专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

2. 发明专利

TW201014167A 雙頻電源應用之裝置 APPARATUS FOR DUAL FREQUENCY POWER APPLICATION 审中-公开
简体标题：双频电源应用之设备 APPARATUS FOR DUAL FREQUENCY POWER APPLICATION
公开(公告)号：TW201014167A
公开(公告)日：2010-04-01
申请号：TW098124609
申请日：2009-07-21
申请人：應用材料股份有限公司
发明人：沙倫史帝芬C , 楊章喬 , 米勒馬修L , 拉馬斯瓦米卡提克 , 克魯斯詹姆士P
IPC分类号： H03H , H05H , H03L
CPC分类号： H03H7/38
摘要：提供了與一製程腔室一起使用之電源匹配裝置的裝置與方法。在本發明之一態樣中，所提供之電源匹配裝置包括：一第一RF功率輸入，其耦接至一第一可調整電容器；一第二RF功率輸入，其耦接至一第二可調整電容器；一電源接合，其耦接至該第一可調整電容器與該第二可調整電容器；一接收器電路，其耦接至該電源接合；一高電壓濾波器，其耦接至該電源接合，且該高電壓濾波器具有一高電壓輸出；一電壓/電流偵測器，其耦接至該電源接合；以及一RF功率輸出，其連接至該電壓/電流偵測器。
简体摘要：提供了与一制程腔室一起使用之电源匹配设备的设备与方法。在本发明之一态样中，所提供之电源匹配设备包括：一第一RF功率输入，其耦接至一第一可调整电容器；一第二RF功率输入，其耦接至一第二可调整电容器；一电源接合，其耦接至该第一可调整电容器与该第二可调整电容器；一接收器电路，其耦接至该电源接合；一高电压滤波器，其耦接至该电源接合，且该高电压滤波器具有一高电压输出；一电压/电流侦测器，其耦接至该电源接合；以及一RF功率输出，其连接至该电压/电流侦测器。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式