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1. 发明专利

TWI630059B 基板吸附裝置及工作台有权
简体标题：基板吸附设备及工作台
公开(公告)号：TWI630059B
公开(公告)日：2018-07-21
申请号：TW105139368
申请日：2016-11-30
申请人：日商三星鑽石工業股份有限公司 , MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：堀井良吾 , HORII, RYOGO , 野崎正和 , NOZAKI, MASAKAZU
IPC分类号： B23Q3/00 , H01L21/683

2. 发明专利

TW201722613A 基板吸附裝置审中-公开
简体标题：基板吸附设备
公开(公告)号：TW201722613A
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW105139368
申请日：2016-11-30
申请人：三星鑽石工業股份有限公司 , MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：堀井良吾 , HORII, RYOGO , 野崎正和 , NOZAKI, MASAKAZU
IPC分类号： B23Q3/00 , H01L21/683
CPC分类号： B23Q3/08 , H01L21/683
摘要：本發明之課題在於：針對存在撓曲之各種基板而將基板穩定地吸附保持於工作台上。基板吸附裝置30相對於形成在工作台10上之複數個孔15b可固著脫離。基板吸附裝置30具備凸緣構件31、缸筒32、及螺旋彈簧33。凸緣構件31於內部具有在上方開口之收容部31a，且於收容部31a之底部具有連通於吸附源之連通孔31c，並且相對於工作台10之孔15b可固著脫離。缸筒32係在凸緣構件31之收容部31a內以在特定之範圍內上下移動自如之方式配置，並在內部具有上下地貫通之吸引孔32a。螺旋彈簧33係將缸筒32以缸筒32之上端面從工作台10之載置面突出特定量之方式將缸筒32朝上方彈推。
简体摘要：本发明之课题在于：针对存在挠曲之各种基板而将基板稳定地吸附保持于工作台上。基板吸附设备30相对于形成在工作台10上之复数个孔15b可固着脱离。基板吸附设备30具备凸缘构件31、缸筒32、及螺旋弹簧33。凸缘构件31于内部具有在上方开口之收容部31a，且于收容部31a之底部具有连通于吸附源之连通孔31c，并且相对于工作台10之孔15b可固着脱离。缸筒32系在凸缘构件31之收容部31a内以在特定之范围内上下移动自如之方式配置，并在内部具有上下地贯通之吸引孔32a。螺旋弹簧33系将缸筒32以缸筒32之上端面从工作台10之载置面突出特定量之方式将缸筒32朝上方弹推。

3. 发明专利

TWI521730B 基板之加工裝置有权
简体标题：基板之加工设备
公开(公告)号：TWI521730B
公开(公告)日：2016-02-11
申请号：TW102119859
申请日：2013-06-05
申请人：三星鑽石工業股份有限公司 , MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：久保仁宏 , KUBO, YOSHIHIRO , 野崎正和 , NOZAKI, MASAKAZU , 高橋昌見 , TAKAHASHI, YOSHIMI
IPC分类号： H01L31/18
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521

4. 发明专利

TW201401546A 基板之加工裝置审中-公开
简体标题：基板之加工设备
公开(公告)号：TW201401546A
公开(公告)日：2014-01-01
申请号：TW102119859
申请日：2013-06-05
申请人：三星鑽石工業股份有限公司 , MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：久保仁宏 , KUBO, YOSHIHIRO , 野崎正和 , NOZAKI, MASAKAZU , 高橋昌見 , TAKAHASHI, YOSHIMI
IPC分类号： H01L31/18
CPC分类号： Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要：本發明之基板之加工裝置可準確地追隨基板之表面之撓曲，並抑制加工不良。該加工裝置係用以加工基板之表面之裝置，且具備載置基板之載台1、頭部3、馬達18、感測器19、及控制部24。頭部3具有可相對於載台1沿水平方向相對移動之基座16、及於前端安裝有加工用工具2且被基座16升降自如地支承之保持具17。馬達18使保持具17相對於基座16升降。感測器19檢測基板表面之高度位置。控制部24根據感測器19之檢測結果而控制馬達18驅動機構，從而控制保持具17之高度位置。
简体摘要：本发明之基板之加工设备可准确地追随基板之表面之挠曲，并抑制加工不良。该加工设备系用以加工基板之表面之设备，且具备载置基板之载台1、头部3、马达18、传感器19、及控制部24。头部3具有可相对于载台1沿水平方向相对移动之基座16、及于前端安装有加工用工具2且被基座16升降自如地支承之保持具17。马达18使保持具17相对于基座16升降。传感器19检测基板表面之高度位置。控制部24根据传感器19之检测结果而控制马达18驱动机构，从而控制保持具17之高度位置。

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