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    • 4. 发明专利
    • 漏洩檢測裝置及具備此裝置的流體控制器
    • 漏泄检测设备及具备此设备的流体控制器
    • TW201411110A
    • 2014-03-16
    • TW102125859
    • 2013-07-19
    • 富士金股份有限公司FUJIKIN INCORPORATED
    • 土肥亮介篠原努西野功二銅敏男池田信一山路道雄
    • G01M3/24
    • G01M3/24G01M3/243
    • 提供一種漏洩檢測裝置及具備此裝置的流體控制器,其可達成小型化且常時安裝於流體控制器等之漏洩檢測對象構件,藉此,可常時監視流體之漏洩。流體控制器1係由流體控制器本體2、及安裝於流體控制器本體2之漏洩檢測裝置3所構成。在流體控制器本體2設有用以檢測漏洩之漏洩口16。漏洩檢測裝置3具備:安裝於流體控制器本體2之感測器保持體21;以與漏洩口16對向之方式保持於感測器保持體21之超音波感測器22;設於超音波感測器22之感測面與漏洩口16之間的超音波通道23;及對由超音波感測器22所獲得之超音波進行處理之處理電路24。
    • 提供一种漏泄检测设备及具备此设备的流体控制器,其可达成小型化且常时安装于流体控制器等之漏泄检测对象构件,借此,可常时监视流体之漏泄。流体控制器1系由流体控制器本体2、及安装于流体控制器本体2之漏泄检测设备3所构成。在流体控制器本体2设有用以检测漏泄之漏泄口16。漏泄检测设备3具备:安装于流体控制器本体2之传感器保持体21;以与漏泄口16对向之方式保持于传感器保持体21之超音波传感器22;设于超音波传感器22之传感面与漏泄口16之间的超音波信道23;及对由超音波传感器22所获得之超音波进行处理之处理电路24。