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1. 发明专利

TW201133167A 真空處理裝置、圖表顯示方法 A VACUUM EVACUATION APPARATUS AND A METHOD FOR DISPLAYING GRAPHS 审中-公开
简体标题：真空处理设备、图表显示方法 A VACUUM EVACUATION APPARATUS AND A METHOD FOR DISPLAYING GRAPHS
公开(公告)号：TW201133167A
公开(公告)日：2011-10-01
申请号：TW099135754
申请日：2010-10-20
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：山根克己 , 猿渡治郎 , 平木勉
IPC分类号： G05B , H01L
CPC分类号： C23C14/54
摘要：將測定值之一部分抽出並圖表化，而成為能夠簡單地對所抽出了的測定值彼此間作比較。將多量之測定值作讀入，並在畫面100上作為一次圖表132來作顯示，再對於起點作指示而抽出成為比較對象之測定值，而將所抽出了的測定值藉由二次圖表134a、134b來作顯示。當二次圖表134a、134b並未被重合時，係能夠經由第1、第2主測量線101、102來對於圖表線134a、134b之偏差量作測定，並使相互偏差之二次圖表134a、134b之其中一方作移動，以使兩者重合。
简体摘要：将测定值之一部分抽出并图表化，而成为能够简单地对所抽出了的测定值彼此间作比较。将多量之测定值作读入，并在画面100上作为一次图表132来作显示，再对于起点作指示而抽出成为比较对象之测定值，而将所抽出了的测定值借由二次图表134a、134b来作显示。当二次图表134a、134b并未被重合时，系能够经由第1、第2主测量线101、102来对于图表线134a、134b之偏差量作测定，并使相互偏差之二次图表134a、134b之其中一方作移动，以使两者重合。

2. 发明专利

TWI518297B 溫度檢測裝置、加熱裝置、基板加熱方法有权
简体标题：温度检测设备、加热设备、基板加热方法
公开(公告)号：TWI518297B
公开(公告)日：2016-01-21
申请号：TW099102452
申请日：2010-01-28
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：吉元剛 , YOSHIMOTO, TSUYOSHI , 山根克己 , YAMANE, KATSUMI , 大野哲宏 , OONO, TETSUHIRO , 溝口貴浩 , MIZOGUCHI, TAKAHIRO
IPC分类号： F27D21/00 , F27D19/00 , G01K1/16 , H05B3/00
CPC分类号： F27D19/00 , F27B5/04 , F27B17/0016 , F27D11/12 , F27D21/0014 , G01J5/0007 , G01J5/02 , G01J5/025 , G01J5/04 , G01J5/045 , G01J5/061 , G01J5/08 , G01J5/0893 , G01J5/12

3. 发明专利

TW201105916A 溫度檢測裝置、加熱裝置 TEMPERATURE SENSING APPARATUS AND HEATING APPARATUS 审中-公开
简体标题：温度检测设备、加热设备 TEMPERATURE SENSING APPARATUS AND HEATING APPARATUS
公开(公告)号：TW201105916A
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：TW099102452
申请日：2010-01-28
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：吉元剛 , 山根克己 , 大野哲宏 , 溝口貴浩
IPC分类号： F27D , G01K , H05B
CPC分类号： F27D19/00 , F27B5/04 , F27B17/0016 , F27D11/12 , F27D21/0014 , G01J5/0007 , G01J5/02 , G01J5/025 , G01J5/04 , G01J5/045 , G01J5/061 , G01J5/08 , G01J5/0893 , G01J5/12
摘要：本發明提供一種控制大型被加熱對象基板的溫度的技術。在加熱室(6)的內部,係在輻射加熱手段(14)與被加熱對象基板(12)相對向區域的側方配置有溫度檢測裝置(20)。加熱裝置(2)係具有:加熱室(6)、輻射加熱手段(14)、電源裝置(25)、基板保持裝置(11)、控制裝置(15)、及溫度檢測裝置(20)。在控制裝置(15)內建有控制程式,藉由控制程式,由電源裝置(25)控制輻射加熱手段(14)的投入電力,使其以藉由溫度檢測裝置(20)所具有的熱電偶(21)所檢測的溫度測定用基板(22)的溫度成為設定溫度的方式發熱。此外,在溫度檢測裝置(20)係密接配置有循環路(23),藉由冷卻裝置(29)而在循環路(23)流通冷媒體時,可將溫度測定用基板(22)的溫度由設定溫度冷卻至初始溫度。
简体摘要：本发明提供一种控制大型被加热对象基板的温度的技术。在加热室(6)的内部,系在辐射加热手段(14)与被加热对象基板(12)相对向区域的侧方配置有温度检测设备(20)。加热设备(2)系具有:加热室(6)、辐射加热手段(14)、电源设备(25)、基板保持设备(11)、控制设备(15)、及温度检测设备(20)。在控制设备(15)内置有控制进程,借由控制进程,由电源设备(25)控制辐射加热手段(14)的投入电力,使其以借由温度检测设备(20)所具有的热电偶(21)所检测的温度测定用基板(22)的温度成为设置温度的方式发热。此外,在温度检测设备(20)系密接配置有循环路(23),借由冷却设备(29)而在循环路(23)流通冷媒体时,可将温度测定用基板(22)的温度由设置温度冷却至初始温度。

