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1. 发明专利

TW201323862A 用於檢查圖案化樣本之光學系統及方法（一）审中-公开
简体标题：用于检查图案化样本之光学系统及方法（一）
公开(公告)号：TW201323862A
公开(公告)日：2013-06-16
申请号：TW101135126
申请日：2012-09-25
申请人：應用材料以色列公司 , APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD.
发明人：巴爾拉提凱尤夫 , BERLATZKY, YOAV , 高佛拉爾艾杜 , KOFLER, IDO , 梅許拉奇多倫 , MESHULACH, DORON , 貝肯卡比 , BARKAN, KOBI
IPC分类号： G01N21/956
CPC分类号： G01N21/956 , G01N21/4788 , G01N2021/8822
摘要：所提出的一種光學檢查系統係定義了一檢查平面，以檢查位於該檢查平面中的一圖案化樣本。該系統包含一照射單元和一光線收集單元；該照射單元定義了對該檢查平面呈一特定角度取向之一照射路徑，該光線收集單元定義了對該檢查平面呈一特定角度取向之一收集路徑。該照射單元包含一照射遮罩，該照射遮罩位於關於該檢查平面之一第一光譜平面中且包含一第一預定不連續圖案之一光線穿透區域陣列。該光線收集單元包含一收集遮罩，該收集遮罩位於關於該檢查平面之一第二光譜平面中，該第二光譜平面係與該第一光譜平面共軛，該收集遮罩包含一第二預定圖案之分隔光線阻擋區域。該第一與第二圖案的特徵排列係根據從該圖案化樣本沿著由該照射與收集通道的角度取向所定義之收集通道的一繞射反應而加以選擇，使得該第一圖案之該光線穿透區域對該第二圖案之該光線阻擋區域係呈一預定對準。
简体摘要：所提出的一种光学检查系统系定义了一检查平面，以检查位于该检查平面中的一图案化样本。该系统包含一照射单元和一光线收集单元；该照射单元定义了对该检查平面呈一特定角度取向之一照射路径，该光线收集单元定义了对该检查平面呈一特定角度取向之一收集路径。该照射单元包含一照射遮罩，该照射遮罩位于关于该检查平面之一第一光谱平面中且包含一第一预定不连续图案之一光线穿透区域数组。该光线收集单元包含一收集遮罩，该收集遮罩位于关于该检查平面之一第二光谱平面中，该第二光谱平面系与该第一光谱平面共轭，该收集遮罩包含一第二预定图案之分隔光线阻挡区域。该第一与第二图案的特征排列系根据从该图案化样本沿着由该照射与收集信道的角度取向所定义之收集信道的一绕射反应而加以选择，使得该第一图案之该光线穿透区域对该第二图案之该光线阻挡区域系呈一预定对准。

2. 发明专利

TWI638147B 用於空間光束塑型的光學元件有权
简体标题：用于空间光束塑型的光学组件
公开(公告)号：TWI638147B
公开(公告)日：2018-10-11
申请号：TW104117021
申请日：2015-05-27
申请人：以色列商應用材料以色列公司 , APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD.
发明人：巴爾拉提凱尤夫 , BERLATZKY, YOAV , 沙迪賽菲 , SADEH, SEFFI , 高佛拉爾艾杜 , KOFLER, IDO , 艾達爾漢姆 , EDER, HAIM , 魯德曼麥可 , RUDMAN, MICHAEL , 法米尼哈凱 , FAMINI, HAGAY
IPC分类号： G01J1/04 , G02B27/10

