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    • 3. 发明专利
    • 基板檢查裝置及基板檢查方法
    • 基板检查设备及基板检查方法
    • TW201732309A
    • 2017-09-16
    • TW106105795
    • 2017-02-21
    • 山葉汎提克股份有限公司YAMAHA FINE TECHNOLOGIES CO., LTD.
    • 笹岑敬一郎SASAMINE, KEIICHIRO斎藤智一SAITO, TOMOKAZU土田憲吾TSUCHIDA, KENGO
    • G01R31/28
    • 一種基板檢查方法,其係經由檢查探針對形成於電路基板之導體圖案流通電流而測定電特性值,且基於該電特性值之測定值而判定電路基板是否良好者,於測定值為容許範圍內之情形時判定為良好,於未判定為良好之情形時反覆進行測定,於測定次數達到上限之情形時,判定為不良,並且於第1次之測定值偏離容許範圍之情形時,改變對於檢查探針之電流之方向而進行第2次測定,於該第2次之測定值偏離容許範圍之情形時,以測定出第1次之測定值與第2次之測定值中之偏離容許範圍之差之值較小之測定值時的電流之方向,進行第3次以後之測定。
    • 一种基板检查方法,其系经由检查探针对形成于电路基板之导体图案流通电流而测定电特性值,且基于该电特性值之测定值而判定电路基板是否良好者,于测定值为容许范围内之情形时判定为良好,于未判定为良好之情形时反复进行测定,于测定次数达到上限之情形时,判定为不良,并且于第1次之测定值偏离容许范围之情形时,改变对于检查探针之电流之方向而进行第2次测定,于该第2次之测定值偏离容许范围之情形时,以测定出第1次之测定值与第2次之测定值中之偏离容许范围之差之值较小之测定值时的电流之方向,进行第3次以后之测定。