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1. 发明专利

TW201101415A 保護裝置、光罩、光罩之製造方法及搬送裝置、以及曝光裝置审中-公开
简体标题：保护设备、光罩、光罩之制造方法及搬送设备、以及曝光设备
公开(公告)号：TW201101415A
公开(公告)日：2011-01-01
申请号：TW099113225
申请日：2010-04-27
申请人：尼康股份有限公司
发明人：花崎哲嗣 , 白戶章仁
IPC分类号： H01L , G03F
CPC分类号： G03F1/64 , G03F1/62 , G03F1/82 , G03F7/70783 , G03F7/70983 , Y10T156/10
摘要：本發明提供一種能抑制薄膜等保護膜撓曲的保護裝置。一種保護裝置2,保護光罩基板1的表面的特定區域,包括:一薄膜框4,配置於該特定區域的周圍的至少一部分,貼合於該光罩基板1的表面;以及一薄膜5,對向於該特定區域,覆蓋以該薄膜框4形成的一開口部,並展開設置於該薄膜框4;其中該薄膜框4包括沿著該特定區域配置於不同位置的第一邊部4A、第二邊部4B、第三邊部4C與第四邊部4D,關於該光罩基板1的表面的法線方向,第一邊部4A與第二邊部4B的剛性低於第三邊部4C與第四邊部4D的剛性。
简体摘要：本发明提供一种能抑制薄膜等保护膜挠曲的保护设备。一种保护设备2,保护光罩基板1的表面的特定区域,包括:一薄膜框4,配置于该特定区域的周围的至少一部分,贴合于该光罩基板1的表面;以及一薄膜5,对向于该特定区域,覆盖以该薄膜框4形成的一开口部,并展开设置于该薄膜框4;其中该薄膜框4包括沿着该特定区域配置于不同位置的第一边部4A、第二边部4B、第三边部4C与第四边部4D,关于该光罩基板1的表面的法线方向,第一边部4A与第二边部4B的刚性低于第三边部4C与第四边部4D的刚性。

2. 发明专利

TW201044108A 保護裝置、光罩、光罩形成裝置、光罩形成方法、曝光裝置、組件製造方法、及異物檢測裝置审中-公开
简体标题：保护设备、光罩、光罩形成设备、光罩形成方法、曝光设备、组件制造方法、及异物检测设备
公开(公告)号：TW201044108A
公开(公告)日：2010-12-16
申请号：TW099110398
申请日：2010-04-02
申请人：尼康股份有限公司
发明人：花崎哲嗣
IPC分类号： G03F
CPC分类号： G03F1/64 , G03F1/62 , G03F1/82
摘要：本發明提供一種能抑制薄膜部的撓曲的保護裝置。保護裝置保護基板表面的特定區域。保護裝置包括:框部,包含沿著第一方向配置且彼此相對的一對可撓部,框部係連接於基板表面並包圍特定區域的周圍;以及薄膜部,面對特定區域而被展開設置於框部,並閉塞以框部所形成的開口部。可撓部具有薄膜部側的端面向連接基板的連接部側凹著的彎曲形狀。
简体摘要：本发明提供一种能抑制薄膜部的挠曲的保护设备。保护设备保护基板表面的特定区域。保护设备包括:框部,包含沿着第一方向配置且彼此相对的一对可挠部,框部系连接于基板表面并包围特定区域的周围;以及薄膜部,面对特定区域而被展开设置于框部,并闭塞以框部所形成的开口部。可挠部具有薄膜部侧的端面向连接基板的连接部侧凹着的弯曲形状。