4. 发明专利

TW201041266A 真空加熱裝置、真空加熱處理方法 VACUUM HEATING DEVICE, VACUUM HEATING PROCESSING METHOD 审中-公开
简体标题：真空加热设备、真空加热处理方法 VACUUM HEATING DEVICE, VACUUM HEATING PROCESSING METHOD
公开(公告)号：TW201041266A
公开(公告)日：2010-11-16
申请号：TW099105886
申请日：2010-02-26
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：吉元剛 , 山根克己 , 大野哲宏 , 溝口貴浩
IPC分类号： H02J
CPC分类号： H02M5/257 , H01L21/67115
摘要：就算是由被作了並聯連接之加熱燈管所成的負載,係為3之倍數以外的個數,亦能夠以不會在一次側處產生負擔的方式來均等地施加電壓。在負載(65)中,係分成3之倍數的個數與2之倍數的個數,將3個的一次卷線作Y結線或是��結線,並施加3相交流電壓,在被與複數之3相變壓器內的一次卷線分別作了磁性結合之同一捲數的二次卷線(42)處,連接3之倍數的個數之負載,在史考特變壓器內之將M座一次卷線之捲數作了2分割的中點處,連接M座一次卷線之(√3)/2倍的捲數之T座一次卷線的其中一端,並施加3相交流電壓,在1個以上的被與史考特變壓器內之M座一次卷線和T座一次卷線分別作了磁性結合的相同捲數之二次卷線(42)處,連接2之倍數的負載,而並不使未被連接有負載(65)之二次卷線(42)出現。能夠不使一次側之負擔增大地而對於加熱燈管(15)均等地施加交流電壓。
简体摘要：就算是由被作了并联连接之加热灯管所成的负载,系为3之倍数以外的个数,亦能够以不会在一次侧处产生负担的方式来均等地施加电压。在负载(65)中,系分成3之倍数的个数与2之倍数的个数,将3个的一次卷线作Y结线或是��结线,并施加3相交流电压,在被与复数之3相变压器内的一次卷线分别作了磁性结合之同一卷数的二次卷线(42)处,连接3之倍数的个数之负载,在史考特变压器内之将M座一次卷线之卷数作了2分割的中点处,连接M座一次卷线之(√3)/2倍的卷数之T座一次卷线的其中一端,并施加3相交流电压,在1个以上的被与史考特变压器内之M座一次卷线和T座一次卷线分别作了磁性结合的相同卷数之二次卷线(42)处,连接2之倍数的负载,而并不使未被连接有负载(65)之二次卷线(42)出现。能够不使一次侧之负担增大地而对于加热灯管(15)均等地施加交流电压。

5. 发明专利

TWI472118B 真空加熱裝置、真空加熱處理方法有权
简体标题：真空加热设备、真空加热处理方法
公开(公告)号：TWI472118B
公开(公告)日：2015-02-01
申请号：TW099105886
申请日：2010-02-26
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：吉元剛 , YOSHIMOTO, TSUYOSHI , 山根克己 , YAMANE, KATSUMI , 大野哲宏 , OHNO, TETSUHIRO , 溝口貴浩 , MIZOGUCHI, TAKAHIRO
IPC分类号： H02J3/38
CPC分类号： H02M5/257 , H01L21/67115

6. 发明专利

TWI448857B 真空處理裝置、圖表線顯示方法有权
简体标题：真空处理设备、图表线显示方法
公开(公告)号：TWI448857B
公开(公告)日：2014-08-11
申请号：TW099135754
申请日：2010-10-20
申请人：愛發科股份有限公司 , ULVAC, INC.
发明人：山根克己 , YAMANE, KATSUMI , 猿渡治郎 , ENDO, JIROU , 平木勉 , HIRAKI, TSUTOMU
IPC分类号： G05B19/418 , H01L21/67
CPC分类号： C23C14/54

7. 发明专利

TW201214073A 根據圖的群組移動之顯示程式 A DISPLAY PROGRAM BY MOVING GRAPHS IN GROUP 审中-公开
简体标题：根据图的群组移动之显示进程 A DISPLAY PROGRAM BY MOVING GRAPHS IN GROUP
公开(公告)号：TW201214073A
公开(公告)日：2012-04-01
申请号：TW100120708
申请日：2011-06-14
申请人：愛發科股份有限公司
发明人：山根克己 , 行谷公平 , 猿渡治郎 , 千葉崇德 , 石川和幸
IPC分类号： G05B
CPC分类号： G05B19/0428 , G05B2219/24106
摘要：本發明提供可以使用表示測定值的第一圖線與表示控制訊號的第二圖線正確地分析測定值之技術。在本發明，以相同檔案名稱特定的第一、第二圖線被相互賦與關聯，被顯示於畫面(100)上的測定值之第一圖線(134a、134c、134d)，與第二圖線(144a、144c、144d)之中，選擇所要的，作為移動對象，被賦與關聯的第一、第二圖線變成一起移動。亦即，測定值之第一圖線與計時圖之第二圖線之間的關係，即使移動也仍被維持，所以不會發生分析錯誤。
简体摘要：本发明提供可以使用表示测定值的第一图线与表示控制信号的第二图线正确地分析测定值之技术。在本发明，以相同文档名称特定的第一、第二图线被相互赋与关联，被显示于画面(100)上的测定值之第一图线(134a、134c、134d)，与第二图线(144a、144c、144d)之中，选择所要的，作为移动对象，被赋与关联的第一、第二图线变成一起移动。亦即，测定值之第一图线与计时图之第二图线之间的关系，即使移动也仍被维持，所以不会发生分析错误。

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