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1. 发明专利

TW201334910A 控制多軸件平台設備的設備及方法审中-公开
简体标题：控制多轴件平台设备的设备及方法
公开(公告)号：TW201334910A
公开(公告)日：2013-09-01
申请号：TW101141362
申请日：2012-11-07
申请人：循環工程股份有限公司 , SOONHAN ENGINEERING CORP.
发明人：南熙範 , NAM, HUI BEOM
IPC分类号： B23P19/10 , H01L21/67
摘要：一種用來控制包括多軸件的平台設備的設備及方法被提供。該用來控制一包括多個軸件及一被該等多個軸件傾斜的平台的平台設備的設備包含一軸件指定單元，其將該等多個軸件中個別的軸件依序地指定為一主要軸件及將未被指定為主要軸件的軸件指定為從屬軸件、及一控制器，其將該被指定的主要軸件回復至其作為一參考位置的起始點及將該等從屬軸件和該主要軸件一起移動直到該主要軸件回到其起始點為止。精準控制可被提高，且時間及成本可被降低。
简体摘要：一种用来控制包括多轴件的平台设备的设备及方法被提供。该用来控制一包括多个轴件及一被该等多个轴件倾斜的平台的平台设备的设备包含一轴件指定单元，其将该等多个轴件中个别的轴件依序地指定为一主要轴件及将未被指定为主要轴件的轴件指定为从属轴件、及一控制器，其将该被指定的主要轴件回复至其作为一参考位置的起始点及将该等从属轴件和该主要轴件一起移动直到该主要轴件回到其起始点为止。精准控制可被提高，且时间及成本可被降低。

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