3. 发明专利

TW201838076A 搬送裝置、搬送方法、曝光裝置、以及元件製造方法审中-公开
简体标题：搬送设备、搬送方法、曝光设备、以及组件制造方法
公开(公告)号：TW201838076A
公开(公告)日：2018-10-16
申请号：TW107122151
申请日：2011-02-17
申请人：日商尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：金城麻子 , KINJYO, ASAKO , 牛島康之 , USHIJIMA, YASUYUKI , 花崎哲嗣 , HANAZAKI, NORITSUGU
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , H01L21/027 , G03F7/20
摘要：搬送裝置，具備：第1支承部，係對基板之一面供給氣體，能透過氣體懸浮支承基板；第2支承部，能支承基板之一面；驅動部，係使第1及第2支承部之至少一個移動，使第1及第2支承部彼此接近或接觸並排列於第1方向；以及移送部，將藉由驅動部而排列之第1及第2支承部之一方所支承之基板沿第1方向往另一方側移動。
简体摘要：搬送设备，具备：第1支承部，系对基板之一面供给气体，能透过气体悬浮支承基板；第2支承部，能支承基板之一面；驱动部，系使第1及第2支承部之至少一个移动，使第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向；以及移送部，将借由驱动部而排列之第1及第2支承部之一方所支承之基板沿第1方向往另一方侧移动。

4. 发明专利

TWI587430B 搬送裝置、搬送方法、曝光裝置、以及元件製造方法有权
简体标题：搬送设备、搬送方法、曝光设备、以及组件制造方法
公开(公告)号：TWI587430B
公开(公告)日：2017-06-11
申请号：TW100105223
申请日：2011-02-17
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：金城麻子 , KINJYO, ASAKO , 牛島康之 , USHIJIMA, YASUYUKI , 花崎哲嗣 , HANAZAKI, NORITSUGU
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , H01L21/027
CPC分类号： H01L21/67784 , H01L21/68742

5. 发明专利

TW201731009A 曝光裝置、曝光方法、平面面板顯示器之製造方法、以及元件製造方法审中-公开
简体标题：曝光设备、曝光方法、平面皮肤显示器之制造方法、以及组件制造方法
公开(公告)号：TW201731009A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：TW106113910
申请日：2011-02-17
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：金城麻子 , KINJYO, ASAKO , 牛島康之 , USHIJIMA, YASUYUKI , 花崎哲嗣 , HANAZAKI, NORITSUGU
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , H01L21/027
CPC分类号： H01L21/67784 , H01L21/68742
摘要：搬送裝置，具備：第1支承部，係對基板之一面供給氣體，能透過氣體懸浮支承基板；第2支承部，能支承基板之一面；驅動部，係使第1及第2支承部之至少一個移動，使第1及第2支承部彼此接近或接觸並排列於第1方向；以及移送部，將藉由驅動部而排列之第1及第2支承部之一方所支承之基板沿第1方向往另一方側移動。
简体摘要：搬送设备，具备：第1支承部，系对基板之一面供给气体，能透过气体悬浮支承基板；第2支承部，能支承基板之一面；驱动部，系使第1及第2支承部之至少一个移动，使第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向；以及移送部，将借由驱动部而排列之第1及第2支承部之一方所支承之基板沿第1方向往另一方侧移动。

6. 发明专利

TW201142977A 搬送裝置、搬送方法、曝光裝置、以及元件製造方法审中-公开
简体标题：搬送设备、搬送方法、曝光设备、以及组件制造方法
公开(公告)号：TW201142977A
公开(公告)日：2011-12-01
申请号：TW100105223
申请日：2011-02-17
申请人：尼康股份有限公司
发明人：金城麻子 , 牛島康之 , 花崎哲嗣
IPC分类号： H01L , B65G
CPC分类号： H01L21/67784 , H01L21/68742
摘要：搬送裝置,具備:第1支承部,係對基板之一面供給氣體,能透過氣體懸浮支承基板;第2支承部,能支承基板之一面;驅動部,係使第1及第2支承部之至少一個移動,使第1及第2支承部彼此接近或接觸並排列於第1方向;以及移送部,將藉由驅動部而排列之第1及第2支承部之一方所支承之基板沿第1方向往另一方側移動。
简体摘要：搬送设备,具备:第1支承部,系对基板之一面供给气体,能透过气体悬浮支承基板;第2支承部,能支承基板之一面;驱动部,系使第1及第2支承部之至少一个移动,使第1及第2支承部彼此接近或接触并排列于第1方向;以及移送部,将借由驱动部而排列之第1及第2支承部之一方所支承之基板沿第1方向往另一方侧移动。

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