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    • 10. 发明专利
    • 基板保持環握持機構
    • 基板保持环握持机构
    • TW201407713A
    • 2014-02-16
    • TW102111947
    • 2013-04-02
    • 三星鑽石工業股份有限公司MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
    • 黑田直洋KURODA, NAOHIRO太田欣也OTA, KINYA
    • H01L21/683
    • 本發明提供一種即便是外周端部有翹曲之基板保持環,亦可保持水平姿勢進行握持、搬送之基板保持環握持機構。本發明係握持基板保持環之握持機構,該基板保持環係環狀且平板狀之環,且鋪設有黏著保持基板之黏著片;該基板保持環握持機構包含:支撐器件,其自下方支撐基板保持環;及壓住器件,其自上方壓住基板保持環;藉由支撐器件支撐基板保持環之相對外周側,且壓住器件壓住基板保持環之相對內周側,而於支撐器件之支撐區域與壓住器件之壓住區域在水平方向上錯開之狀態下握持基板保持環。
    • 本发明提供一种即便是外周端部有翘曲之基板保持环,亦可保持水平姿势进行握持、搬送之基板保持环握持机构。本发明系握持基板保持环之握持机构,该基板保持环系环状且平板状之环,且铺设有黏着保持基板之黏着片;该基板保持环握持机构包含:支撑器件,其自下方支撑基板保持环;及压住器件,其自上方压住基板保持环;借由支撑器件支撑基板保持环之相对外周侧,且压住器件压住基板保持环之相对内周侧,而于支撑器件之支撑区域与压住器件之压住区域在水平方向上错开之状态下握持基板保持环。