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1. 发明专利

TW201910765A 四極型質量分析計及其感度降低之判定方法审中-公开
简体标题：四极型质量分析计及其感度降低之判定方法
公开(公告)号：TW201910765A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107112848
申请日：2018-04-16
申请人：日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：中島豊昭 , NAKAJIMA, TOYOAKI , 田中領太 , TANAKA, RYOTA , 黒川裕次郎 , KUROKAWA, YUJIRO , 松崎純 , MATSUZAKI, JUN , 猿渡治郎 , ENDO, JIRO
IPC分类号： G01N27/62 , H01J41/00
摘要： [課題] 提供一種能夠盡可能地迅速判定離子源之感度降低的低成本之四極型質量分析計及其感度降低之判定方法。　　[解決手段] 對於試驗體內之氣體成分進行分析之四極型質量分析計(MA)，係具備有：離子源(4)，係具有燈絲(41)以及柵極(43)，並將氣體離子化；和四極部(3)，係將4根的柱狀電極(31)在周方向上以特定間隔作配置所成；和第1離子收集器(2)，係將通過了四極部(3)後的特定質量數之氣體離子作捕集；和第2離子收集器(6)，係將藉由離子源(4)所產生的氣體離子作捕集，構成為根據在第1離子收集器(2)處所流動的第1離子電流值來測定試驗體內之特定質量數之氣體分壓，並且根據在第2離子收集器(6)處所流動的第2離子電流值來測定試驗體內之全壓，該四極型質量分析計，係具備有：判定手段，係將不會對於氣體成分之分析造成影響的特定範圍內之感度設為基準感度，若是相對於第2離子電流值之第1離子電流值之比成為基於基準感度所設定的判定值之同等以下，則判定為感度降低。
简体摘要： [课题] 提供一种能够尽可能地迅速判定离子源之感度降低的低成本之四极型质量分析计及其感度降低之判定方法。　　[解决手段] 对于试验体内之气体成分进行分析之四极型质量分析计(MA)，系具备有：离子源(4)，系具有灯丝(41)以及栅极(43)，并将气体离子化；和四极部(3)，系将4根的柱状电极(31)在周方向上以特定间隔作配置所成；和第1离子收集器(2)，系将通过了四极部(3)后的特定质量数之气体离子作捕集；和第2离子收集器(6)，系将借由离子源(4)所产生的气体离子作捕集，构成为根据在第1离子收集器(2)处所流动的第1离子电流值来测定试验体内之特定质量数之气体分压，并且根据在第2离子收集器(6)处所流动的第2离子电流值来测定试验体内之全压，该四极型质量分析计，系具备有：判定手段，系将不会对于气体成分之分析造成影响的特定范围内之感度设为基准感度，若是相对于第2离子电流值之第1离子电流值之比成为基于基准感度所设置的判定值之同等以下，则判定为感度降低。

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