3. 发明专利

TW201323863A 用於檢查圖案化樣本之光學系統及方法（二）审中-公开
简体标题：用于检查图案化样本之光学系统及方法（二）
公开(公告)号：TW201323863A
公开(公告)日：2013-06-16
申请号：TW101135127
申请日：2012-09-25
申请人：應用材料以色列公司 , APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD.
发明人：巴爾拉提凱尤夫 , BERLATZKY, YOAV , 高佛拉爾艾杜 , KOFLER, IDO , 梅許拉奇多倫 , MESHULACH, DORON , 貝肯卡比 , BARKAN, KOBI
IPC分类号： G01N21/956
CPC分类号： G01N21/956 , G01N21/4788 , G01N2021/8822
摘要：提出一種光學檢查系統，該光學檢查系統定義了一檢查平面以檢查位於該檢查平面中之一圖案化樣本。該系統包含一照射單元與一光線收集單元，該照射單元係定義了具有一預定數值孔徑與關於該檢查平面之預定角度取向的一照射通道，該光線收集單元定義了具有關於該檢查平面之預定角度取向的一收集通道。該照射單元包含一照射遮罩，該照射遮罩位於關於該檢查平面之一第一光譜平面中且定義了包含一第一圖案之一照射光瞳，該第一圖案是由至少一長形光線穿透區域所形成，該光線穿透區域在一軸上所具有之一物理尺寸係大於在一垂直軸上者。該光線收集單元包含一收集遮罩，該收集遮罩位於與該第一光譜平面共軛之關於該檢查平面之一第二光譜平面，該收集遮罩包含由分隔光線阻擋區域組成之一第二預定圖案。
简体摘要：提出一种光学检查系统，该光学检查系统定义了一检查平面以检查位于该检查平面中之一图案化样本。该系统包含一照射单元与一光线收集单元，该照射单元系定义了具有一预定数值孔径与关于该检查平面之预定角度取向的一照射信道，该光线收集单元定义了具有关于该检查平面之预定角度取向的一收集信道。该照射单元包含一照射遮罩，该照射遮罩位于关于该检查平面之一第一光谱平面中且定义了包含一第一图案之一照射光瞳，该第一图案是由至少一长形光线穿透区域所形成，该光线穿透区域在一轴上所具有之一物理尺寸系大于在一垂直轴上者。该光线收集单元包含一收集遮罩，该收集遮罩位于与该第一光谱平面共轭之关于该检查平面之一第二光谱平面，该收集遮罩包含由分隔光线阻挡区域组成之一第二预定图案。

4. 发明专利

TW201606271A 用於空間光束塑型的光學元件审中-公开
简体标题：用于空间光束塑型的光学组件
公开(公告)号：TW201606271A
公开(公告)日：2016-02-16
申请号：TW104117021
申请日：2015-05-27
申请人：應用材料以色列公司 , APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD.
发明人：巴爾拉提凱尤夫 , BERLATZKY, YOAV , 沙迪賽菲 , SADEH, SEFFI , 高佛拉爾艾杜 , KOFLER, IDO , 艾達爾漢姆 , EDER, HAIM , 魯德曼麥可 , RUDMAN, MICHAEL , 法米尼哈凱 , FAMINI, HAGAY
IPC分类号： G01J1/04 , G02B27/10
CPC分类号： G02B27/0905 , G02B5/201 , G02B21/06 , G02B27/143
摘要：本發明提供一種空間光束塑型器結構及相應光學系統。空間光束塑型器結構包含光收集表面，該光收集表面經配置用於影響入射於該表面上的光以提供具至少一種光學特性之實質平滑光輪廓，該光收集表面具有呈多個表面區域形式的圖案，該等表面區域包含以交替方式排列之具至少兩種不同光學特性之區域，其中具不同光學特性之每兩個局部相鄰區域之間的介面區域具有至少兩種不同光學特性，以在介面區域內提供該等不同光學特性之實質平滑過渡。
简体摘要：本发明提供一种空间光束塑型器结构及相应光学系统。空间光束塑型器结构包含光收集表面，该光收集表面经配置用于影响入射于该表面上的光以提供具至少一种光学特性之实质平滑光轮廓，该光收集表面具有呈多个表面区域形式的图案，该等表面区域包含以交替方式排列之具至少两种不同光学特性之区域，其中具不同光学特性之每两个局部相邻区域之间的界面区域具有至少两种不同光学特性，以在界面区域内提供该等不同光学特性之实质平滑过渡。

5. 发明专利

TWI465714B 用於檢查圖案化樣本之光學系統及方法（一）有权
简体标题：用于检查图案化样本之光学系统及方法（一）
公开(公告)号：TWI465714B
公开(公告)日：2014-12-21
申请号：TW101135126
申请日：2012-09-25
申请人：應用材料以色列公司 , APPLIED MATERIALS ISRAEL, LTD.
发明人：巴爾拉提凱尤夫 , BERLATZKY, YOAV , 高佛拉爾艾杜 , KOFLER, IDO , 梅許拉奇多倫 , MESHULACH, DORON , 貝肯卡比 , BARKAN, KOBI
IPC分类号： G01N21/956
CPC分类号： G01N21/956 , G01N21/4788 , G01N2021/8822

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