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    • 9. 发明专利
    • 導電性薄膜的製造方法、導電性薄膜、觸控面板感測器、天線、指紋認證部及觸控面板
    • 导电性薄膜的制造方法、导电性薄膜、触摸皮肤传感器、天线、指纹认证部及触摸皮肤
    • TW201812917A
    • 2018-04-01
    • TW106128675
    • 2017-08-24
    • 日商富士軟片股份有限公司FUJIFILM CORPORATION
    • 一木孝彦ICHIKI, TAKAHIKO吉田昌史YOSHIDA, MASAFUMI
    • H01L21/3205H01L21/768B32B7/02B32B15/00
    • G06F3/041G06F3/044H05K3/18
    • 本發明的課題在於提供一種能夠形成線寬2.0μm以下的金屬細線之導電性薄膜的製造方法。又,本發明的課題還在於提供一種導電性薄膜、觸控面板感測器、天線、指紋認證部及觸控面板。本發明的導電性薄膜的製造方法包含:在基板上形成第1金屬膜之步驟;在第1金屬膜上形成抗蝕膜形成用組成物層之步驟;在抗蝕膜形成用組成物層上配置遮罩,以使形成有線寬1.5μm以下的開口之遮罩與第1金屬膜的距離成為1.5μm以下之步驟;藉由平行光曝光機抗蝕膜形成用組成物層的曝光處理之步驟;去除曝光區域而獲得形成有開口之抗蝕膜之步驟;在抗蝕膜的開口內形成第2金屬膜之步驟;去除抗蝕膜之步驟;及去除第1金屬膜的一部分而形成導電部之步驟。
    • 本发明的课题在于提供一种能够形成线宽2.0μm以下的金属细线之导电性薄膜的制造方法。又,本发明的课题还在于提供一种导电性薄膜、触摸皮肤传感器、天线、指纹认证部及触摸皮肤。本发明的导电性薄膜的制造方法包含:在基板上形成第1金属膜之步骤;在第1金属膜上形成抗蚀膜形成用组成物层之步骤;在抗蚀膜形成用组成物层上配置遮罩,以使形成有线宽1.5μm以下的开口之遮罩与第1金属膜的距离成为1.5μm以下之步骤;借由平行光曝光机抗蚀膜形成用组成物层的曝光处理之步骤;去除曝光区域而获得形成有开口之抗蚀膜之步骤;在抗蚀膜的开口内形成第2金属膜之步骤;去除抗蚀膜之步骤;及去除第1金属膜的一部分而形成导电部之步骤。