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    • 1. 发明专利
    • 噴墨塗布裝置及噴墨塗布方法
    • 喷墨涂布设备及喷墨涂布方法
    • TW201334982A
    • 2013-09-01
    • TW101141294
    • 2012-11-07
    • 愛發科股份有限公司ULVAC, INC.住友化學股份有限公司SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED
    • 井口真介IGUCHI, SHINSUKE池本定信IKEMOTO, SADANOBU雨宮聰AMAMIYA, SATOSHI
    • B41J2/07B41J2/135
    • H05B33/10H01L51/0005H01L51/56
    • 本發明之課題在於抑制塗布在基板上的印墨之乾燥斑痕。本發明解決手段之一形態之噴墨塗布裝置具備有具有第1噴頭群12A與第2噴頭群12B的噴墨頭模組12。第1噴頭群12A係當將基板S之表面全區域劃分為沿著前述X軸方向排列之複數列區域R1~R6時,使印墨的液滴塗布於指定的第1區域群(R1、R3、R5)。第2噴頭群12B係配置於對第1噴頭群12A於Y軸方向離開指定距離(H)之位置,並且使印墨的液滴塗布於上述複數列的區域中之剩餘的第2區域群(R2、R4、R6)。此時,係將支持基板S的平台11之移動控制為使得出自前述第1噴頭群12A的液滴噴抵前述基板S上時開始至出自第2噴頭群12B的液滴噴抵基板上為止的時間在指定時間以內。
    • 本发明之课题在于抑制涂布在基板上的印墨之干燥斑痕。本发明解决手段之一形态之喷墨涂布设备具备有具有第1喷头群12A与第2喷头群12B的喷墨头模块12。第1喷头群12A系当将基板S之表面全区域划分为沿着前述X轴方向排列之复数列区域R1~R6时,使印墨的液滴涂布于指定的第1区域群(R1、R3、R5)。第2喷头群12B系配置于对第1喷头群12A于Y轴方向离开指定距离(H)之位置,并且使印墨的液滴涂布于上述复数列的区域中之剩余的第2区域群(R2、R4、R6)。此时,系将支持基板S的平台11之移动控制为使得出自前述第1喷头群12A的液滴喷抵前述基板S上时开始至出自第2喷头群12B的液滴喷抵基板上为止的时间在指定时间以内。