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    • 1. 发明专利
    • 半導體晶片拾取裝置及拾取方法
    • 半导体芯片十取设备及十取方法
    • TW200913086A
    • 2009-03-16
    • TW097105106
    • 2008-02-14
    • 新川股份有限公司 SHINKAWA LTD.
    • 藤野昇 FUJINO, NOBORU梅原沖人 UMEHARA, OKITO勝呂明男 KATSURO, AKIO佐佐木真一 SASAKI, SHINICHI
    • H01L
    • H01L21/67132Y10T156/1983
    • 一種半導體晶粒拾取裝置,係於剝離保持片時抑制加於半導體晶粒之力量並能容易地拾取半導體晶粒。具備:包含從緊貼面22出入之前端33b的刮刷器33;及遮住位於刮刷器33之移動方向之開口41且與刮刷器33一起移動的擋門23。拾取半導體晶粒15時,在使半導體晶粒15之一端15a對準刮刷器33之前端33b,並以筒夾18吸附半導體晶粒15之狀態下,使刮刷器33之前端33b從緊貼面22突出並使刮刷器33沿緊貼面22移動,於開口41之一端面41a與片(sheet)面33a之間依序打開吸引開口42,使保持片12從半導體晶粒15之一端15a側依序吸引於吸引開口42而從半導體晶粒15依序剝離保持片12。
    • 一种半导体晶粒十取设备,系于剥离保持片时抑制加于半导体晶粒之力量并能容易地十取半导体晶粒。具备:包含从紧贴面22出入之前端33b的刮刷器33;及遮住位于刮刷器33之移动方向之开口41且与刮刷器33一起移动的挡门23。十取半导体晶粒15时,在使半导体晶粒15之一端15a对准刮刷器33之前端33b,并以筒夹18吸附半导体晶粒15之状态下,使刮刷器33之前端33b从紧贴面22突出并使刮刷器33沿紧贴面22移动,于开口41之一端面41a与片(sheet)面33a之间依序打开吸引开口42,使保持片12从半导体晶粒15之一端15a侧依序吸引于吸引开口42而从半导体晶粒15依序剥离保持片12。