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1. 发明专利

TWI696779B 閘閥有权
简体标题：闸阀
公开(公告)号：TWI696779B
公开(公告)日：2020-06-21
申请号：TW108110894
申请日：2019-03-28
申请人：日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：和田慎一 , WADA, SHINICHI , 井上英晃 , INOUE, HIDEAKI , 柴山浩司 , SHIBAYAMA, KOUJI , 和出拓也 , WADE, TAKUYA , 古瀬晴邦 , FURUSE, HARUKUNI
IPC分类号： F16K3/36

2. 发明专利

TW201910637A 真空泵审中-公开
公开(公告)号：TW201910637A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107120742
申请日：2018-06-15
申请人：日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：橋本建治 , HASHIMOTO, KENJI , 井上英晃 , INOUE, HIDEAKI , 柴山浩司 , SHIBAYAMA, KOJI , 鈴木敏生 , SUZUKI, TOSHIO
IPC分类号： F04C18/16
摘要：一種真空泵，係簡便且具備有外殼，該外殼係具有冷卻效率佳且製作性佳的冷卻構造。本發明之一形態的真空泵係具備泵外殼和冷卻管。上述泵外殼係由鑄鐵所構成。上述冷卻管係具有外周面和內周面，且由不鏽鋼所構成。上述冷卻管係貫通前述泵外殼，而與前述泵外殼密接的前述外周面是由敏化層所構成。該真空泵之由鑄鐵所構成的泵外殼係鑄造於由不鏽鋼所構成的冷卻管之周圍所形成。在冷卻管之外周面係設置有敏化層，敏化層與泵外殼密接，泵外殼能效率佳地冷卻。
简体摘要：一种真空泵，系简便且具备有外壳，该外壳系具有冷却效率佳且制作性佳的冷却构造。本发明之一形态的真空泵系具备泵外壳和冷却管。上述泵外壳系由铸铁所构成。上述冷却管系具有外周面和内周面，且由不锈钢所构成。上述冷却管系贯通前述泵外壳，而与前述泵外壳密接的前述外周面是由敏化层所构成。该真空泵之由铸铁所构成的泵外壳系铸造于由不锈钢所构成的冷却管之周围所形成。在冷却管之外周面系设置有敏化层，敏化层与泵外壳密接，泵外壳能效率佳地冷却。

3. 发明专利

TWI698605B 閘閥有权
简体标题：闸阀
公开(公告)号：TWI698605B
公开(公告)日：2020-07-11
申请号：TW108104613
申请日：2019-02-12
申请人：日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：和田慎一 , WADA, SHINICHI , 井上英晃 , INOUE, HIDEAKI , 柴山浩司 , SHIBAYAMA, KOUJI , 和出拓也 , WADE, TAKUYA , 古瀨晴邦 , FURUSE, HARUKUNI , 猿渡治郎 , ENDO, JIROU , 鐸木幹也 , SUZUKI, MIKIYA , 德平真之介 , TOKUHIRA, SHINNOSUKE , 照井敬晶 , TERUI, TAKAAKI
IPC分类号： F16K3/10 , F16K51/02

4. 发明专利

TWI512199B 真空排氣裝置之連結構造及真空排氣系統有权
简体标题：真空排气设备之链接构造及真空排气系统
公开(公告)号：TWI512199B
公开(公告)日：2015-12-11
申请号：TW100141988
申请日：2011-11-17
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：鈴木敏生 , SUZUKI, TOSHIO , 田中智成 , TANAKA, TOMONARI , 柴山浩司 , SHIBAYAMA, KOUJI , 岡本正智 , OKAMOTO, MASATOMO
IPC分类号： F04C29/12 , F04C23/00 , F04C25/02
CPC分类号： F01D25/24 , F01C1/084 , F01C1/126 , F01C21/007 , F01C21/10 , F04C2/084 , F04C2/126 , F04C11/001 , F04C18/126 , F04C23/00 , F04C23/001 , F04C25/02

5. 发明专利

TWI467092B 真空排氣裝置有权
简体标题：真空排气设备
公开(公告)号：TWI467092B
公开(公告)日：2015-01-01
申请号：TW098130464
申请日：2009-09-09
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：柴山浩司 , SHIBAYAMA, KOUJI , 鈴木敏生 , SUZUKI, TOSHIO
IPC分类号： F04B37/16 , F04B39/12
CPC分类号： F04B37/14 , F04B41/06

6. 发明专利

TWI698606B 滑閥有权
简体标题：滑阀
公开(公告)号：TWI698606B
公开(公告)日：2020-07-11
申请号：TW108108873
申请日：2019-03-15
申请人：日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：和田慎一 , WADA, SHINICHI , 井上英晃 , INOUE, HIDEAKI , 柴山浩司 , SHIBAYAMA, KOUJI , 和出拓也 , WADE, TAKUYA , 古瀨晴邦 , FURUSE, HARUKUNI
IPC分类号： F16K3/10 , F16K3/18 , F16K31/122 , F16K31/54 , F16K51/02

