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1. 发明专利

TW201809483A 用於控制流體致動器的控制系統审中-公开
简体标题：用于控制流体致动器的控制系统
公开(公告)号：TW201809483A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW106118370
申请日：2017-06-01
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：楊佰學 , YANG, PAI-HSUEH , 崔永俊 , CHOI, YOUNG-JUN , 張秉威 , CHANG, PING WEI , 坂田晃一 , SAKATA, KOICHI , 李樹平 , LEE, SANDY
IPC分类号： F15B11/028 , F15B9/08
CPC分类号： F15B11/042 , F15B13/0442 , F15B19/007 , F15B2211/30575 , F15B2211/327 , F15B2211/351 , F15B2211/353 , F15B2211/665 , F15B2211/6654
摘要：本發明揭示一種用於定位一工件之平台總成，該平台總成包括一平台、一底座、一流體致動器總成及一控制系統。該平台保持該工件。該流體致動器總成沿著移動軸線相對於該底座來移動該平台。該流體致動器總成包括：一活塞殼體，其界定一活塞腔室；一活塞，其定位於該活塞腔室內且沿著一活塞軸線相對於該活塞腔室而移動；及一閥總成，其控制一活塞流體進入該活塞腔室之流動。該閥總成包括具有一第一入口閥特性之一第一入口閥。該控制系統控制該閥總成以控制該活塞流體進入該活塞腔室之該流動。該控制系統可利用該第一入口閥特性之一反轉以控制該閥總成。
简体摘要：本发明揭示一种用于定位一工件之平台总成，该平台总成包括一平台、一底座、一流体致动器总成及一控制系统。该平台保持该工件。该流体致动器总成沿着移动轴线相对于该底座来移动该平台。该流体致动器总成包括：一活塞壳体，其界定一活塞腔室；一活塞，其定位于该活塞腔室内且沿着一活塞轴线相对于该活塞腔室而移动；及一阀总成，其控制一活塞流体进入该活塞腔室之流动。该阀总成包括具有一第一入口阀特性之一第一入口阀。该控制系统控制该阀总成以控制该活塞流体进入该活塞腔室之该流动。该控制系统可利用该第一入口阀特性之一反转以控制该阀总成。

2. 发明专利

TWI522754B 用於對載台決定轉換偏移及用於決定補償圖之方法有权
简体标题：用于对载台决定转换偏移及用于决定补偿图之方法
公开(公告)号：TWI522754B
公开(公告)日：2016-02-21
申请号：TW100117307
申请日：2011-05-18
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：楊佰學 , YANG, PAI-HSUEH , 奎克利史寇特 , COAKLEY, SCOTT , 賓納德麥可B , BINNARD, MICHAEL B. , 平野和弘 , HIRANO, KAZUHIRO , 袁寶山 , YUAN, BAUSAN , 顧祥龍 , KOO, SHIANG-LUNG
IPC分类号： G03F9/00 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70758 , G03F7/70516 , G03F7/70775 , H02P6/006

3. 发明专利

TW201837324A 雙閥流體致動器組件审中-公开
简体标题：双阀流体致动器组件
公开(公告)号：TW201837324A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：TW107105454
申请日：2018-02-14
申请人：日商尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：潘家田 , POON, ALEX KA TIM , 崔永俊 , CHOI, YEONG-JUN , 楊佰學 , YANG, PAI-HSUEH , 李樹平 , LEE, SANDY , 蓋斯瓦尼高瑞夫 , KESWANI, GAURAV , 麥迪康 , MAI, ROCKY
IPC分类号： F15B15/02 , H01L21/68
摘要：本發明提供一種載台組件(10)，其包括一載台(14)，及使該載台(14)移動之一流體致動器組件(24)。該流體致動器組件(24)包括：一活塞殼體(32)，其界定一活塞腔室(34)；(ii)一活塞(36)，其將該活塞腔室(34)分成一第一腔室(34A)及一第二腔室(34B)；(iii)一供應閥(38C)，其控制工作流體(40)進入該第一腔室(34A)之流動；及(iv)一排出閥(38D)，其控制該工作流體(40)離開該第一腔室(34A)之流動。該供應閥(38C)具有具一供應孔口面積之一供應孔口(250G)，且該排出閥(38D)具有具一排出孔口面積之一排出孔口(352G)。此外，該供應孔口面積不同於該排出孔口面積。不同大小的其他多個閥可組合地使用以用於每一腔室(34A)、(34B)之供應及排出。
简体摘要：本发明提供一种载台组件(10)，其包括一载台(14)，及使该载台(14)移动之一流体致动器组件(24)。该流体致动器组件(24)包括：一活塞壳体(32)，其界定一活塞腔室(34)；(ii)一活塞(36)，其将该活塞腔室(34)分成一第一腔室(34A)及一第二腔室(34B)；(iii)一供应阀(38C)，其控制工作流体(40)进入该第一腔室(34A)之流动；及(iv)一排出阀(38D)，其控制该工作流体(40)离开该第一腔室(34A)之流动。该供应阀(38C)具有具一供应孔口面积之一供应孔口(250G)，且该排出阀(38D)具有具一排出孔口面积之一排出孔口(352G)。此外，该供应孔口面积不同于该排出孔口面积。不同大小的其他多个阀可组合地使用以用于每一腔室(34A)、(34B)之供应及排出。

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