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1. 发明专利

TW200932931A 蒸鍍源、有機電激發光元件之製造裝置 A DEPOSITION SOURCE, AN APPARATUS FOR PRODUCING ORGANIC EL ELEMENT 审中-公开
简体标题：蒸镀源、有机电激发光组件之制造设备 A DEPOSITION SOURCE, AN APPARATUS FOR PRODUCING ORGANIC EL ELEMENT
公开(公告)号：TW200932931A
公开(公告)日：2009-08-01
申请号：TW097142510
申请日：2008-11-04
申请人：愛發科股份有限公司 ULVAC, INC.
发明人：永田純一 NAGATA, JUNICHI
IPC分类号： C23C , H05B , H01L
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/12
摘要：本發明係一種蒸鍍源,有機電激發光元件之製造裝置,其中,將蒸鍍源之蒸發容器(9)之熱控制性作為良好。本發明之蒸鍍源(3)係具有配置有機材料(21)之蒸發容器(9),於蒸鍍源(3)之外周,卷繞有加熱線(18)。與有機材料(21)之蒸發容器(9)的側壁接觸之部分乃呈成為較加熱線(18)之下端為下方地配置,於基板支撐架(4),安裝基板(20)。啓動電源(7),使加熱線(18)發熱,加熱蒸發容器(9)時,有機材料(21)之蒸氣係從朝上之貫通孔(31)釋放至真空槽(2)內部,附著於基板(20),形成薄膜。因將加熱線(18)配置至蒸發容器(9)之上端,故可使開口升溫至蒸發溫度以上,前述蒸發容器(9)係因由銅,銅‧鈹合金,Ti或Ta之任一種金屬材料所成,側壁與底壁乃加以形成為0.3mm以上0.7mm以下的厚度之故,熱容量小,控制性為佳。
简体摘要：本发明系一种蒸镀源,有机电激发光组件之制造设备,其中,将蒸镀源之蒸发容器(9)之热控制性作为良好。本发明之蒸镀源(3)系具有配置有机材料(21)之蒸发容器(9),于蒸镀源(3)之外周,卷绕有加热线(18)。与有机材料(21)之蒸发容器(9)的侧壁接触之部分乃呈成为较加热线(18)之下端为下方地配置,于基板支撑架(4),安装基板(20)。启动电源(7),使加热线(18)发热,加热蒸发容器(9)时,有机材料(21)之蒸气系从朝上之贯通孔(31)释放至真空槽(2)内部,附着于基板(20),形成薄膜。因将加热线(18)配置至蒸发容器(9)之上端,故可使开口升温至蒸发温度以上,前述蒸发容器(9)系因由铜,铜‧铍合金,Ti或Ta之任一种金属材料所成,侧壁与底壁乃加以形成为0.3mm以上0.7mm以下的厚度之故,热容量小,控制性为佳。

2. 发明专利

TW200900516A 對位裝置,成膜裝置 APPARATUS FOR ALIGNMENT AND APPARATUS FOR FORMING FILMS 审中-公开
简体标题：对位设备,成膜设备 APPARATUS FOR ALIGNMENT AND APPARATUS FOR FORMING FILMS
公开(公告)号：TW200900516A
公开(公告)日：2009-01-01
申请号：TW097116819
申请日：2008-05-07
申请人：愛發科股份有限公司 ULVAC, INC.
发明人：永田純一 NAGATA, JUNICHI
IPC分类号： C23C , H05K
CPC分类号： C23C14/50 , C23C14/042
摘要：提供一種使基板不會於橫向滑動之對位裝置。在對位裝置3之23上,配置由氟素橡膠所成而表面為平坦之接觸構件10,並在此接觸構件10上承載基板7,並使其作水平移動,而進行對位。氟素橡膠之靜止摩擦係數係為大,而基板7與接觸構件10係作面接觸,因此,基板7之靜止摩擦力係為大,而在23上不會作橫向滑動。若是在升降銷之前端設置上端為平坦之接觸構件,並使其與基板作面接觸而上下移動,則基板係不會從升降銷而脫落。
简体摘要：提供一种使基板不会于横向滑动之对位设备。在对位设备3之23上,配置由氟素橡胶所成而表面为平坦之接触构件10,并在此接触构件10上承载基板7,并使其作水平移动,而进行对位。氟素橡胶之静止摩擦系数系为大,而基板7与接触构件10系作面接触,因此,基板7之静止摩擦力系为大,而在23上不会作横向滑动。若是在升降销之前端设置上端为平坦之接触构件,并使其与基板作面接触而上下移动,则基板系不会从升降销而脱落。

3. 发明专利

TW200915912A 有機電激發光裝置之製造裝置 MANUFACTURING APPARATUS FOR ORGANIC EL DEVICES 审中-公开
简体标题：有机电激发光设备之制造设备 MANUFACTURING APPARATUS FOR ORGANIC EL DEVICES
公开(公告)号：TW200915912A
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：TW097117636
申请日：2008-05-14
申请人：愛發科股份有限公司 ULVAC, INC.
发明人：永田純一 NAGATA, JUNICHI
IPC分类号： H05B
CPC分类号： H05B33/10 , H01L51/5246 , H01L51/56 , H05B33/04
摘要：本發明係一種有機電激發光裝置之製造裝置,其中,製造壽命長的有機電激發光裝置,本發明之製造裝置1~3係對於進行有機材料層之形成,密封材料層之形成,基板7a,7b的貼上等之作業室11a~11c,係安裝有加熱裝置12a~12b,於進行作業之前,預先以加熱裝置12a~12c,加熱作業室11a~11c的壁,去除附著於內壁面的水等之不純物氣體,將所去除之不純物氣體,排除作業室11,作業係因以排除不純物氣體之環境氣體所進行,故為混入不純物氣體於有機電激發光裝置。
简体摘要：本发明系一种有机电激发光设备之制造设备,其中,制造寿命长的有机电激发光设备,本发明之制造设备1~3系对于进行有机材料层之形成,密封材料层之形成,基板7a,7b的粘贴等之作业室11a~11c,系安装有加热设备12a~12b,于进行作业之前,预先以加热设备12a~12c,加热作业室11a~11c的壁,去除附着于内壁面的水等之不纯物气体,将所去除之不纯物气体,排除作业室11,作业系因以排除不纯物气体之环境气体所进行,故为混入不纯物气体于有机电激发光设备。

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