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1. 发明专利

TW434638B 具有內部電感線圈天線及導電性器壁之射頻電漿蝕刻反應器有权
简体标题：具有内部电感线圈天线及导电性器壁之射频等离子蚀刻反应器
公开(公告)号：TW434638B
公开(公告)日：2001-05-16
申请号：TW088116281
申请日：1999-09-22
申请人：應用材料公司
发明人：易原 , 多諾歐嘉度 , 阿南達H.庫瑪 , 尤法莫 , 亞倫德安柏 , 艾菲坦曼 , 迪亞娜馬
IPC分类号： H01J
CPC分类号： H01J37/321
摘要：本發明可在一處理室之中提供一種固定電感天線。該天線係構成以固定在一導電性器壁，所以可將熱轉移給該器壁。該導電性器壁可提供偏壓電路的一改良陽極及允許天線溫度調節。在一可能的具體實施例中，該天線係包含一電絕緣所環繞之導體，其係熱傳導性、非濺射材料，例如為可固定在該器壁的陶瓷。若要減少電感功率衰減，該天線的暴露表面係由空隙隔開，該空隙可抑制渦流在天線上流動的傳導性沉積。毗連之天線線繞以及線繞本身係由空隙隔開，空隙的尺寸和形狀可抑制傳導性的蝕刻副產物橋接該空隙。假環係位在天線環之間，並可移除以利清潔。處理氣體可經由空隙提供給該室。
简体摘要：本发明可在一处理室之中提供一种固定电感天线。该天线系构成以固定在一导电性器壁，所以可将热转移给该器壁。该导电性器壁可提供偏压电路的一改良阳极及允许天线温度调节。在一可能的具体实施例中，该天线系包含一电绝缘所环绕之导体，其系热传导性、非溅射材料，例如为可固定在该器壁的陶瓷。若要减少电感功率衰减，该天线的暴露表面系由空隙隔开，该空隙可抑制涡流在天在线流动的传导性沉积。毗连之天线线绕以及线绕本身系由空隙隔开，空隙的尺寸和形状可抑制传导性的蚀刻副产物桥接该空隙。假环系位在天线环之间，并可移除以利清洁。处理气体可经由空隙提供给该室。

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