及外殼,其被構造來界定包括儲槽的第二空間,儲槽被構造為儲存要被供給到排出單元的壓印材料,其中,儲槽具有對第二空間開放的第一開口,並且外殼具有供給埠,供給埠被構造為經由第一開口將比被供給到第一空間的氣體更潔淨的氣體供給到第二空間。
    • 本发明提供一种压印设备,包括:腔室,其被构造来界定包括处理单元的第一空间,处理单元包括被构造为将压印材料排出到基板上的排出单元,且处理单元被构造为借由使用模具来运行对基板上的压印材料形成图案的压印处理;以及外壳,其被构造来界定包括储槽的第二空间,储槽被构造为存储要被供给到排出单元的压印材料,其中,储槽具有对第二空间开放的第一开口,并且外壳具有供给端口,供给端口被构造为经由第一开口将比被供给到第一空间的气体更洁净的气体供给到第二空间。