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1. 实用新型

TWM358417U 制熱平板式電極有权
简体标题：制热平板式电极
公开(公告)号：TWM358417U
公开(公告)日：2009-06-01
申请号：TW098200632
申请日：2009-01-14
申请人：帆宣系統科技股份有限公司 MARKETECH INTERNATIONAL CORP.
发明人：劉品均 LIU, PING CHUN , 曹承育 TSAUR, CHERNG YUH , 蘇育生 SU, YU SHEN , 張志平 CHANG, CHIN PING
IPC分类号： H01M
摘要：本創作係提供一種制熱平板式電極,其包含電極板、背框以及隔板;該背框包括背板、框邊及容置槽,該電極板係組合於該背框背板,並構成該電極板容設於該背框所設容置槽中之狀態,所述隔板組設於該電極板與該背框背板之間,其特點在於該各隔板之間、該隔板與電極板之間、該隔板與背框背板之間、該電極板與背框框邊之間、該隔板與背框框邊之間形成有間隔空間,且令所述間隔空間之寬度控制在2-7mm之間;藉此,俾可令該電極板運作時所可能產生的異常電漿或電弧降至最低程度,進以獲致高品質製程結果之實用進步性及較佳產業利用效益。
简体摘要：本创作系提供一种制热平板式电极,其包含电极板、背框以及隔板;该背框包括背板、框边及容置槽,该电极板系组合于该背框背板,并构成该电极板容设于该背框所设容置槽中之状态,所述隔板组设于该电极板与该背框背板之间,其特点在于该各隔板之间、该隔板与电极板之间、该隔板与背框背板之间、该电极板与背框框边之间、该隔板与背框框边之间形成有间隔空间,且令所述间隔空间之宽度控制在2-7mm之间;借此,俾可令该电极板运作时所可能产生的异常等离子或电弧降至最低程度,进以获致高品质制程结果之实用进步性及较佳产业利用效益。

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