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    • 2. 发明专利
    • 塗布液塡充方法、狹縫噴嘴、吐出口封口構件及狹縫噴嘴單元
    • 涂布液填充方法、狭缝喷嘴、吐出口封口构件及狭缝喷嘴单元
    • TW201436865A
    • 2014-10-01
    • TW102140850
    • 2013-11-11
    • 平田機工股份有限公司HIRATA CORPORATION
    • 永田義壽NAGATA, YOSHIHISA有働修UDO, OSAMU
    • B05B1/02B05B9/03B05C5/00
    • B05C1/027B05B15/50
    • 本發明提供有助於提高塗膜品質的塗布液填充方法。該塗布液填充方法是將對基板表面塗布塗布液的狹縫噴嘴的內部的氣體吐出並填充塗布液的方法,狹縫噴嘴具備:塗布液供給口;塗布液吐出口;歧管,與供給口連通,用於將塗布液貯存到狹縫噴嘴內部;液體通路,與歧管連通,用於使塗布液向狹縫噴嘴的吐出口流動;以及通氣孔,用於排除歧管內的氣體,該塗布液填充方法具有在從供給口向狹縫噴嘴內部的塗布液的送液中,將吐出口設為關閉的狀態的吐出口封口步驟和將通氣孔設為開放的狀態的通氣孔開放步驟。
    • 本发明提供有助于提高涂膜品质的涂布液填充方法。该涂布液填充方法是将对基板表面涂布涂布液的狭缝喷嘴的内部的气体吐出并填充涂布液的方法,狭缝喷嘴具备:涂布液供给口;涂布液吐出口;歧管,与供给口连通,用于将涂布液贮存到狭缝喷嘴内部;液体通路,与歧管连通,用于使涂布液向狭缝喷嘴的吐出口流动;以及通气孔,用于排除歧管内的气体,该涂布液填充方法具有在从供给口向狭缝喷嘴内部的涂布液的送液中,将吐出口设为关闭的状态的吐出口封口步骤和将通气孔设为开放的状态的通气孔开放步骤。