7. 发明专利

TWI695136B 閘閥有权
简体标题：闸阀
公开(公告)号：TWI695136B
公开(公告)日：2020-06-01
申请号：TW108111223
申请日：2019-03-29
申请人：日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：和田慎一 , WADA, SHINICHI , 井上英晃 , INOUE, HIDEAKI , 柴山浩司 , SHIBAYAMA, KOUJI , 和出拓也 , WADE, TAKUYA , 古瀬晴邦 , FURUSE, HARUKUNI , 猿渡治郎 , ENDO, JIROU , 鐸木幹也 , SUZUKI, MIKIYA , 徳平真之介 , TOKUHIRA, SHINNOSUKE , 照井敬晶 , TERUI, TAKAAKI
IPC分类号： F16K3/18

8. 发明专利

TW201910640A 真空排氣裝置以及真空排氣裝置的冷卻方法审中-公开
简体标题：真空排气设备以及真空排气设备的冷却方法
公开(公告)号：TW201910640A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107121111
申请日：2018-06-20
申请人：日商愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：橋本建治 , HASHIMOTO, KENJI , 井上英晃 , INOUE, HIDEAKI , 柴山浩司 , SHIBAYAMA, KOJI , 鈴木敏生 , SUZUKI, TOSHIO
IPC分类号： F04C25/02 , F04C29/04
摘要：一種真空排氣裝置以及真空排氣裝置的冷卻方法，係能提高真空排氣裝置的冷卻效率。真空排氣裝置係具備真空泵、冷卻機構及送風機。上述真空泵係具有泵本體、驅動上述泵本體的驅動部、及控制上述驅動部的控制部。上述冷卻機構係具有冷卻迴路、使冷媒體在上述冷卻迴路循環的循環泵、及連接於上述冷卻迴路且能夠冷卻上述冷媒體的氣冷式熱交換器。上述冷卻機構係藉由上述冷媒體來冷卻上述控制部。上述送風機係能夠將外部空氣從上述真空泵朝向上述氣冷式熱交換器送風。上述送風機係以上述外部空氣分別氣冷上述控制部及氣冷式熱交換器。
简体摘要：一种真空排气设备以及真空排气设备的冷却方法，系能提高真空排气设备的冷却效率。真空排气设备系具备真空泵、冷却机构及送风机。上述真空泵系具有泵本体、驱动上述泵本体的驱动部、及控制上述驱动部的控制部。上述冷却机构系具有冷却回路、使冷媒体在上述冷却回路循环的循环泵、及连接于上述冷却回路且能够冷却上述冷媒体的气冷式热交换器。上述冷却机构系借由上述冷媒体来冷却上述控制部。上述送风机系能够将外部空气从上述真空泵朝向上述气冷式热交换器送风。上述送风机系以上述外部空气分别气冷上述控制部及气冷式热交换器。

9. 发明专利

TWI537470B 偏心旋轉驅動裝置有权
简体标题：偏心旋转驱动设备
公开(公告)号：TWI537470B
公开(公告)日：2016-06-11
申请号：TW100136245
申请日：2011-10-06
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：菅家幸雄 , KANKE, YUKIO , 柴山浩司 , SHIBAYAMA, KOJI
IPC分类号： F04C29/02
CPC分类号： H02K7/083 , F04B9/045 , F04B39/0246 , F04B39/06 , F04C29/0085 , F04C29/023 , F04C29/025 , F16C23/10 , F16C33/6666 , F16N7/366 , F16N2210/14 , F16N2210/18 , H02K5/161 , H02K7/075 , H02K7/14

10. 发明专利

TW201304042A 負載鎖定裝置、排氣控制裝置及負載鎖定裝置的驅動方法审中-公开
简体标题：负载锁定设备、排气控制设备及负载锁定设备的驱动方法
公开(公告)号：TW201304042A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：TW100134732
申请日：2011-09-27
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：柴山浩司 , SHIBAYAMA, KOJI , 鈴木敏生 , SUZUKI, TOSHIO
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67775
摘要：本發明提供一種負載鎖定裝置、用於該裝置之排氣控制裝置及負載鎖定裝置的驅動方法，係可減少負載鎖定裝置之運作、與連接於負載鎖定裝置的週邊裝置之運作所必要之能量。設置於負載鎖定裝置之排氣裝置20係具有：搭載有馬達22之真空幫浦21；驅動此馬達22之馬達驅動器23(驅動單元之一部份或全部)；以及連接於馬達驅動器23之再生單元24。再生單元24係藉由使真空幫浦21之馬達22強制減速而獲得再生電力。以此方式獲得之再生電力係可作為驅動真空幫浦用的電力來使用，該真空幫浦係使用在連接於負載鎖定裝置100的真空搬運室及製程室，亦可將該再生電力蓄電於蓄電器。
简体摘要：本发明提供一种负载锁定设备、用于该设备之排气控制设备及负载锁定设备的驱动方法，系可减少负载锁定设备之运作、与连接于负载锁定设备的周边设备之运作所必要之能量。设置于负载锁定设备之排气设备20系具有：搭载有马达22之真空帮浦21；驱动此马达22之马达驱动器23(驱动单元之一部份或全部)；以及连接于马达驱动器23之再生单元24。再生单元24系借由使真空帮浦21之马达22强制减速而获得再生电力。以此方式获得之再生电力系可作为驱动真空帮浦用的电力来使用，该真空帮浦系使用在连接于负载锁定设备100的真空搬运室及制程室，亦可将该再生电力蓄电于蓄电器。

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